close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Установление корреляционной связи между температурными условиями формирования ионно-плазменных пленок и процессом структурообразования.

код для вставкиСкачать
...
.,
.,
.
.
538.95
.,
.,
.,
.,
.
-
,
(
,
-
,
,
,
,
Ti?Al?N
.
)
1.
Ti?Al?N
-6,6- 1
,
.
-
.
(
),
,
.
,
,
85
-
1-00
12 18 10
3
.
-
.
.
;
,
,
,
.
-
.
Ti?Al?N
TiN.
-
,
�
�.
.
,
-
,
�
�
1
8%.
Ti?Al?N
-4 Cu
30
20
2 = 30?90 ,
4 .
-
.
0,05 ,
?
-
. 1,
TiN
. . .
. 2010.
Ti?Al?N
?
. 2.
2. ????????????????????????????????
61
2
TiN-(Ti?Al?N)
-
.
. 1, ).
{100} (
{100},
( . 1, ),
?
. 1, ).
(
,
2.
,
570
-
70
520? 530
30
-
:
?
700
(
585 ,
. 1, , , ).
,
.
.
-
40
200
-
25
800
670?700
,
-
,
(
. 2).
Ti3 Al2 N2
-
,
[1],
*
,
{100}
(
. 2, , ).
*
[2, 3]
"
",
-
(
)
,
.
,
,
,
0,5?1
,
(
),
,
(
.
(
)
"
",
,
,
)
-
,
. 1.
.
TiN?AlN?Ti3Al2N2
(
,
{100}.
? 200
, , ? 700
62
570 585 :
; ? 230 ; ? 360 ;
(U = 200 ,
= 10
),
.
,
,
,
,-
,
.
,
)
????????????????????????????????
-
[2].
. . .
. 2010.
2.
...
.,
.,
.
.
<100>
,
-
(
{100}.
{100}
. 2, , )
770?860 ,
5,9
)
( 1,6
-
<110>
<100>
(
{100} (
,
)
-
. 2, ).
,
,
20
(
),
.
-
900 ,
. 3, , ).
[4] (
,
-
,
,
,
,
-
,
(
),
,
.
,
1?5
(
[4].
,
. 3, ).
,
,
-
,
)
)
(
.
. 3, ).
.
,
-
.
,
-
(
. 3, ).
,
-
670?730
,
,
;
)
[4] (
,
. 4, ).
,
,
5
,
-
,
-
,
.
. 2.
<100> ( ),
TiN?AlN?Ti3Al2N2
( )
<110>
<100> ( ) (U = 200 ,
= 20
. . .
. 2010.
,
-
(
)
,
-
)
(
. 4,
, ).
,
2. ????????????????????????????????
63
(
,
-
),
"
-
. 4, ) [4].
(
:
-
,
. 5):
(
I?
:
;
II ?
-
,
{100}
;
III ?
<100>,
-
;
IV ?
<110>
<100>;
V?
. 3.
,
Ti3Al2N2 ( , )
( ) (U = 200 ,
;
( , )
= 60
)
VI ?
(
)
,
(
-
)
.
,
(
-
(103) Ti3 Al2 N2 ,
-
600
.
. 6 ),
.
I103 /h
,
670? 805
. 4.
?
64
,
Ti2AlN,
:
; ?
; ?
(U = 280 ,
= 20
-
)
????????????????????????????????
.
. . .
. 2010.
2.
...
.,
.,
.
.
. 5.
[4].
,
,
;
,
,
.
,
,
,
-
,
-
.
. . .
. 2010.
2. ????????????????????????????????
65
,
: 570?585
; 585?700
{100}
-
?
?
<100>
-
,
770?860
?
,
.
-
670? 730
. 6.
)
(
.
(103)
Ti3Al2N2,
,
1.
,
Ti?Al?N
-
,
?
-
:
;
{100}
;
<100>,
)
.
-
2.
-
3.
.
4.
,
(
.
~570 )
,
-
�
�, 2009. . 376?382.
.:
//
�, 2006. 241 .
�
//
. 1. 1974,
-
. . 69?104.
List of literature
;
(
.
.,
.
. . 113.
1.
<100>;
.,
.
.
4.
,
66
.,
-
;
<110>
.
/
.,
. //
. .:
3.
-
,
. .
:
.,
.,
.
-
/
, 1977. . 1. 662 .
.
2.
,
,
.:
Technology of thin films. Edited by L. Mayssela and R. Glenga.
.: Russian radio. 1977. V. 1. 662 p.
Chernega N.V., Samoylovich M.I., Kydryavseva .G., Bely anin A.F.,
Pashenko P.V., Dzbanovsky N.N. Morfolodgy dependent acoustic
resonance in thin films: laser generation of acoustic ripple // High tech
in Russia industry. Moscow: Publishing house of OAO Central Research Technological Centre 玊echnomash�, 2009. P. 376?382.
Belyanin A.F., Samoylovich M.I. Thin films of diamond-like materials as nanostructured system // Collective monografy 玁anomaterials�. Moscow: OAO Central Research Technological Centre
玊echnomash�, 2006. P. 241.
Roytbyrd .L. Theory of the heterophase structure formation during phase changes in hard state // Progress of the physical science. V. 113, Publ. 1. 1974. P. 69?104.
????????????????????????????????
. . .
. 2010.
2.
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа