close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY2561

код для вставкиСкачать
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ПАТЕНТУ
РЕСПУБЛИКА БЕЛАРУСЬ
(19)
BY (11) 2561
(13)
C1
6
(51) G 03F 7/20
(12)
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПАТЕНТНЫЙ
КОМИТЕТ РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬ
(54)
УСТРОЙСТВО ШИРОКОФОРМАТНОГО ЭКСПОНИРОВАНИЯ
(72) Авторы: Райхман Я.А., Зайцев В.А., Матюшков
(21) Номер заявки: 960417
В.Е., Стригельский В.В., Агейченко А.С., Ме(22) 12.08.1996
лешко
А.В., Мельник С.П., Сосно И.П., Заброд(46) 30.12.1998
ский
Г.А.
(BY)
(71) Заявитель: Государственное
Научно-произНаучноводственное предприятие "Конструкторское (73) Патентообладатель: Государственное
производственное
предприятие
"Конструкбюро точного электронного машиностроения торское бюро точного электронного машиноОптико-механическое оборудование" (BY)
строения - Оптико-механическое оборудование
(BY)
(57)
Устройство широкоформатного экспонирования, содержащее корпус и установленные на нем оптическую проекционную систему формирования изображения и координатный стол с заданным полем перемещения, снабженный приводами и оптическими отсчётными устройствами точного перемещения по координатным осям Х и Y
относительно оптической проекционной системы в пределах хода стола, отличающееся тем, что содержит каретку, установленную на координатном столе с возможностью поворота на 180°, два фотоэлектрических датчика контроля точности поворота каретки, закрепленных на корпусе вдоль одной из координатных осей её перемещения, и
два элемента наведения датчиков, закрепленных на каретке, причём координатный стол расположен относительно
проекционной системы так, что при его нахождении в центре поля перемещений изображение отстоит от края каретки на расстоянии, равном половине хода координатного стола.
(56)
1. Optics/Laser Microlitography-11. -1989. -Vol. 1088.-Р. 210-219.
2. Каталог выставки LCD International-95, Токио, система 501 Nicon (прототип).
Фиг. 1
BY 2561 C1
Настоящее изобретение относится к технологическому оборудованию для производства плоскопанельных дисплеев (ППД), в частности, для экспонирования светочувствительных плёнок, покрывающих поверхность заготовок панелей в процессе фотолитографии, методом последовательного экспонирования фрагментов, из которых образуется весь
гравируемый фотолитографией рисунок.
Большие размеры современных и будущих ППД (свыше 30" по диагонали) требуют громоздкого оборудования с очень большим ходом координатного стола.
Известен мультипликатор FХ-301D фирмы Nikon [1].
Этот мультипликатор предназначен для производства жидкокристаллических (ЖК) экранов и содержит
корпус, проекционную систему, диафрагму, проекционный объектив, координатный стол пластин, датчики совмещения пластины с изображением и автоматической фокусировки.
Мультипликатор имеет ход координатного стола 550 х 450 мм., разрешение объектива одиночных элементов до 2,4 мкм на поле 100 х 100 мм и производительность 60 пар/час.
Ближайшим прототипом является система FХ-501D фирмы Nikon [2].
Система содержит корпус, на котором закреплен линзовый проекционный объектив с большим полем изображения, источник экспонирующего изучения с осветительной оптической системой, шторчатую диафрагму, систему оперативной смены шаблонов, координатный стол пластин с приводами и отсчетными устройствами, систему
совмещения пластин с изображением и автофокусировки.
Недостатком этой системы является сложность конструкции, небольшой размер экспонируемых пластин,
неполное использование площади шаблона, заметная граница стыковки фрагментов и высокая чувствительность к вибрациям.
Задачей изобретения является упрощение конструкции при экспонировании заготовок (пластин, покрытых фоторезистом), размер которых превышает ход стола в два раза.
Поставленная задача достигается тем, что устройство содержит корпус, установленные на нем оптическую
проекционную систему формирования изображения, координатный стол с заданным полем перемещения,
снабженный приводами и оптическими отсчетными устройствами точного перемещения по координатным осям
Х и Y относительно оптической проекционной системы в пределах хода стола, каретку, установленную на координатном столе с возможностью поворота на 180°, два фотоэлектрических датчика контроля точности поворота каретки, закрепленных на корпусе вдоль одной из координатных осей её перемещения, и два элемента
наведения датчиков, закрепленных на каретке, причем координатный стол расположен относительно проекционной системы так, что при его нахождении в центре поля перемещений изображение отстоит от края каретки
на расстоянии, равном половине хода координатного стола.
Предложенное техническое решение позволяет упростить конструкцию устройства и увеличить размер
экспонирующих пластин.
Суть изобретения поясняется чертежами, где:
на фиг.1 - изображена общая схема устройства;
на фиг.2 - приведен датчик контроля точности поворота каретки;
на фиг.3 - показано взаимное расположение координатного стола и проекционной системы.
Устройство широкоформатного экспонирования содержит корпус 1 (фиг.1) и установленную на нём оптическую проекционную систему формирования изображения 2, координатный стол 3 с заданным полем перемещения, снабженный приводами и оптическими отсчетными устройствами 4 точного перемещения по
координатным осям Х и Y относительно оптической проекционной системы формирования изображения 2 в
пределах хода координатного стола 3.
На координатном столе 3 установлена каретка 5 с возможностью поворота на 180° относительно оси 0 - 0
несущая заготовку - пластину 6. Два фотоэлектрических датчика 7 контроля точности поворота каретки 5 закреплены на корпусе 1 вдоль одной из координатных осей её перемещения, a два элемента наведения 8 датчиков 7 закреплены на каретке 5. Координатный стол 3 расположен относительно проекционной системы 2 так,
что при его нахождении в центре поля перемещений 9 (фиг. 3), изображение 10, создаваемое проекционной
системой 2 (фиг.1), отстоит от края каретки 5 на расстоянии, равном половине хода координатного стола 3.
Два фотоэлектрических датчика контроля точности поворота 7 каретки 5 состоят из приемного узла, содержащего по каждой оси координат светоизлучающий диод 11 (фиг.2), фотоприёмник 12, две маски 13 и 13
и линзы 14 и 14, и элементов наведения 8, имеющих по каждой оси координат зеркальную призму 15, в которой свет отражается дважды.
Устройство широкоформатного экспонирования работает следующим образом.
Перед началом работы на каретку 5 (фиг.1) загружают заготовку - пластину 6 и производят предварительное совмещение (на чертеже не показано), а затем её выравнивание. После этого координатный стол 3
перемещают в зону экспонирования, при этом изображение 10 (фиг.3), создаваемое оптической проекционной системой 2 (фиг.1), отстоит от края каретки 5 на расстоянии, равном половине хода стола 3.
Затем включают оптическую проекционную систему 2 и на заготовку-пластину 6 впечатывают первый
фрагмент, после чего координатный стол 3 перемещают по оси Х и Y и этот же фрагмент впечатывают в
2
BY 2561 C1
другое место и так далее, пока этот фрагмент не будет размультиплицирован по всей половине заготовкипластины 6. Отсчетное устройство 4 контролирует точное перемещение координатного стола 3 по координатным осям Х и Y.
После размультиплицирования первой половины заготовки-пластины 6, каретку поворачивают на 180°
относительно оси 0 - 0, фиксируют и производят размультиплицирование второй половины заготовкипластины 6. Контроль точного поворота каретки 5 производят фотоэлектрическими датчиками 7 и элементами наведения 8.
После окончания процесса, проэкспонированную заготовку-пластину 6 с каретки 5 выгружают.
Фотоэлектрические датчики точного поворота 7 каретки 5 (фиг.2) работают следующим образом.
Излучение от светодиода 11 проходит через первую маску 13 и её изображение переносится первой линзой 14
на зеркальную призму 15. Изображение первой маски 13 отражается зеркальной призмой 15 и поступает на вторую
линзу 14’, которая перестраивает изображение первой маски 13 в плоскость второй маски 13’ и поступает на фотоприёмник 12. Если изображение первой и второй масок 13 и 13’ совпадает, то поворот каретки 5 произведен точно
на 180°, а если изображение первой и второй масок 13 и 13’ не совпали, то поворот каретки 5 произошел не точно
на 180°, и тогда производят коррекцию поворота каретки 5 пока изображение масок 13 и 13’ не совпадут.
Предложенное техническое решение позволяет упростить конструкцию устройства и экспонировать пластины, размер которых в два раза больше хода стола.
Фиг. 2
Фиг. 3
Cоставитель В.А. Тугбаев
Редактор Т.А. Лущаковская
Государственный патентный комитет Республики Беларусь.
220072, г. Минск, проспект Ф. Скорины, 66.
3
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
128 Кб
Теги
by2561, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа