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(56)
1. Shioya Y., Maeda M. Comparison of Phosphosilicate Glass Films Deposited by Three Different ChemicalUapor
Deposition Methods // J. Electr Soc. 1986, v. 133. - ? 9. - ?. 1943-1950.
2. Takamatsu A., Shibata M., Sakai H., Yoshimi T. Plasma-Activated Deposition and Properties of Phosphosilicate
Glass Film // J. Electrochmical Society, 1984, v. 131. - ? 8, P. 1865-1870 (????????).
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