close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY8858

код для вставкиСкачать
BY (11) 8858
(13) C1
(46) 2007.02.28
(19)
(12)
7
(51) H 01L 21/60, 23/482,
23/48
(54)
(21)
(22) 2004.07.02
(43) 2005.03.30
(71)
:
: a 20040614
:
-
"
"
" (BY)
(56) DE 4139908 A1, 1993.
US 6309965 B1, 2001.
US 5731635 A, 1998.
JP 61225839 A, 1986.
JP 9213719 A, 1997.
US 20020190395 A1, 2002.
DE 3823347 A1, 1990.
-
"
:
(72)
(73)
" (BY)
;
(BY)
;
;
;
(57)
,
,
,
,
,
BY 8858 C1 2007.02.28
(0,07-0,15)
(0,5-4,5)
.
,
.2
,
,
(
).
[1],
,
.
.
,
.
[2],
,
,
.
-
BY 8858 C1 2007.02.28
.
,
,
.
[3],
,
,
.
-
.
,
.
,
.
,
,
,
,
,
(0,5-4,5)
,
(0,07-0,15)
.
,
,
(0,5-4,5)
(0,07-0,15)
.
-
,
.
.
,
,
-
:
-
,
.
.
(
)
.
,
,
-
,
.
(0,5-4,5)
,
,
-
.
0,5
,
.
,
0,5
-
(400-450) °
2
-
BY 8858 C1 2007.02.28
,
.
4,5
-
.
(0,07-0,15)
,
,
Al/Ti
AlTi3.
AlTi3
(400-450) ° .
,
.
-
,
.
-
0,07
.
-
0,15
,
.
(
)
.
,
.
-
,
,
(
)
,
,
.
,
-
,
.
. 1, 2,
-
,
.1
.2,
(1)
(2),
(4)
(3),
-
(5).
:
,
,
.
.
-
(2)
(1).
(3)
(4)
(4)
(2).
.
(4),
(5)
-
(4).
3
BY 8858 C1 2007.02.28
.1
.
1
-
,
, U
3
,
%
-
1
0,1
0,03
33,9
2
3
4
5
0,5
2,0
4,5
6,0
0,07
0,1
0,15
0,2
42,4
49,2
47,8
46,9
6
4
,
,
5-15 %
10-50 %
28,7
0,07
1
2
R
1
-
-
0,98
1,37
83
0,95
0,83
0,88
0,91
1,31
1,26
1,27
1,29
96
98
97
94
1,02
1,42
78
-
:
.
1,8 × 1,8
.
-
.
10
2
.
-
-
R
p-n:
= 1,7
/° ,
t = 100
t = 300
3
4
W = 125
,
-
,
.
-
U
80 .
100
-
.
. 1,
(0,5-4,5)
,
- (0,07-0,15)
-
.
0,5
0,07
,
.
-
4,5
0,15
,
.
.2
.
4
.
-
BY 8858 C1 2007.02.28
2
,
1
2
l
Al-1 % Si
l-1 % Si-0,15 % Cu0,1 %Ti
. 2.
3
R
,
%
-
U ,
49,2
51,3
0,83
0,81
1,26
1,27
98
98
52,6
0,85
1,29
99
-
,
.
,
.1
2,
,
-
80 %,
15 %,
20 %.
,
-
,
.
:
1.
.,
.,
.
., 1990, 383 .
2.
4631805,
H 01L 23/48, 1986.
3.
4139908,
H 01L 23/532, 1993.
.-
.1
.
220034, .
,
.
, 20.
5
.:
.
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
96 Кб
Теги
by8858, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа