close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY7113

код для вставкиСкачать
BY (11) 7113
(13) C1
(19)
(46) 2005.06.30
(12)
7
(51) H 01L 29/47, 29/872
(54)
(21)
(22) 2002.06.18
(43) 2002.12.30
(71)
:
:
-
-
"
(72)
(73)
: a 20020522
" (BY)
:
;
;
;
;
(BY)
"
" (BY)
(56) US 5148240 A, 1992.
RU 2166221 C1, 2001.
RU 2165661 C1, 2001.
SU 103780 A1, 1996.
US 4223327 A, 1980.
WO 98/32178 A1.
EP 0111364 A1, 1984.
JP 01123469 A, 1989.
(57)
,
,
,
-
,
,
,
,
BY 7113 C1 2005.06.30
0,07-0,40
,
,
,
,
,
.
,
,
-
BY 7113 C1 2005.06.30
,
,
-
.
1N60 ( )
.
,
n-
,
,
n-
,
,
-
,
,
-
[1].
,
.
,
[2].
,
,
,
(TixO),
,
[3].
,
-
,
,
.
-
1
/
.
,
,
.
,
,
,
-
(
TixO)
,
,
-
,
,
,
(~0,5
5⋅1012
)
-2
.
,
,
,
.
,
,
.
,
,
,
-
,
,
,
,
2
-
BY 7113 C1 2005.06.30
0,07-0,40
,
,
,
-
,
,
,
,
.
.
-
,
(
~600 °
),
.
.
,
.
,
,
.,
,
,
-
,
.
(
)
.
-
,
,
,
.,
, Na, Li
.
,
3⋅1013
-2
,
-
[4].
,
SiO2/Ta2O5.
.
,
,
1 nn+
),
(n-
,
-0,8÷1,0,
-0,003,
(n-
)
3,
(SiO2) 4,
5,
6,
(
8,
:
n+/n ( +/ )-
,
3
n) 2,
;
) 7,
( 2 5) 9.
.
.
-
BY 7113 C1 2005.06.30
(Ta2O5).
,
,
.
,
-
.
.
.
.
1
,
5,
-
,
,
,
.
-
.
SiO2 4.
,
Si
Si
:
,
6,
,
W-Ti, Pd-W
.
l
Al-Si, Al-Si-Cu, Ag, Ni,
,
.
.
, V, W, Ti, Ni, Pd, Pt
.,
Ni-V
,
.
)
DO-35,
7(
,
-
,
.
V/
,
8
-15/Ag.
,
-
,
.
,
,
Ti/Ni/Ag.
,
.
SiO2/Ta2O5
.
0,07
-
,
2
2
0,40
5
:
5
.
2
5
(0,07
)
,
-
.
0,40
,
,
,
SiO2,
,
.
,
,
,
,
.
. 1.
4
-
BY 7113 C1 2005.06.30
,
,
.
.
,
-
,
,
.
.
1
,
*
**
**
IR
UR = 15 B
IF = IR = 10
IRR = 1
R
= 100
IF = 1
-
tRR
UF
0,5
IF = 30
0,1
1,5
1,2
0,35
0,32
0,68
0,65
Uni = 3 B (
-
)
n
65-70 %
F = 30
RL = 3,9
L = 10
60-65 %
*
HP 4061 (
).
**
.
.2
: SiO2; SiO2/Ta2O5 (
2
5)
SiO2/Si3N4.
2
IR,
(
(d),
SiO2 d = 0,62
SiO2 (d = 0,62) / Ta2O5 (d = 0,06)
SiO2 (d = 0,62) / Ta2O5 (d = 0,07)
SiO2 (d = 0,62) / Ta2O5 (d = 0,27)
SiO2 (d = 0,62) / Ta2O5 (d = 0,40)
SiO2 (d = 0,62) / Ta2O5 (d = 0,41)
SiO2 (d = 0,62) / Si3N4 (d = 0,25)
*
IR
1,0
0,22
0,09
0,02
0,10
0,23
0,5
±0,01
5
.
UR = 15 )*
BY 7113 C1 2005.06.30
,
0,07÷0,40
2
.
2
0,07
5
SiO2/Ta2O5
;
,
,
,
Ta2O5
,
,
5
-
-
,
.
0,40
,
~480
,
.
-
,
. 3.
,
.
-
SiO2/Ta2O5
,
.
,
.
-
,
.
3
,
,
-
:
700
IF = 100
;
= 100 °
-
650 ° ,
30
-
1100
80 %
95 %
15 %
90 %
,
,
-
.
6
BY 7113 C1 2005.06.30
:
1.
2.
3.
4.
5135878,
5859465,
5148240,
.,
//
01L 21/44, 1992.
H 01L 27/095, 1999.
H 01L 29/48, 1992.
.,
.,
, 1991. - . 35. -
11. -
.
. 986-990.
.
220034, .
,
.
, 20.
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
98 Кб
Теги
by7113, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа