close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY8716

код для вставкиСкачать
BY (11) 8716
(13) C1
(46) 2006.12.30
(19)
(12)
7
(51) G 01B 11/30,
G 01N 21/88,
H 01L 21/66
(54)
(21)
(22) 2004.06.01
(43) 2004.12.30
(71)
:
: a 20040498
(73)
-
(72)
" (BY)
:
;
;
(BY)
;
-
:
"
" (BY)
(56) BY 20000951, 2002.
BY 20021053, 2003.
BY 1157 U, 2003.
SU 1397728 A1, 1988.
SU 1585672 A1, 1990.
SU 1379617 A1, 1988.
DE 4207591 A1, 1993.
US 5225890 A, 1993.
-
(57)
,
,
-
,
BY 8716 C1 2006.12.30
,
0,5-5
.2
.
BY 8716 C1 2006.12.30
,
-
,
-
,
(
),
.
,
,
,
.
.
.
.
.
.
:
-
.
,
-
.
-
,
[1].
-
.
,
.
,
,
, ,
,
,
.
,
,
-
,
[2].
,
-
.
,
,
,
.
.
,
.
,
,
,
-
,
[3].
-
.
,
[4],
6
,
.
.
,
0,1
,
,
.
2
-150
BY 8716 C1 2006.12.30
.
,
.
-
,
.
.
-
-
.
.
-
,
.
,
.
,
,
,
.
-
,
,
,
,
.
,
.
,
,
-
.
,
,
,
(
,
).
,
,
-
,
.
.
,
,
,
,
-
.
0,5
.
,
,
,
-
.
-
.
,
,
.
,
,
0,1
.
,
,
,
.
.
3
,
-
BY 8716 C1 2006.12.30
.
,
.
.
,
-
,
-
,
,
0,5-5
.
,
.
-
,
.
,
0,5-5
,
,
,
,
.
0,5-5
,
-
,
.
,
(
(
)
)
,
.
-
.
.
,
,
,
.
-
.
,
.
,
-
,
.
.
-
,
,
.
,
.
.
.1
,
.2
,
-
.3
,
,
.4
,
,
-
.5
,
,
.
4
-
BY 8716 C1 2006.12.30
.1
. 2,
-
,
.
.
-
,
.
.
,
.
,
-
,
.
,
-
.
.
,
.3
. 4,
,
.
"
"
,
.
.
.
,
,
3-5
,
.
,
-
.
.
(
)
0,5
(
:
ETO.035.240.
.
).
0,5
-5
,
-
.
.
-150.
.
.
.
,
.
,
.
.
,
-
,
.
.
100
ETO.035.240
,
,
,
.
.
,
,
,
,
,
.
,
4-5
,
.
20
.
1.
ETO.035.240
.
5
-
BY 8716 C1 2006.12.30
1
-
-
-
-
-
,
.035.240
1
,%
0,05 %
2
0,05 %
3
-
,%
1
5%
1
4%
2
5%
1
4%
4
6%
2
4%
2
9%
1
2%
4
7%
1
3%
1
2%
1
2%
3
5%
1,3 %
4
0,05 %
5
-
6
3,1 %
1,9 %
7
1,5 %
8
0,05 %
9
-
10
-
3,7 %
1,0 %
11
0,05 %
12
0,05 %
13
-
14
,
2,9 %
0,9-8,2
-
-
5
12 %
15
-
16
4
7%
1
3%
2
3%
1
2%
2
4%
1
2%
0,05 %
17
2,0 %
18
19
3,2
0,05 %
-
20
1,2 %
0,5 %
6
BY 8716 C1 2006.12.30
2.
2
,
,%
5
0,2
3,8
14
5,4 %
0,5
1,0
3,0
5,0
10,0
3,1 %
3,1 %
3,1 %
3,1 %
3,0 %
0,2
3,2-11,5
0,5
3,0
5,0
0,9-8,2
0,9-8,2
0,9-8,2
10,0
0,9-6,7
-
-
.5
14.
-
.
,
.
,
,
.
,
,
,
.
-
,
.
,
,
,
,
.
.
,
-
,
3, 6, 10
,
.
.
,
,
.
,
,
.
,
.
7
BY 8716 C1 2006.12.30
,
,
.
:
1.
.
. - .:
..
, 1988. - 191 ., .
2.
B.C.,
.
. M.:
, 1979, - 162 ., .
3.
BY 20000951,
H 01L 21/66, 2003 (
).
4. Okabayashi ., Shirotori H., Sakurazawa H., Kanda E., Yokoyama ., Kawashima M.
Evaluation of directly bonded silicon wafer interface by magic mirror method. Journal of Crystal
Growth. Volume 103, Nos. 1-4. June II (1990). - P. 456-460.
.1
.3
.4
.5
.
220034, .
,
.
, 20.
8
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
179 Кб
Теги
by8716, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа