close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY7375

код для вставкиСкачать
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ПАТЕНТУ
РЕСПУБЛИКА БЕЛАРУСЬ
BY (11) 7375
(13) C1
(19)
(46) 2005.09.30
(12)
7
(51) G 01N 27/12
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР
ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ
СОБСТВЕННОСТИ
(54)
ДАТЧИК ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ГАЗОВ
(21) Номер заявки: a 20010637
(22) 2001.07.23
(43) 2003.03.30
(71) Заявитель: Научно-исследовательское
республиканское унитарное предприятие "Минский НИИ радиоматериалов" (BY)
(72) Авторы: Таратын Игорь Александрович; Сергеев Евгений Александрович (BY)
(73) Патентообладатель: Научно-исследовательское республиканское унитарное
предприятие "Минский НИИ радиоматериалов" (BY)
(56) RU 2114422 C1, 1998.
BY 2944 C1, 1999.
RU 94024402 A1, 1996.
US 4453151 A, 1984.
EP 0376721 A3, 1991.
JP 1196556 A, 1989.
BY 7375 C1 2005.09.30
(57)
Датчик для определения концентрации газов, включающий чувствительный элемент,
содержащий нагреватель с нанесенным на нем активным слоем, платиновые микропровода, отличающийся тем, что нагреватель выполнен в виде кремниевой подложки, к которой подсоединены платиновые микропровода.
BY 7375 C1 2005.09.30
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в измерительной технике при разработке микроэлектронных датчиков концентрации газов.
Известен датчик газов, представляющий электроизолирующую подложку, покрытую
слоем диоксида кремния с размещенными на ней нагревателем и термодатчиком, электродами для газочувствительного слоя [1].
Недостатком этого датчика является отсутствие длительной стабильности работы нагревателя при высоких температурах, что ведет к дрейфу контролируемых параметров.
Задачей, на решение которой направлено данное изобретение, является упрощение
конструкции и технологии изготовления.
Поставленная задача решается тем, что в датчике для определения концентрации газов, включающем чувствительный элемент, содержащий нагреватель с нанесенным на нем
активным слоем, платиновые микропровода, нагреватель выполнен в форме кремниевой
подножки, к которой подсоединены платиновые микропровода.
На фигуре изображен датчик для определения концентрации газов в разрезе.
Датчик для определения концентрации газов содержит нагреватель 1, выполненный в
форме кремниевой подножки, к которому подсоединены платиновые микропровода 2. На
нагреватель 1, выполненный в форме кремниевой подножки, нанесен активный слой 3,
состоящий, например из гидрооксида индия и гидроксида олова.
Датчик для определения концентрации газов работает следующим образом.
К платиновым проводам 2 подключают необходимое напряжение U. В результате чего
достигается определенная температура (200-600 °С) активного слоя 3. При рабочих температурах сопротивление активного слоя 3 зависит от концентрации определяемого газа,
которое фиксируется блоком обработки результатов (на чертеже не показан). При рабочих
температурах в среде контролируемого газа происходит резкое уменьшение сопротивления активного слоя 3, которое пропорционально концентрации газа, т.е. является его
функцией.
Таким образом, выполнение нагревателя в форме кремниевой подложки, к которой
подсоединены платиновые микропровода, позволяет упростить конструкцию датчика и
технологию его изготовления.
Источники информации:
1. RU 2114422 C1, 1998.
Национальный центр интеллектуальной собственности.
220034, г. Минск, ул. Козлова, 20.
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
56 Кб
Теги
by7375, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа