close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

отчет(1)

код для вставкиСкачать
Национальный исследовательский ядерный университет
Московский инженерно-физический институт
Отчет по лабораторной работе
«Артефакты в сканирующей зондовой микроскопии;
обработка и количественный анализ»
Выполнили
студенты Т9-77К
Иванов Руслан
Москаленко Игнат
Тарасов Андрей
Москва, 2010
Изначально была определена резонансная частота и выставлена рабочая частота колебаний
зонда равная 8,53 кГц.
1) Артефакты в СЗМ изображении вызванные температурным дрейфом.
Было получено СЗМ изображение на горизонтальном участке тестовой решетки TGX1.
2D изображение.
3D изображение.
Через 5 минут сканирование было повторено с теми же параметрами. Время сканирования ~10
минут, т.о. одно и то же место на тестовой решетке было просканировано через 15 минут после 1го
прохода сканера.
2D изображение.
3D изображение.
По полученным изображениям был рассчитан термодрейф по x: Δx = 1360.6 нм;
по y: Δy = 195.3 нм. Был рассчитан суммарный термодрейф Δ = 1374,6 нм.
Также были получены скорости термодрейфа Vx = 1.512 нм/сек; Vy = 0,217 нм/сек. Суммарная
скорость составила V = 1.528 нм/сек.
Был определен угол поворота Δ φ=0,5 градуса и угловая скорость ω = 5,56*10-4 градуса/сек.
2) Анализ и обработка изображения.
Была произведена обработка полученного СЗМ изображения. Был вычтен наклон и применена
медианная фильтрация для сглаживания пиков.
Обработанное 2D изображение.
Обработанное 3D изображение.
Была определена шероховатость до обработки составившая 113,74 нм, и среднеквадратичная
шероховатость равная 134,26 нм. Был построен фурье-спектр полученного изображения до
обработки. Получено изображение линии, длина составила 3387 нм, изображение угла.
Гистограмма значений.
Фурье-спектр.
Фурье-спектр.
Также были получено значение шероховатости после обработки равное 25,09 нм;
среднеквадратичное значение, составившее 31,01 нм; и фурье-спектр изображение после
обработки.
Гистограмма значений.
Фурье-спектр.
Документ
Категория
Технические науки
Просмотров
7
Размер файла
1 744 Кб
Теги
отчет
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа