close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY8675

код для вставкиСкачать
BY (11) 8675
(13) C1
(46) 2006.12.30
(19)
(12)
7
(51) G 01B 11/30,
G 01N 21/88,
H 01L 21/66
(54)
(21)
(22) 2004.05.28
(43) 2004.12.30
(71)
:
: a 20040487
(73)
-
"
" (BY)
(72)
:
;
;
(BY)
;
-
:
"
" (BY)
(56) Okabayashi O., Shirotori H., Sakurazawa H. et al. Evaluation of directly bonded
silicon wafer interface by the magic mirror method. J. of Crystal Growth, 1990.
V.103. - P. 456-460.
BY 20021053, 2003.
BY 1157 U, 2003.
SU 1397728 A1, 1988.
SU 1585672 A1, 1990.
SU 1379617 A1, 1988.
DE 4207591 A1, 1993.
US 5225890 A, 1993.
(57)
,
,
,
,
,
BY 8675 C1 2006.12.30
,
0,5-5
.2
.
,
BY 8675 C1 2006.12.30
,
-
,
-
,
(
),
.
,
,
,
.
.
.
.
.
-
.
:
.
,
-
.
-
,
[1].
.
,
.
,
,
, ,
,
,
.
,
-
,
,
[2].
,
-
.
,
,
,
.
.
.
.
,
,
[3].
,
6
[3],
,
-
.
.
,
-150
0,1
,
,
.
.
,
.
-
,
2
BY 8675 C1 2006.12.30
.
-
.
-
-
.
.
,
.
-
,
,
,
.
,
-
,
,
,
.
-
,
,
,
.
,
.
,
,
-
.
,
,
,
(
,
).
,
,
-
,
-
.
.
,
,
-
,
,
.
0,5
.
,
,
-
,
.
-
.
,
,
.
,
,
,
0,1
,
,
,
-
,
.
.
,
.
3
.
BY 8675 C1 2006.12.30
,
,
,
,
,
-
,
,
0,5-5
.
-
,
.
,
.
,
,
0,5-5
,
-
.
,
,
(
)
,
-
.
(
),
-
-
.
,
.
,
-
.
,
,
-
.
.
.
,
-
.1
.2
,
,
,
-
.3
.4
,
,
-
.5
,
,
.
.1
,
. 2,
,
.
.
,
.
,
,
-
.
.
,
.
,
,
.
,
-
.
.
4
BY 8675 C1 2006.12.30
.
.
,
,
.3
.
. 4,
,
,
"
"
.
.
.
,
,
3-5
,
.
,
.
.
(
0,5
-
)
(
:
.035.240.
.
).
0,5
,
-5
.
.
-
-150,
.
.
.
.
,
.
,
.
.
,
,
.
-
.
100
ETO.035.240
.
,
,
,
.
,
,
,
,
,
.
,
4-5
,
-
.
. 1.
20
.035.240
.
.
. 2.
.5
14.
,
,
,
,
.3
. 4.
-
.
,
.
5
-
BY 8675 C1 2006.12.30
1
,
-
-
-
-
.035.240
,%
,%
1
0,05 %
2
0,05 %
-
3
4
1,3 %
0,05 %
-
5
3,1 %
6
1,9 %
7
1,5 %
8
0,05 %
-
9
-
10
3,7 %
1,0 %
11
0,05 %
12
0,05 %
-
13
2,9 %
1
5%
1
4%
2
5%
1
4%
4
6%
2
4%
2
9%
1
2%
4
7%
1
3%
1
2%
1
2%
3
5%
,
14
15
-
-
-
16
3,2
2,0 %
18
0,05 %
-
20
1,2 %
0,5 %
6
5
12 %
0,05 %
17
19
0,9-8,2
4
7%
1
3%
2
3%
1
2%
2
4%
1
2%
BY 8675 C1 2006.12.30
2
-
,
,%
5
0,2
3,8
5,4 %
0,5
1,0
3,0
5,0
3,1 %
3,1 %
3,1 %
3,1 %
10,0
3,0 %
0,2
3,2-11,5
0,5
3,0
0,9-8,2
0,9-8,2
5,0
0,9-8,2
10,0
0,9-6,7
-
14
-
,
,
-
.
,
,
,
.
-
,
.
,
.
,
-
,
.
,
,
.
,
.
,
.
:
1.
2.
.
, 1988. - 191 ., .
B.C.,
, 1979, - 162 .,
. .
.:
,
. M.:
.
7
.
BY 8675 C1 2006.12.30
3. Okabayashi ., Shirotori H., Sakurazawa H., Kanda E., Yokoyama ., Kawashima M.
Evaluation of directly bonded silicon wafer interface by magic mirror method. Journal of Crystal
Growth. Volume 103, Nos. 1-4. June II (1990). - P. 456-460 (
).
.1
.3
.4
.5
.
220034, .
,
.
, 20.
8
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
155 Кб
Теги
by8675, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа