close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY6943

код для вставкиСкачать
BY (11) 6943
(13) C1
(19)
7
(51) H 01L 21/76
(12)
(54)
(21)
(22) 1999.06.10
(46) 2005.03.30
(71)
:
(72)
: a 19990581
:
;
;
(BY)
(73)
:
-
"
-
" (BY)
" (BY)
(57)
1.
,
,
,
,
,
300-350 °
BY 6943 C1
30
.
,
,
,
(3,73÷3,82)·107
-
BY 6943 C1
2.
. 1,
,
-
3.
. 1,
,
-
. 1,
,
-
1-3 %.
.
4.
.
(56)
EP 0562127 A1, 1993.
RU 2108638 C1, 1998.
RU 2024108 C1, 1994.
US 5236861 A, 1993.
EP 0107902 A2, 1984.
JP 61260653 A, 1986.
(
).
[1],
-
,
,
.
.
[2],
-
,
,
.
:
"
,
";
SiO2-Si3N4,
,
SiO2,
,
;
,
,
.
-
,
.
,
-
[3],
,
,
.
,
.
.
,
-
.
,
-
.
,
,
,
.
2
BY 6943 C1
,
,
,
-
,
,
,
,
(3,73-3,82)⋅107
300-350 °C
30
-
.
,
1-3 %,
,
(3,73-3,82)⋅107
350 °C
30
300-
.
.
,
3,6
,
1
,
,
1
3
-
.
,
.
.1 (
)
.
1(
. 1, ),
3(
. 1, b)
. 1, )
2
-
,
.
-
4(
5(
. 1, ),
. 1, d),
,
6(
6(
. 1, ).
. 1, ),
,
.
.
.
1.
10
+
21
10
-3
-
*
.
1323
3
1016
-3
.
"
(
"
1 %)
1
-
,
4
.
-2
3,5
.
1323
2
-
3,5
.
300 °
30
.
2.
10
1021
"
1,5
-3
.
3
"
+
*
1323
1016
,
4
-3
.
.
-2
3
.
3
BY 6943 C1
1323
3,5
2
.
350 °C
45
.
3.
10
1021
1
4
1323 °
-3
.
3
"
+
*
1016
-3
.
"
?
.
-2
3
-
.
1323
3,5
2
.
30
400 °
.
10
4.
1021
-3
.
3
"
1
4
+
*
1323
1016
.
"
,
.
-2
3
.
1323
3,5
2
.
30
250 °C
.
:
1.
2.
3. A. .
-3
,
3691999, .123-8.1, 1972.
3579391, . 148-175, 1971.
897060.
.
220034, .
,
.
, 20.
-
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
97 Кб
Теги
by6943, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа