close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY8431

код для вставкиСкачать
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ПАТЕНТУ
РЕСПУБЛИКА БЕЛАРУСЬ
BY (11) 8431
(13) C1
(19)
(46) 2006.08.30
(12)
7
(51) C 23C 14/24
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР
ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ
СОБСТВЕННОСТИ
(54)
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ
(21) Номер заявки: a 20030976
(22) 2003.10.24
(43) 2005.06.30
(71) Заявитель: Государственное научное учреждение "Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси " (BY)
(72) Авторы: Жоглик Игорь Николаевич;
Григорович Игорь Михайлович; Синцов Сергей Иванович (BY)
(73) Патентообладатель: Государственное
научное учреждение "Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси " (BY)
(56) RU 2073743 C1, 1997.
RU 2063472 C1, 1996.
RU 2187576 C2, 2002.
JP 1111868 A, 1989.
JP 63026354 A, 1988.
BY 8431 C1 2006.08.30
(57)
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой расположен по меньшей мере один испаритель с расходуемым катодом, оснащенный фокусирующей плазмооптической системой, приспособление для установки изделий,
BY 8431 C1 2006.08.30
размещенное на электрически изолированном от камеры металлическом приводе, подсоединенный к приводу источник электрического смещения, выполненный в виде трансформатора, отличающееся тем, что трансформатор содержит высоковольтную и
низковольтную вторичные обмотки, каждая из которых одним незаземленным выходом
электрически соединена с приводом через тиристорный блок управления, а вторым выходом - с вакуумной камерой.
Предлагаемое изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения защитных, износостойких и декоративных покрытий из различных металлов, сплавов и их соединений с газами.
Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, которое содержит вакуумную камеру, размещенный в ней испаритель с расходуемым катодом, оснащенный фокусирующей плазмооптической системой, и приспособление для установки изделий,
расположенное на электрически изолированном от камеры металлическом валу, подсоединенный к металлическому валу источник отрицательного электрического смещения [1].
Покрытия, полученные с использованием такого устройства, имеют сильнонапряженную структуру, и при росте толщины покрытия происходит его отслаивание.
Повышенные внутренние напряжения в покрытии возникают также в результате
больших величин ионного тока и появления микродуг, что заметно ухудшает качество покрытий.
Наиболее близким по технической сути к заявляемому устройству является устройство, которое содержит вакуумную камеру, в которой размещен испаритель с расходуемым
катодом, оснащенный фокусирующей плазмооптической системой, и приспособление для
размещения изделий, расположенное на электрически изолированном от камеры металлическом валу. К валу подсоединен источник электрического смещения - низковольтный
трансформатор. На внутренней стенке камеры смонтирован ускоритель нейтральных или
ионизированных частиц газа, соединенный с источником питания. Для напуска газа камера снабжена натекателем, а откачка камеры производится через выходной патрубок. В
случае нанесения покрытия изменяющегося цвета между испарителем и изделием размещен рассекатель [2].
Указанное устройство не обеспечивает эффективного использования мощности, рассеиваемой на изделии, из-за подачи одинаковых по величине и длительности импульсов
положительного и отрицательного потенциала смещения, а также происходит несимметричная нагрузка трансформатора в процессе вакуумно-дугового осаждения покрытия.
Задачей предлагаемого изобретения является создание устройства для нанесения покрытий в вакууме, обеспечивающего получение покрытий повышенного качества на более
широкий ряд материалов изделий (силумины, латунь, пластмассы) и позволяющего наиболее эффективно использовать мощность вакуумно-дугового разряда в процессе осаждения покрытий.
Поставленная задача решается следующим образом: устройство для нанесения покрытий в вакууме содержит вакуумную камеру с размещенным в ней испарителем с расходуемым катодом, оснащенным фокусирующей плазмооптической системой, смонтированный
на внутренней стенке камеры ускоритель нейтральных или ионизированных частиц газа,
натекатель для напуска газа и патрубок для откачки, а также приспособление для размещения изделий, расположенное на электрически изолированном от камеры приводе, к которому подсоединен источник электрического смещения - трансформатор, содержащий
высоковольтную и низковольтную вторичные обмотки, каждая из которых одним незаземленным выходом электрически соединена с приводом через тиристорный блок управления,
а вторым выходом - с камерой.
На фигуре представлена схема предлагаемого устройства.
2
BY 8431 C1 2006.08.30
Устройство для нанесения покрытий в вакууме содержит вакуумную камеру 1, в которой размещен испаритель 2 с расходуемым катодом 3, оснащенный фокусирующей плазмооптической системой 4. На внутренней стенке камеры смонтирован ускоритель 5
нейтральных или ионизированных частиц газа, соединенный с источником питания 6. Для
напуска газа камера снабжена натекателем 7, а для откачки - выходным патрубком 8. В
случае нанесения покрытия изменяющегося цвета между испарителем и изделием размещен рассекатель 9. Внутри камеры установлено приспособление 10 для размещения изделий, расположенное на электрически изолированном от камеры приводе 11. К приводу
подсоединен источник электрического смещения 12, состоящий из трансформатора 13,
высоковольтная 14 и низковольтная 15 вторичные обмотки которого незаземленным выходом соединены с приводом через тиристорный блок управления 16.
Устройство для нанесения покрытий в вакууме работает следующим образом. В вакуумную камеру 1 помещают изделия, разместив их на приспособление 10. Приспособление
может иметь форму стола или специальную конструкцию под конкретное изделие. Затем
проводят откачку камеры через патрубок 8. Устанавливают натекателем 7 требуемое давление газа (Ar, N2) и включают ускоритель нейтральных или ионизированных частиц газа.
После этого зажигают электрическую дугу на катоде 3 испарителя 2, одновременно включают источник электрического смещения 12 и осуществляют осаждение покрытия. При
этом коммутацию положительного и отрицательного импульсов напряжения смещения, а
также регулировку амплитуды их продолжительности осуществляют тиристорным блоком
управления 16.
Предлагаемое устройство возможно к применению при изготовлении деталей кузнечно-штампового и инструментального производства, а также для восстановления изношенных деталей в автомобиле- и тракторостроении.
Источники информации:
1. Аксенов И.И., Антуфьев Ю.Н., Брень В.Г., Подолко В.Г., Попов А.И., Хорошик В.М. Об условиях синтеза нитридов при конденсации плазменных потоков // Физика
и химия обработки материалов. - 1984. - № 4. - С. 43-44.
2. RU 2073743, 20.02.1997 // Бюл. № 5.
Национальный центр интеллектуальной собственности.
220034, г. Минск, ул. Козлова, 20.
3
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
1
Размер файла
179 Кб
Теги
by8431, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа