close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY5893

код для вставкиСкачать
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ПАТЕНТУ
РЕСПУБЛИКА БЕЛАРУСЬ
BY (11) 5893
(13) C1
(19)
7
(51) G 02B 13/24, 9/64
(12)
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР
ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ
СОБСТВЕННОСТИ
(54)
ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ - 1/5Х
(21) Номер заявки: a 20000625
(22) 2000.06.30
(46) 2004.03.30
(71) Заявитель: Научно-производственное
республиканское унитарное предприятие "КБТМ-ОМО" (BY)
(72) Авторы: Гуревич Элла Семеновна; Цуран Владимир Ильич; Тихончук Георгий
Иванович; Богуш Александр Львович
(BY)
(73) Патентообладатель: Научно-производственное республиканское унитарное
предприятие "КБТМ-ОМО" (BY)
BY 5893 C1
(57)
Проекционный объектив с увеличением - 1/5х, содержащий расположенные вдоль оптической оси компоненты и апертурную диафрагму, причем первый компонент - два положительных мениска, обращенных выпуклостью друг к другу и двояковыпуклая линза между
ними, второй компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости
предметов, третий - двояковогнутая линза, четвертый - отрицательный мениск, обращенный
вогнутостью к плоскости предметов, пятый - положительный, шестой - двояковыпуклая линза, седьмой и восьмой - положительные мениски, обращенные выпуклостями к плоскости
предметов, девятый - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, десятый - двухлинзовый склеенный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, одиннадцатый и двенадцатый - двояковыпуклые линзы, тринадцатый - двухлинзовый
положительный мениск, склеенный из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, четырнадцатый - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, отличающийся тем, что содержит пятнадцатый компонент в виде положительного мениска,
обращенного вогнутостью к плоскости предметов, расположенный между четвертым и пятым
компонентами, и шестнадцатый компонент в виде мениска, обращенного выпуклостью к
плоскости предметов, расположенный между седьмым и восьмым компонентами, причем
второй компонент выполнен склеенным из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, пятый
компонент - мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, десятый склеен из отрицательной двояковогнутой и двояковыпуклой линз, а апертурная диафрагма расположена
между девятым и десятым компонентами.
Фиг. 1
BY 5893 C1
(56)
SU 1659955 A1, 1991.
RU 2068572 C1, 1996.
US 3656839 A, 1972.
EP 0717299 A1, 1996.
US 5260832 A, 1993.
Изобретение относится к оптическим системам и может быть использовано в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования для изготовления полупроводниковых приборов.
Известен проекционный объектив с увеличением -1/5х (а.с. СССР 1303972, МПК G02B
13/24, 1987), содержащий четырнадцать линз, собранных в одиннадцать компонентов и
диафрагму. Рабочая область длин волн λ = 404,6 ± 5 нм. Апертура А' = 0,3. Поле зрения
2у' = 20 мм. Недостатком известного объектива является малая апертура и отсутствие телецентрического хода лучей в пространстве предметов.
Известен также проекционный объектив с увеличением -1/5x (а.с. СССР 1758624,
МПК G02B 25/00, 1992), содержащий двадцать линз, собранных в пятнадцать компонентов и диафрагму. Рабочая область длин волн λ = 404,6 ± 5 нм. Апертура А' = 0,35. Поле
зрения 2у' = 23,2 мм. В пространстве предметов телецентрический ход лучей. Недостатком известного объектива является малая апертура.
Наиболее близким прототипом является проекционный объектив с увеличением - 1/5x
(а.с. СССР 1659955, МПК G02B 13/22, 1991), содержащий четырнадцать компонентов и
апертурную диафрагму, причем первый компонент - два положительных мениска, обращенных выпуклостями друг к другу и двояковыпуклая линза между ними, второй - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, третий - двояковогнутая линза, четвертый - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости
предметов, пятый и шестой - положительные двояковыпуклые линзы, седьмой и восьмой - положительные мениски, обращенные выпуклостями к плоскости предметов, девятый - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, десятый - отрицательный склеенный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, одиннадцатый и двенадцатый - двояковыпуклые положительные линзы, тринадцатый - положительный
мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и склеенный из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, а четырнадцатый компонент - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов.
Рабочая область длин волн объектива λ = 365 ± 4 нм. Апертура А' = 0,35. Поле зрения
2у' = 21,2 мм при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов. Недостатком
прототипа является малая апертура.
Задачей изобретения является увеличение апертуры при сохранении телецентрического хода лучей в пространстве предметов объектива.
Поставленная задача достигается тем, что объектив, содержащий расположенные
вдоль оптической оси компоненты и апертурную диафрагму, причем первый компонент два положительных мениска, обращенных выпуклостями друг к другу и двояковыпуклая
линза между ними, второй компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью
к плоскости предметов, третий - двояковогнутая линза, четвертый - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, пятый - положительный, шестой двояковыпуклая линза, седьмой и восьмой - положительные мениски, обращенные выпуклостями к плоскости предметов, девятый - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, десятый - двухлинзовый склеенный мениск, обращенный
вогнутостью к плоскости предметов, одиннадцатый и двенадцатый - двояковыпуклые
линзы, тринадцатый - двухлинзовый положительный мениск, склеенный из двояковыпук2
BY 5893 C1
лой и двояковогнутой линз, а четырнадцатый - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, пятнадцатый компонент - положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, расположенный между четвертым и
пятым компонентами, шестнадцатый компонент - мениск, обращенный выпуклостью к
плоскости предметов, расположенный между седьмым и восьмым компонентами, причем
второй компонент выполнен склеенным из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, пятый
компонент - мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, десятый склеен из
отрицательной двояковогнутой и двояковыпуклой линз, а апертурная диафрагма расположена между девятым и десятым компонентами.
Суть изобретения поясняется чертежом, на котором приведена оптическая схема объектива.
В таблице приведены конструктивные параметры объектива (радиусы кривизны поверхностей Ri, толщины линз и расстояния между ними di и марки стекол).
Объектив содержит расположенные вдоль оптической оси двадцать одну линзу,
сгруппированные в шестнадцать компонентов и апертурную диафрагму.
Первый компонент 1 состоит из двух положительных менисков, обращенных выпуклостями друг к другу, и двояковыпуклой линзы, расположенной между ними. Первый положительный мениск выполнен из крона, радиусы кривизны которого R1 и R2 связаны
соотношением R1 : R2 = 2,79 : 1. Двояковыпуклая линза выполнена из крона, радиусы
кривизны которой R3 и R4 связаны соотношением R3 : R4 = 1 : 10,3. Второй положительный мениск - из крона, радиусы кривизны которого R5 и R6 связаны соотношением
R5 : R6 = 1 : 3,2.
Второй компонент 2 - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости
предметов и склеенный из двояковыпуклой линзы, выполненной из крона и двояковогнутой линзы, выполненной из легкого флинта. Разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,076, а разность дисперсий - 22,8. Наружные радиусы
кривизны R7 и R9 связаны соотношением R7 : R9 = 8,24 : 1.
Третий компонент 3 - двояковогнутая линза, выполненная из легкого флинта, радиусы
кривизны которой R10 и R11 связаны соотношением R10 : R 11 = 1 : 1,19.
Четвертый компонент 4 - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, выполнен из крона, радиусы кривизны которого R12 и R13 связаны соотношением R12 : R13 = 1 : 1,47.
Пятый компонент 5 - положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости
предметов, выполнен из крона, радиусы кривизны которого R16 и R17 связаны соотношением R16 : R17 = 3,51 : 1.
Шестой компонент 6 - двояковыпуклая линза, выполненная из особого крона, радиусы
кривизны которой R18 и R19 связаны соотношением R18 : R19 = 1,98 : 1.
Седьмой компонент 7 - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из крона, радиусы кривизны которого R20 и R21 связаны соотношением R20 : R21 = 1 : 3,48.
Восьмой компонент 8 - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из крона, радиусы кривизны которого R24 и R25 связаны соотношением R24 : R25 = 1 : 1,28.
Девятый компонент 9 - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости
предметов, выполнен из легкого флинта, радиусы кривизны которого R26 и R27 связаны
соотношением R26 : R27 = 6,89 : 1.
Десятый компонент 10 - двухлинзовый склеенный мениск, обращенный вогнутостью к
плоскости предметов и склеенный из отрицательной двояковогнутой линзы, выполненной
из легкого флинта и двояковыпуклой линзы, выполненной из крона. Разность показателей
преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,076, а разность дисперсий - 22,8.
Наружные радиусы кривизны R28 и R30 связаны соотношением R28 : R30 = 1 : 1,33.
3
BY 5893 C1
Одиннадцатый компонент 11 - двояковыпуклая линза, выполненная из особого крона,
радиусы кривизны которой R31 и R32 связаны соотношением R31 : R32 = 1,21 : 1.
Двенадцатый компонент 12 - двояковыпуклая линза, выполненная из особого крона,
радиусы кривизны которой R33 и R34 связаны соотношением R33 : R34 = 1 : 4,52.
Тринадцатый компонент 13 - двухлинзовый склеенный положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и склеенный из двояковыпуклой линзы, выполненной из крона и двояковогнутой линзы, выполненной из легкого флинта. Разность
показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,076, а разность
дисперсий 22,8, наружные радиусы кривизны R35 и R37 связаны соотношением
R35 : R37 = 1 : 1,76.
Четырнадцатый компонент 14 - положительный мениск, обращенный выпуклостью к
плоскости предметов, выполнен из крона, радиусы кривизны которого R38 и R39 связаны
соотношением R38 : R39 = 1 : 1,38.
Пятнадцатый компонент 15 - положительный мениск, обращенный вогнутостью к
плоскости предметов, выполнен из крона, радиусы кривизны которого R14 и R15 связаны
соотношением R14 : R15 = 2,11 : 1 и расположен между четвертым 4 и пятым 5 компонентами.
Шестнадцатый компонент 16 - положительный мениск, обращенный выпуклостью к
плоскости предметов, выполнен из крона, радиусы кривизны которого R22 и R23 связаны
соотношением R22 : R23 = 1 : 2,43 и расположен между седьмым 7 и восьмым 8 компонентами.
Апертурная диафрагма расположена между девятым 9 и десятым 10 компонентами.
Объектив имеет высокую степень коррекции аберраций для области длин волн спектра λ = 365 ± 4 нм. Апертура А' = 0,45, поле зрения 2у' = 20 мм. Телецентрический ход лучей в пространстве предметов и изображений. Поперечная сферическая аберрация не
более 0,0006 мм, астигматическая разность не более 0,002 мм, дисторсия не более 0,002 %, аберрации широких меридиональных пучков не более 0,0016 мм (фиг. 2).
Среднеквадратичное отклонение волновых аберраций для любой точки поля не превышает 0,04 длины волны.
Увеличение апертуры объектива позволяет повысить разрешение и получать минимальные элементы размером 0,65 мкм на поле диаметром 20 мм, что значительно повышает информационную емкость интегральных схем, получаемых на оборудовании, в
котором может использоваться объектив.
4
BY 5893 C1
Радиусы кривизны Осевые pacст. Марки стекол
R1 = -691,800
R2 = -247,700
R3 = 237,100
R4 = -2443,000
R5 = 205,100
R6 = 656,100
R7 = 591,600
R8 = -165,580
R9 = 71,780
R10 = -129,420
R11 = 153,820
R12 = -62,520
R13 = -91,830
R14 = -350,800
R15 = -166,340
R16 = -1091,400
R17 = -311,200
R18 = 608,100
R19 = -307,600
R20 = 335,700
R21 = 1169,500
R22 = 302,700
R23 = 736,200
R24 = 148,250
R25 = 189,670
R26 = 568,900
R27 = 82,600
R28 = -108,140
R29 = 278,000
R30 = -144,210
R31 = 341,200
R32 = -282,500
R33 = 123,590
R34 = -558,500
R35 = 87,300
R36 = -83,180
R37 = 153,820
R38 = 85,110
R39 = 117,220
24,000
3,000
27,000
3,000
26,000
67,270
25,000
18,000
25,310
16,000
24,450
31,000
31,530
23,000
3,000
25,000
3,000
28,000
4,500
24,000
1,990
22,000
2,000
27,000
28,170
16,000
43,030
12,000
26,000
1,000
21,000
1,000
28,700
51,280
27,000
11,000
4,000
15,500
ВОЗДУХ
К8
ВОЗДУХ
К8
ВОЗДУХ
К8
ВОЗДУХ
К8
ЛФ5
ВОЗДУХ
ЛФ5
ВОЗДУХ
К8
ВОЗДУХ
К8
ВОЗДУХ
К8
ВОЗДУХ
OK1
ВОЗДУХ
К8
ВОЗДУХ
К8
ВОЗДУХ
R8
ВОЗДУХ
ЛФ5
ВОЗДУХ
ЛФ5
К8
ВОЗДУХ
OK1
ВОЗДУХ
OK1
ВОЗДУХ
К8
ЛФ5
ВОЗДУХ
К8
ВОЗДУХ
Национальный центр интеллектуальной собственности.
220034, г. Минск, ул. Козлова, 20.
5
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
134 Кб
Теги
by5893, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа