close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY8787

код для вставкиСкачать
BY (11) 8787
(13) C1
(46) 2006.12.30
(19)
(12)
7
(51) G 01N 21/01, 21/55,
G 01B 11/06
(54)
(21)
(22) 2002.01.23
(43) 2003.09.30
(71)
:
: a 20020053
(73)
"
" (BY)
:
;
;
;
;
;
;
;
-
" (BY)
(56) Lukosz W. Optics communications. V. 117, 1995. - P. 1-7.
BY 2444 C1, 1998.
BY 1582 C1, 1997.
SU 1569530 A1, 1990.
JP 2000002514 A, 2000.
JP 1131404 A, 1989.
"
(72)
:
(BY)
(57)
1.
,
,
γ0
,
r0
r
BY 8787 C1 2006.12.30
,
-
,
h
,
-
,
:
.1
BY 8787 C1 2006.12.30
h =β+
β = k 0 ε p cos α
sin α ( 0)
P4 + i P1 − P2 (1 − δ) 2 (2δ) −1 ,
w
(
(
))
h Reh = 0;
)
(
α = 0,5π − θ + arcsin ε a ε −p1 sin γ ;
w=
1,
w0
ε
1 − a sin 2 γ ;
cos γ
εp
P2 = P2 exp(iσ)
(G(−P1 ) )
−1
P4(0 ) -
,
:
γ 0 +a



Re ∫ GdP4 = 2a − ∫ rdγ 0,5k 0 ε a w 0 (1 − r0 ) −1 ;


γ 0 −a
0


a1
P2 = −0,5P1 ± 0,25P12 + 0,25P1 0,5π (1 − r0 )(G (− P1 )) ;
−1
P4( 0) = σP ;
T
 ε p  k 0 ε g − (Re h ) 2
δ= 
 ε  k ε − (Re h ) 2
0 p
 g
k 0 = 2π / λ 0 -
εp, εa, εg,
,
θγ-
Reh = β;
;
εp > εg ≥ εa , ;
;
;
w0 -
;
γ0
 γ0 +a

σ = k 0 εa w 0  ∫ rdγ − ∫ rdγ  N −1 ;


γ 0 −a
 γ0

G,
);
a1 = k 0 ε a w 0 a ;
a-
N = 8 P2
(
(
;


P
2 
Im ∫ GdP4 −  2 + 1(Re G (− P1 + ia 1 ) − G (− P1 ) )P  ;

π  0

 P1

a1
)(
P = P1G (− P1 ) + 0,5π (1 + P2 P1−1 )(P1 0,5π + (1 + P12 )G (−P1 ))
-
,
0
β, α
w
)
−1
;
1
γ = γ0,
,
,
,
h
:
T
T
  ε T

2
 f   + f  ε   cos f d + i f + f1f 2  ε   sin f d = 0 ;
3
3
2
 1 ε 
 3 f 3  ε1ε 2  
ε g  
S 






f1 = k 20 ε S − h 2 ;
f 2 = k 20 ε g − h 2 ;
2
BY 8787 C1 2006.12.30
f 3 = k 02 ε − h 2 ;
εε = ε′ + ε′′ ;
ε′ = n 2 − k 2 ;
ε′′ = 2nk ;
d, n k .
2.
,
:
,
,
,
,
,
,
,
,
-
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
h
-
.
,
,
,
-
.
,
.
m-
-
[1].
h'
-
h (h = h' + ih", h' = Reh, h" = Imh)
d.
n
,
,
(
,
),
,
-
[2].
,
:
dg
-
(
)
(
)
n
,
-
ng,
h' (
.
.
. //
3
."
-
BY 8787 C1 2006.12.30
".
-79. . 15,
. CCP.
,
3. - . 123-127).
5×10-5,
0,01
.
-
- 10-4
,
-
.
.
,
(
γ0
0,5(Rmax + Rmin),
∆γ
(
)
-
),
R -
.
n
δn / n = 0,02, δk / k = 0,011 [3].
n.
(n = n + ik),
k
-
,
γ0
.
dg
γ
,
,
.
dg.
,
,
-
:
,
n
k
.
n
k.
,
,
.
,
,
,
h'
.
2×10-5 [4].
h
,
[5].
-5
5×10 , 1 %
,
,
0,01
.
-
,
,
.
1,1 %,
,
~5 %.
,
m,
,
-
[6],
,
,
-
,
,
m-
.
-
,
,
h'
.
,
4
,
-
BY 8787 C1 2006.12.30
.
(
h'
dg.
np, ng
"
-
" [7].
.
,
-
,
.
,
,
,
,
-
,
,
.
,
,
,
γ0
,
-
r0
r
,
-
h
,
,
:
h =β+
{
]}
[
sin α ( 0)
P4 + i P1 − P2 (1 − δ) 2 (2δ) −1 ,
w
β = k 0 ε p cos α
hRe h = 0,
α = 0,5π − θ + arcsin  ε a ε p −1 sin γ  ,


w=
1,
w0
ε
1 − a sin 2 γ ,
cos γ
εp
P2 = P2 exp(iσ)
(G(−P1 ))
−1
P4( 0) -
,
:
γ 0 +a



Re ∫ GdP4 = 2a − ∫ rdγ 0,5k 0 ε a w 0 (1 − r0 ) −1 ,


γ 0 −a
0


a1
P2 = - 0,5P1 ± 0,25P12 + 0,25P1 0,5π (1 - r0 ) [G (- P1 )]−1
P4( 0) = σP ,
 εp 
δ= 
ε 
 g
k0 = 2π/λ0 ε , εa , εg ,
,
θγ-
T
k 02 ε g − (Re h )
2
Re h = β,
k 02 ε p − (Re h )
2
εp > εa ≥ εg , -
,
;
;
;
5
BY 8787 C1 2006.12.30
ω0 -
;
 γ0 +a

σ = k 0 εa w 0  ∫ rdγ − ∫ rdγ  N −1 ;


γ 0 −a
 γ0

G ,
);
a1 = k 0 ε a w 0 a ;
;
a1

2 
 P2

+ 1 [Re G (− P1 + ia 1 ) − G (− P1 )] P  ;
N = 8 P2
Im ∫ GdP4 − 
π  0

 P1

γ0
[
]
[
(
]
P = P1G (− P1 ) + 0,5π { (1 + P2 P1−1 ) P1 0,5π + (1 + P12 )G (−P1 ) } −1 ;
T,
0 1
TMβ, α ω
γ = γ0,
,
h
T
T
T
  

 ε  
 ε2  
f
f
ε
1
2

  sin f3d = 0 ,
f1  + f 2    cos f 3d + i f 3 +
 εg  
 ε Sε g  
  εS 

f
3
  

 


,
,
:
f1 = k 02 ε s − h 2 ,
f 2 = k 02 ε g − h 2 ,
f 3 = k 02 ε − h 2 ,
εε' = n2-k2;
ε'' = 2 nk;
d, n k .
,
:
,
,
-
,
,
,
-
,
,
,
,
-
,
,
-
,
,
,
-
,
,
,
,
,
,
h
.
6
-
BY 8787 C1 2006.12.30
.
.1
.
1
,
4,
3,
7,
10, 18
2,
5,
6,
8
11, 12,
16,
19.
9
14, 15,
17,
,
6,
7,
10.
-
15.
12,
14.
16
17.
(10-
)
ISA)
(
.
,
γ = γ0.
-
.2
SiOx/KB (
1)
SiOx/Si
.
.
,
SiOx/K8 (
2
3,
),
-
. 1.
,
.
,
He-Ne-
632,8
10.
7,
,
12
1,77905
0,6328
.
,
.
-1
I = I0
70
.
500
.
9
,
h
(
γ = γ0
).
,
8
,
.
15.
20
-
.
-
12,
14.
,
-7 .
16
17.
(
(10ISA)
)
.
-
.
,
.
7
,
BY 8787 C1 2006.12.30
12
-
.
.
,
,
,
.
,
.
,
,
-
,
.
h
,
.
SiO2
-
. 1.
.
,
0,3
,
0,02
9,7
3,51
,
,
.
,
.
[8]
-
,
. 1.
SiOx
ns = 145670)
: n = 1,47545, k = 1,6 × 10-5, d = 3,50
.
-5
-5
n, k d
2 × 10 , 0,1 × 10
0,01
,
(
h"
h'
,
-
,
k0 h' = 6 × 10-6,
-1
h" = 0,02 h" .
.
,
(
)
.
.
800 Å
,
300-500 Å.
,
-
,
.
-
.
) ε = ε'+iε"
(
εa
:
εε
h 2 = (h'+ih" ) 2 = k 20 a ,
εa + ε
(h' −h" )⋅ k ε − (h' + h" )
ε' =
2
2
2
0 a
z
2
2 2
2k 02 h ' h"
, ε" =
εa ,
z
8
-
BY 8787 C1 2006.12.30
(
)
z = ε a k 02 − h '2 + h"2 + (2h ' h")2 , k0 2
.
,
-
KB,
. 2.
-11.
(λ = 633
)
[9].
1
SiOx
h'/k0
1,47335
1,46720
1,45785
0
1
2
h"/k0 × 10-5
1,57
1,49
1,15*
*
n
k × 10-5
1,47544±1 × 10-5
1,57±0,03
d,
3,50±0,004
9,91
2
n
0,447
0,148
Al
u
k
6,65
3,12
d,
146
250
,
-
,
(
),
(MK).
-
.
. 3.
MK
.
k
100 %
-
,
-
∼2 %,
(ns<n)
<10 %.
3
,
λ = 515
2,7 × 10-3
λ = 633
1 × 10-4
λ = 515
2,7 × 10-3
λ = 633
0,88 × 10-4
2,8 × 10-3
1,5 × 10-4
2,8 × 10-3
0,87 × 10-4
2,9 × 10-3
2,1 × 10-4
2,8 × 10-3
0,9 × 10-4
,
,
,
,
.
,
.
9
BY 8787 C1 2006.12.30
:
1. Tien P.K. Light waves in thin-films and integrated optics // Appl.Opt. - 1971. - V.10. No 1. - P. 2385-2413.
2. Tien P.K., Ulrich R., Martin R.J. // Appl.Opt.Lett. - 1969. - V.14. - No 9. - P. 291-294.
3.
.,
.,
.
//
. - 1990. - 10. - . 14-30.
7
4.
2022247,
G 01N 21/43, 1994.
5.
.,
.,
.,
.
//
.
. - 1999. - .44. - 6. - . 687-695.
6. Lukosz W. and Pliska P. Determination of thickness, refractive indices, optical anisotropy
of, and stresses in SiO2 films on silicon wafers // Opt. Commun. - 1995. - V. 117. - P. 1-7.
7.
.,
.,
.
//
.1995. - . 78. - 4. - . 502-511.
8. Kersten R.Th. // Vakuum-Technik. - 1973. - V.23, No 1. - . 16-19.
9.
.,
.,
.
. - .:
, 1984. - . 82.
.2
.
220034, .
,
.
, 20.
10
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
128 Кб
Теги
by8787, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа