close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY5713

код для вставкиСкачать
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ПАТЕНТУ
РЕСПУБЛИКА БЕЛАРУСЬ
BY (11) 5713
(13) C1
(19)
7
(51) G 02B 13/24, 9/64
(12)
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР
ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ
СОБСТВЕННОСТИ
(54)
ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ - 1/5Х
BY 5713 C1
(21) Номер заявки: a 20000477
(22) 2000.05.19
(46) 2003.12.30
(71) Заявитель: Научно-производственное
республиканское унитарное предприятие "КБТЭМ-ОМО" (BY)
(72) Авторы: Гуревич Элла Семеновна; Цуран Владимир Ильич; Тихончук Георгий Иванович; Богуш Александр Львович (BY)
(73) Патентообладатель: Научно-производственное республиканское унитарное
предприятие "КБТЭМ-ОМО" (BY)
(57)
Проекционный объектив с увеличением - 1/5х, содержащий установленные вдоль оптической оси пятнадцать компонентов и апертурную диафрагму, расположенную за девятым компонентом, причем первый компонент выполнен в виде положительного мениска,
обращенного вогнутостью к плоскости предметов, двояковыпуклой линзы и положительного элемента, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, второй компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и склеенный из
двояковыпуклой и двояковогнутой линз, третий компонент - двояковогнутая линза, четвертый компонент - телескопический мениск, обращенный вогнутостью к плоскости
предметов, пятый и шестой компоненты - двояковыпуклые линзы, седьмой компонент положительный, восьмой компонент - положительный мениск, обращенный выпуклостью
к плоскости предметов, девятый компонент - отрицательный, десятый компонент - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов и склеенный из
двояковогнутой и двояковыпуклой линз, одиннадцатый и двенадцатый компоненты двояковыпуклые линзы, тринадцатый компонент - положительный мениск, обращенный
выпуклостью к плоскости предметов, четырнадцатый компонент - мениск, обращенный
выпуклостью к плоскости предметов и склеенный из двояковыпуклой и двояковогнутой
линз, пятнадцатый компонент - положительный мениск, обращенный выпуклостью к
плоскости предметов, отличающийся тем, что положительный элемент первого компонента - плосковыпуклая линза, седьмой и девятый компоненты - мениски, обращенные
выпуклостью к плоскости предметов, четырнадцатый компонент - отрицательный, апертурная диафрагма расположена на удалении от девятого компонента, равном 0,0271 F, где
F - фокусное расстояние объектива, а расстояние между первым и вторым компонентами
равно 0,1887 F.
BY 5713 C1
(56)
SU 1758624 A1, 1992.
RU 2068572 C1, 1996.
US 3656839 A, 1972.
EP 0717299 A1, 1996.
US 5260832 A, 1993.
Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в фотолитографических установках, используемых для изготовления полупроводниковых приборов.
Известен проекционный объектив, предназначенный для аналогичных целей [1]. Объектив имеет увеличение - 1/5х, числовую апертуру 0,3, диаметр поля изображения 20 мм.
Недостатком известного объектива является невысокое разрешение из-за малой числовой
апертуры, малое поле изображения и отсутствие телецентрики со стороны плоскости
предметов.
Наиболее близким прототипом является проекционный объектив [2], работающий с
увеличением - 1/5х, числовой апертурой 0,38, имеющий поле изображения диаметром
22 мм и рабочую область спектра 404,66 ± 5 нм. Объектив содержит пятнадцать компонентов и диафрагму, расположенную за девятым компонентом.
Первый компонент состоит из положительного мениска, двояковыпуклой линзы и положительного мениска, причем положительные мениски обращены выпуклостями друг к
другу.
Второй компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости
предметов и склеенный из двояковыпуклой и двояковогнутой линз.
Третий компонент - двояковогнутая линза.
Четвертый компонент - телескопический мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов.
Пятый, шестой и седьмой компоненты - двояковыпуклые линзы.
Восьмой компонент - телескопический мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов.
Девятый компонент - двояковогнутая линза.
Десятый компонент - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости
предметов и склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз.
Одиннадцатый и двенадцатый компоненты - двояковыпуклые линзы.
Тринадцатый компонент - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов.
Четырнадцатый компонент - положительный мениск, обращенный выпуклостью к
плоскости предметов и склеенный из двояковыпуклой и двояковогнутой линз.
Пятнадцатый компонент - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов.
Известный объектив имеет недостаточные значения числовой апертуры и диаметра
поля изображения. Кроме того, прототип обладает малой телецентричностью со стороны
плоскости предметов.
Задачей изобретения является увеличение числовой апертуры до 0,39 и диаметра поля
изображения до 22,6 мм (квадрат 16 × 16 мм), а также увеличение телецентричности со
стороны плоскости предметов.
Поставленная задача достигается тем, что в объективе с увеличением - 1/5х, содержащем установленные вдоль оптической оси пятнадцать компонентов и апертурную диафрагму, расположенную за девятым компонентом, причем первый компонент выполнен в
виде положительного мениска, обращенного вогнутостью к плоскости предметов, двояко2
BY 5713 C1
выпуклой линзы и положительного элемента, обращенного выпуклостью к плоскости
предметов, второй компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и склеенный из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, третий компонент - двояковогнутая линза, четвертый компонент - телескопический мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, пятый и шестой компоненты - двояковыпуклые
линзы, седьмой компонент - положительный, восьмой компонент - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, девятый компонент - отрицательный, десятый компонент - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к
плоскости предметов и склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, одиннадцатый и двенадцатый компоненты - двояковыпуклые линзы, тринадцатый компонент - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, четырнадцатый
компонент - мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и склеенный из
двояковыпуклой и двояковогнутой линз, пятнадцатый компонент - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, при этом положительный элемент первого компонента - плосковыпуклая линза, седьмой и девятый компоненты мениски, обращенные выпуклостью к плоскости предметов, четырнадцатый компонент отрицательный, апертурная диафрагма расположена на удалении от девятого компонента,
равном 0,0271F, где F - фокусное расстояние объектива, а расстояние между первым и
вторым компонентами равно 0,1887F.
Суть изобретения поясняется чертежом, где на фигуре приведена оптическая схема
объектива.
В таблице приведены конструктивные параметры объектива (радиусы кривизны поверхностей R, толщины линз и расстояния между ними d, показатели преломления стекла
линз n для рабочей длины волны).
Объектив содержит установленные вдоль оптической оси пятнадцать компонентов
(фигуре) и апертурную диафрагму, расположенную за девятым компонентом.
Первый компонент 1 выполнен из положительного мениска, обращенного вогнутостью к плоскости предметов, выполненного из крона и имеющего соотношение радиусов
R1/R2 = 2,75, двояковыпуклой линзы, выполненной из крона и имеющей соотношение радиусов R3/R4 = 0,48, и положительной, плосковыпуклой линзы, обращенной выпуклостью
к плоскости предметов и выполненной из крона.
Второй компонент 2 - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости
предметов и склеенный из двояковыпуклой линзы, выполненной из тяжелого крона и
имеющей соотношение радиусов R7/R8 = 6,82, и двояковогнутой линзы, выполненной из
тяжелого флинта и имеющей соотношение радиусов R8/R9 = 1,60.
Третий компонент 3 - двояковогнутая линза, выполненная из тяжелого крона и имеющая соотношение радиусов R10/R11 = 0,37.
Четвертый компонент 4 - телескопический мениск, обращенный вогнутостью к
плоскости предметов, выполненный из крона и имеющий соотношение радиусов
R12/R13 = 0,91.
Пятый компонент 5 - двояковыпуклая линза, выполненная из крона и имеющая соотношение радиусов R14/R15 = 26,06.
Шестой компонент 6 - двояковыпуклая линза, выполненная из крона и имеющая соотношение радиусов R16/R17 = 0,72.
Седьмой компонент 7 - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполненный из крона и имеющий соотношение радиусов R18/R19 = 0,04.
Восьмой компонент 8 - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполненный из баритового флинта и имеющий соотношение радиусов
R20/R21 = 0,75.
Девятый компонент 9 - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости
предметов, выполненный из флинта и имеющий соотношение радиусов R22/R23 = 39,63.
3
BY 5713 C1
Десятый компонент 10 - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов и склеенный из двояковогнутой линзы, выполненной из легкого флинта и
имеющей соотношение радиусов R24/R25 = 0,57, и двояковыпуклой линзы, выполненной
из крона и имеющей соотношение радиусов R25/R26 = 1,23.
Одиннадцатый компонент 11 - двояковыпуклая линза, выполненная из крона и имеющая соотношение радиусов R27/R28 = 1,54.
Двенадцатый компонент 12 - двояковыпуклая линза, выполненная из крона и имеющая соотношение радиусов R29/R30 = :0,06.
Тринадцатый компонент 13 - положительный мениск, обращенный выпуклостью к
плоскости предметов, выполненный из легкого крона и имеющий соотношение радиусов
R31/R32 = 0,13.
Четырнадцатый компонент 14 - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к
плоскости предметов и склеенный из двояковыпуклой линзы, выполненной из легкого
крона и имеющей соотношение радиусов R33/R34 = 1,42, и двояковогнутой линзы, выполненной из тяжелого флинта и имеющей соотношение радиусов R34/R35 = 0,78.
Пятнадцатый компонент 15 - положительный мениск, обращенный выпуклостью к
плоскости предметов, выполненный из легкого крона и имеющий соотношение радиусов
R36/R37 = 0,47.
Предложенный объектив рассчитан для рабочей длины волны λ = 404,66 нм и может
работать в спектральном интервале ±5 нм от основной рабочей длины волны. Фокусное
расстояние объектива F = 350,374 мм. Объектив работает с увеличением - 1/5х, плоскость
предметов расположена на расстоянии SO = 0,53F от первой поверхности первого компонента, плоскость изображений расположена на расстоянии SI = :0,0415F от последней поверхности пятнадцатого компонента. Числовая апертура объектива в пространстве
изображений NA = 0,39, диаметр рабочего поля изображения 2Y = 22,6 мм (это соответствует квадратному полю изображения 16 × 16 мм). Телецентричность в пространстве предметов (максимальный угол главных лучей с оптической осью) не более 0,009.
Поперечные сферические аберрации осевого пучка не более 0,0003 мм, астигматические отрезки не более 0,0022 мм, дисторсия не более 0,0002 %, поперечные аберрации меридиональных пучков для различных точек поля не более 0,0028 мм.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
R
-741,3
-269,2
448,7
-931,1
179,89
плоскость
656,1
-96,16
60,26
-78,52
209,9
-86,5
-95,06
3532,0
-135,52
293,1
-406,4
d
25,0
1,13
22,0
2,0
25,4
66,11
18,6
8,6
16,44
8,2
13,2
27,5
32,38
22,8
4,0
21,6
0,6
4
N
1,52982
1,52982
1,52982
1,67908
1,68227
1,67908
1,52982
1,52982
1,52982
BY 5713 C1
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
33
34
35
36
37
133,66
3532,0
117,22
157,04
2535,0
63,97
-75,34
132,74
-107,65
335,7
-217,3
99,31
-1698,2
125,89
968,3
105,2
-73,96
95,28
55,21
118,03
21,0
13,54
23,0
13,9
12,0
42,93
9,7
20,6
0,4
16,2
0,2
20,6
0,3
18,4
25,5
21,0
8,2
2,2
12,5
-
Источники информации:
1. А.с. 1303972, МПК G 02В 13/24, 1987.
2. А.с. 1758624, МПК G 02В 25/00, 1992 (прототип).
Национальный центр интеллектуальной собственности.
220034, г. Минск, ул. Козлова, 20.
Продолжение табл.
1,52982
1,54112
1,64268
1,59968
1,52982
1,52982
1,52982
1,49900
1,49900
1,68227
1,49900
-
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
119 Кб
Теги
by5713, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа