close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY5739

код для вставкиСкачать
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ПАТЕНТУ
РЕСПУБЛИКА БЕЛАРУСЬ
BY (11) 5739
(13) C1
(19)
7
(51) G 02B 13/24, 9/64
(12)
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР
ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ
СОБСТВЕННОСТИ
(54)
ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ - 1/5Х
(21) Номер заявки: a 20000697
(22) 2000.07.21
(46) 2003.12.30
(71) Заявитель: Научно-производственное
республиканское унитарное предприятие "КБТЭМ-ОМО" (BY)
(72) Авторы: Гуревич Элла Семеновна; Цуран
Владимир Ильич; Тихончук Георгий
Иванович; Богуш Александр Львович
(BY)
(73) Патентообладатель: Научно-производственное республиканское унитарное
предприятие "КБТЭМ-ОМО" (BY)
BY 5739 C1
(57)
Проекционный объектив с увеличением - 1/5х, содержащий расположенные вдоль оптической оси компоненты и апертурную диафрагму, причем первый компонент - два положительных мениска, обращенных выпуклостями друг к другу и двояковыпуклая линза между ними,
второй компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов,
третий - двояковогнутая линза, четвертый - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к
плоскости предметов, пятый, шестой и седьмой - положительные, восьмой - положительный
мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, девятый - отрицательный мениск,
обращенный выпуклостью к плоскости предметов, десятый - двухлинзовый, выполненный из
отрицательной линзы и положительного мениска, одиннадцатый - положительный, двенадцатый - двояковыпуклая линза, тринадцатый - двухлинзовый, выполненный из положительной и
отрицательной линз, четырнадцатый - положительный мениск, обращенный выпуклостью к
плоскости предметов, отличающийся тем, что содержит пятнадцатый компонент в виде двояковогнутой линзы, расположенный между вторым и третьим компонентами, шестнадцатый
компонент в виде плосковыпуклой линзы, обращенной выпуклостью к плоскости изображений,
расположенный между десятым и одиннадцатым компонентами, семнадцатый компонент в виде плосковыпуклой линзы, обращенной выпуклостью к плоскости предметов, расположенный
BY 5739 C1
между двенадцатым и тринадцатым компонентами, восемнадцатый компонент в виде положительного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, расположенный между
тринадцатым и четырнадцатыми компонентами, девятнадцатый компонент в виде двояковыпуклой линзы, расположенный за четырнадцатым компонентом, причем пятый и шестой компоненты - мениски, обращенные вогнутостями к плоскости предметов, седьмой компонент двояковыпуклая линза, элементы десятого компонента являются одиночными, одиннадцатый
компонент - мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, в тринадцатом компоненте положительная линза - одиночный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, а отрицательная линза - плосковогнутая, при этом апертурная диафрагма расположена
между десятым и шестнадцатым компонентами.
(56)
SU 1659955 A1, 1991.
RU 2068572 C1, 1996.
US 3656839 A, 1972.
EP 0717299 A1, 1996.
US 5260832 A, 1993.
Изобретение относится к оптическим системам и может быть использовано в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования.
Известен проекционный объектив с увеличением -1/5х (см. а.с. № 1303972, кл. G 02B
13/24, пуб. 15.04.1987 г. Бюл. № 14, с. 196), содержащий четырнадцать линз, собранных в
одиннадцать компонентов и апертурную диафрагму. Рабочая область длин волн
λ = 404,6 ± 5 нм. Апертура А' = 0,3. Поле зрения 2у' = 20 мм. Недостатком известного объектива является малая апертура и малое поле зрения, а также отсутствие телецентрического хода лучей в пространстве предметов.
Известен также проекционный объектив с увеличением -1/5х (см. а.с. № 1587334, кл. G
02B 13/24, пуб. 23.08.1990 г. Бюл. 31, с. 177), содержащий девятнадцать линз, собранных в
семнадцать компонентов и диафрагму. Рабочая область длин волн объектива λ = 404,6 ± 5
нм. Апертура А' = 0,35. Поле зрения 2у' = 23,2 мм. В пространстве предметов имеется телецентрический ход лучей. Недостатком известного объектива является малая апертура и
малое поле зрения.
Наиболее близким прототипом является проекционный объектив с увеличением - 1/5х
(см. а.с. № 1659955, кл. G 02B 13/22, пуб. 30.06.1991 г. Бюл. 24, с. 177), содержащий четырнадцать компонентов и апертурную диафрагму, причем первый компонент - два положительных мениска, обращенных выпуклостями друг к другу и двояковыпуклая линза между ними,
второй - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, третий двояковогнутая линза, четвертый - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, пятый и шестой компоненты - двояковыпуклые линзы, седьмой компонент положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, восьмой - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, девятый отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, десятый - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов и склеенный из отрицательного и положительного менисков, одиннадцатый и двенадцатый - двояковыпуклые
положительные линзы, тринадцатый - положительный мениск, обращенный выпуклостью к
плоскости предметов и склеенный из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, а четырнадцатый компонент - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов.
Рабочая область длин волн объектива λ = 365 ± 4 нм. Апертура А' = 0,35. Поле зрения
2у' = 21,2 мм при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов.
Недостатком прототипа является малая апертура и малое поле зрения.
2
BY 5739 C1
Задачей изобретения является увеличение апертуры и поля зрения при сохранении телецентрического хода лучей в пространстве предметов объектива.
Поставленная задача достигается тем, что объектив, содержащий расположенные вдоль оптической оси компоненты и апертурную диафрагму, причем первый компонент - два положительных мениска, обращенных выпуклостями друг к другу и двояковыпуклая линза между
ними, второй компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости
предметов, третий - двояковогнутая линза, четвертый - отрицательный мениск, обращенный
вогнутостью к плоскости предметов, пятый, шестой и седьмой - положительные, восьмой - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, девятый - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, десятый - двухлинзовый,
выполненный из отрицательной линзы и положительного мениска, одиннадцатый - положительный, двенадцатый - двояковыпуклая линза, тринадцатый - двухлинзовый, выполненный из
положительной и отрицательной линз, четырнадцатый - положительный мениск, обращенный
выпуклостью к плоскости предметов, пятнадцатый компонент в виде двояковогнутой линзы,
расположенный между вторым и третьим компонентами, шестнадцатый компонент в виде
плосковыпуклой линзы, обращенной выпуклостью к плоскости изображений, расположенный
между десятым и одиннадцатым компонентами, семнадцатый компонент в виде плосковыпуклой линзы, обращенной выпуклостью к плоскости предметов, расположенный между двенадцатым и тринадцатым компонентами, восемнадцатый компонент в виде положительного
мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, расположенный между тринадцатым и четырнадцатым компонентами, девятнадцатый компонент в виде двояковыпуклой линзы, расположенный за четырнадцатым компонентом, причем пятый и шестой компоненты мениски, обращенные вогнутостями к плоскости предметов, седьмой компонент - двояковыпуклая линза, элементы десятого компонента являются одиночными, одиннадцатый компонент
- мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, в тринадцатом компоненте положительная линза - одиночный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, а отрицательная линза - плосковогнутая, при этом апертурная диафрагма расположена между
десятым и шестнадцатым компонентами.
Суть изобретения поясняется чертежом, где приведена оптическая схема объектива.
В таблице приведены конструктивные параметры объектива (радиусы кривизны поверхностей Ri, толщины линз и расстояния между ними di и показатели преломления стекол ni для линии = 365 нм).
Объектив содержит расположенные вдоль оптической оси двадцать три линзы, сгруппированных в девятнадцать компонентов и апертурную диафрагму.
Первый компонент 1 состоит из двух положительных менисков, обращенных выпуклостями друг к другу, и двояковыпуклой линзы, расположенной между ними. Первый положительный мениск выполнен из легкого крона, радиусы кривизны которого R1 и R2
связаны соотношением R1:R2 = 6,37:1. Второй положительный мениск - из легкого флинта, радиусы кривизны которого R5 и R6 cвязaны соотношением R5:R6 = 1:5,27. Двояковыпуклая линза 2 выполнена из легкого крона, радиусы кривизны которой R3 и R4
связаны соотношением R3:R4 = 10,67:1.
Второй компонент 2 - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости
предметов, выполнен из легкого крона, радиусы кривизны которого R7:R8 связаны соотношением R7:R8 = 5,48:1.
Третий компонент 3 - двояковогнутая линза, выполненная из легкого флинта, радиусы
кривизны которого R11 и R12 связаны соотношением R11:R12 = 1:2,17.
Четвертый компонент 4 - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, выполнен из легкого крона, радиусы кривизны которого R13 HR14 связаны соотношением R13:R14 = 1:1,49.
3
BY 5739 C1
Пятый компонент 5 - положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости
предметов, выполнен из легкого крона, радиусы кривизны которого R15 и R16 связаны
соотношением R15:R16 = 1,36:1.
Шестой компонент 6 - положительный мениск 9, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, выполнен из легкого крона, радиусы кривизны которого R17 и R18 связаны соотношением R17:R18 = 2,53:1.
Седьмой компонент 7 - положительная двояковыпуклая линза, выполненная из легкого крона, радиусы кривизны которого R19 и R20 связаны соотношением R19:R20 = 1,98:1.
Восьмой компонент 8 - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из легкого крона, радиусы кривизны которого R21 и R22 связаны соотношением R21:R22 = 1:3,92.
Девятый компонент 9 - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости
предметов, выполнен из легкого флинта, радиусы кривизны которого R23 и R24 связаны
соотношением R23:R24 = 2,61:1.
Десятый компонент 10 - двухлинзовый, состоящий из одиночной отрицательной двояковогнутой линзы, выполненной из легкого флинта с соотношением радиусов R25:R26 = 1:6,3 и
одиночного положительного мениска, обращенного вогнутостью к плоскости предметов, выполненного из легкого крона с соотношением радиусов R27:R28 = 2,32:1.
Одиннадцатый компонент 11 - положительный мениск, обращенный вогнутостью к
плоскости предметов, выполнен из легкого крона, радиусы кривизны которого R31 и R32
связаны соотношением R31:R32 = 13:1.
Двенадцатый компонент 12 - двояковыпуклая линза, выполненная из легкого крона,
радиусы кривизны которого R33 и R34 связаны соотношением R33:R34 = 1,58:1.
Тринадцатый компонент 13 - двухлинзовый, выполненный из положительной линзы одиночного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов и выполненного
из легкого крона с соотношением радиусов R37:R38 = 1:3,7 и отрицательной линзы, выполненной из легкого флинта.
Четырнадцатый компонент 14 - положительный мениск, обращенный выпуклостью к
плоскости предметов, выполнен из легкого флинта, радиусы кривизны которого R43 и
R44 связаны соотношением R43:R44 = 1,69:1.
Пятнадцатый компонент 15 - двояковогнутая линза, выполненная из легкого флинта,
радиусы кривизны которой R9 и R10 связаны соотношением R9:R10 = 2,55:1 и расположена между вторым и третьим компонентами.
Шестнадцатый компонент 16 - плосковыпуклая линза, выполненная из легкого крона,
обращенная выпуклостью к плоскости изображений. И расположена между десятым и
одиннадцатым компонентами.
Семнадцатый компонент 17 - плосковыпуклая линза, выполненная из легкого крона,
обращена выпуклостью к плоскости предметов и расположена между двенадцатым и тринадцатым компонентами.
Восемнадцатый компонент 18 - положительный мениск, обращенный выпуклостью к
плоскости предметов, выполнен из легкого крона, радиусы кривизны которого R41 и R42
связаны соотношением R41:R42 = 6,27:1 и расположен между тринадцатым и четырнадцатым компонентами.
Девятнадцатый компонент 19 - двояковыпуклая линза, выполненная из легкого крона,
радиусы кривизны которого R45 и R46 связаны соотношением R45:R46 = 1:1,75 и расположена за четырнадцатым компонентом.
Апертурная диафрагма расположена между десятым 10 и шестнадцатым 16 компонентами.
Объектив имеет высокую степень коррекции аберраций для области спектра
λ = 365 ± 3 нм. Апертура А' = 0,5. Поле зрения 2у' = 28,2 мм. Телецентрический ход лучей
в пространстве предметов и изображений.
4
BY 5739 C1
Среднеквадратичное отклонение волновых аберраций для любой точки поля не превышает 0,03 длины волны.
Увеличение апертуры объектива позволяет повысить разрешение и получать минимальные элементы размером 0,5 мкм, а увеличение поля до диаметра 28,2 мм позволяет
получать сдвоенные чипы при одной экспозиции, что, в свою очередь, приводит к повышению производительности установок фотолитографии, в которых возможно использование данного объектива.
Радиусы кривизны
R1 = -1957,900
R2 = -317,110
R3 = 2828,700
R4 = -253,550
R5 = 141,489
R6 = 732,900
R7 = 463,210
R8 = 89,144
R9 = -337,410
R10 = 137,128
R11 = -135,831
R12 = 290,890
R13 = -80,560
R14 = -120,670
R15 = -170,327
R16 = -125,504
R17 = -535,070
R18 = -213,330
R19 = 621,880
R20 = -314,120
R21 = 236,110
R22 = 929,440
R23 = 386,070
R24 = 151,725
R25 = -112,139
R26 = 703,900
R27 = -505,970
R28 = -218,850
R29 = ,000
R30 = -379,180
R31 = -2550,400
R32 = -194,663
R33 = 1501,000
R34 = -969,120
R35 = 149,380
R36 = ,000
R37 = 120,551
R38 = 449,370
R39 = ,000
R40 = 74,063
Толщины и воздушные промежутки
d1 = 26,000
d2 = 10,000
d3 = 29,000
d4 = 1,700
d5 = 30,000
d6 = 19,960
d7 = 14,500
d8 = 21,300
d9 = 14,400
d10 = 19,480
d11 = 13,300
d12 = 27,000
d13 = 22,000
d14 = 1,230
d15 = 26,000
d16 = 1,000
d17 = 26,000
d18 = 1,000
d19 = 33,000
d20 = 1,780
d21 = 27,500
d22 = 184,230
d23 = 15,200
d24 = 27,900
d25 = 22,700
d26 = 9,390
d27 = 23,500
d28 = 1,340
d29 = 26,400
d30 = 1,130
d31 = 32, 000
d32 = 1,000
d33 = 25,000
d34 = 1,200
d35 = 40,600
d36 = 1,000
d37 = 37,500
d38 = 10,610
d39 = 18,700
d40 = 18,280
5
Показатели преломления
n1 = 1,50406
n2 = 1,50406
n3 = 1,61924
n4 = 1,50406
n5 = 1,61924
n6 = 1,61924
n7 = 1,50406
n8 = 1,50406
n9 = 1,50406
n10 = 1,50406
n11 = 1,50406
n12 = 1,61924
n13 = 1,61924
n14 = 1,50406
n15 = 1,50406
n16 = 1,50406
n17 = 1,50406
n18 = 1,50406
n19 = 1,50406
n20 = 1,61924
BY 5739 C1
R41 = 81,574
R42 = 511,290
R43 = 81,574
R44 = 137,688
R45 = 1194,900
R46 = -727,130
d41 = 31,600
d42 = 13,380
d43 = 16,300
d44 = 12,550
d45 = 16,400
n21 = 1,50406
n22 = 1,57922
n23 = 1,61924
Источники информации:
1. А.с. 1303972 А1, МПК G 02B 13/24. - Опубл. 15.04.1987 // Бюл. № 14. - С. 196.
2. А.с. 1587334 А1, МПК G 02B 13/24. - Опубл. 23.08.1990 // Бюл. № 31. - С. 177.
3. А.с. 1659955 А1, МПК G 02B 13/22, 13/24. - Опубл. 30.06.1991 // Бюл. № 24. - С. 177
(прототип).
Национальный центр интеллектуальной собственности.
220034, г. Минск, ул. Козлова, 20.
6
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
130 Кб
Теги
патент, by5739
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа