close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY8758

код для вставкиСкачать
BY (11) 8758
(13) C1
(46) 2006.12.30
(19)
(12)
7
(51) C 23C 16/24,
H 01L 21/365
(54)
(21)
(22) 2004.07.15
(43) 2005.03.30
(71)
:
: a 20040673
:
-
-
"
(72)
(73)
" (BY)
:
-
;
;
;
"
" (BY)
(56) RU 2191847 C2, 2002.
DE 4333416 A1, 1995.
DE 19639432 A1, 1998.
EP 405451 A1, 1991.
DE 3504199 A1, 1986.
US 3900597, 1975.
GB 2326648 A, 1998.
(BY)
(57)
,
,
550-570 °
,
,
-
,
3-9 °
-
610-640 ° ,
,
,
-
,
.
.1
BY 8758 C1 2006.12.30
,
.
[1],
,
,
,
,
,
-
,
,
.
-
:
(
80-212
) ,
700 ° ,
-
,
;
,
0,03-0,05
;
"
0,1-0,15
,
,
"-
-
,
),
(
,
;
.
[2],
,
,
600-650 °
,
20-70
,
,
-
,
,
.
:
;
;
"
"-
-
,
-
;
,
,
-
;
.
,
[3],
,
550-570 °
5-10
,
610-640 ° ,
-
,
,
,
,
.
,
:
,
,
.
-
;
,
,
,
;
BY 8758 C1 2006.12.30
.
,
.
,
,
,
,
550-570 °
,
,
3-9 °
,
610-640 ° ,
,
-
,
.
.
.
,
,
,
3-9 °
-
,
.
:
,
,
0,5-1,5
.
610-640 °
.
,
.
-
,
,
,
,
.
,
,
,
,
-
.
,
,
,
,
,
,
.
3-9 °
,
"
-
".
,
,
,
,
.
(
9°
)"
"
-
,
.
,
-
BY 8758 C1 2006.12.30
0,5
.
.
(
"
3°
)"
-
,
,
.
,
-
.
. 1, 2,
.1
-
,
,
-
.2
-
,
.
.
-4,5
(100)
100
(SiO2)
-3/150-005 "
400 ± 40
.
.442.241.00.
"
850 ± 1 °
400 ± 40
10 ± 1
-
-
-150-008 "
4
,
-4-150".
,
-
.
-4,5
-
,
.
2,75
.
4
200
.
,
0,3
,
60 ± 6
.
565 ± 1 ° .
,
0,3
.
2437-003-16422443-2000
(SiH4)
40 ± 4
12 ± 1
90-100
.
-
,
0,3
,
635 ± 1 ° .
,
-
,
150 ± 15
.
40 ± 4
500 ± 50 .
0,3
,
5
.
60 ± 6
3
3
-
,
.
5
-
-
KCHE.442.241.001.
∆
CP =
,
3σ
:
(1)
BY 8758 C1 2006.12.30
Cp -
,∆-
,σ-
-
.
C PK =
∆ − XH − X
3σ
(2)
,
C PK -
,
H
-
, X -
.
,
,
( H)
- 450
5
.
500
,
,
-
550
.
"
-3-100
20 ± 2
" ETO.035.290
850 ± 1 °
300 ± 30
.
-
HF : H2 = 1 : 3,
(KAPO)
(
)
-
,
.
(RS)
-37"
-
"
5
.
:
ρ = RS·d,
ρ -
(3)
, d-
, RS -
-
.
1,2
"
2 ",
0,25
2
.
"
125
",
-
08
100 -005
.
02
-75-001
20
,
475 ± 1 °
-3/100
1000 ± 50
-
1..055.002.
2.651.012.
:
E
-
=
U
,
d
(4)
,U-
,d-
.
(
).
-
0,1
-3/150-005 "
",
-
BY 8758 C1 2006.12.30
3.
-
.
1,2
0,25
2
,
.
.
450 °
20
.
(4).
50-75
.
-
,
501
9,62
1,73
1,69
19,0
9,5
8,7
76,0
7,6
2
3
4
5
6
502
503
502
502,2
502,2
9,90
10,00
11,10
12,20
13,05
1,68
1,66
1,50
1,36
1,28
1,60
1,56
1,44
1,30
1,22
20,0
19,8
18,3
21,2
19,9
10,0
9,9
9,2
10,6
9,9
8,6
7,9
7,5
6,6
5,4
76,0
68,0
58,0
51,0
49,0
7,6
6,8
5,8
5,1
4,9
3,0
5,0
9,0
10,0
10,0
(
)
-
,
CPk
1 1,0
σ,
Cp
,
,
,
,
/
,
× 10
-6
,
-
-
-
-
-
.
BY 8758 C1 2006.12.30
,
-
,
1,17-1,31
1,18-1,31
,
1,39-1,59
1,21-1,55
,
,
-
.
,
,
.
:
1.
2.
3.
27.10.2002 //
3900597,
/
2191847
. 30.
23 11/00. . 19.12.1973.
. . ,
1. - M.:
, 1986. - . 127-139.
2,
23 16/40, 16/24,
01L 21/365. -
.
,
,
550-570 °
,
,
-
,
3-9 °
-
610-640 ° ,
,
,
-
,
.
.2
.
220034, .
,
.
, 20.
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
171 Кб
Теги
патент, by8758
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа