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Исследование оптоэлектронного датчика угловых смещений на основе глубокой отражательной фазовой дифракционной решётки.

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UDC 535.42:681.786.23
Investigations of an Optoelectronic Device for Angular
Displacements Measurements with Use of a Deep Phasetype
Reflective Grating
V. A. Komotskii, Yu. M. Sokolov, A. N. Alexeev, E. V. Basisty
Department of Radiophysics
Peoples? Friendship University of Russia
6, Miklukho-Maklaya str., Moscow, 117198, Russia
An optoelectronic device for measurements of small angular displacements based on a
diffraction of a laser beam on a deep reflective phasetype grating was suggested and investigated. The grating?s depth is about several wavelengths. The zero diffraction order?s power
dependency on the incident angle of a laser beam was investigated theoretically and experimentally. There were found conditions when linear conversion of angular vibrations into
changes of power of zero order took place. The experimentally measured sensitivity of the
device was 5 � 10?6 rad with channel bandwidth of 800 Hz and signal-to-noise ratio 10.
Key words and phrases: optoelectronic sensor, sensor of displacements, small angular
displacements, phase diffraction grating.
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