close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY8991

код для вставкиСкачать
BY (11) 8991
(13) C1
(46) 2007.02.28
(19)
(12)
7
(51) C 23C 16/40, 16/455,
H 01L 21/316
(54)
(21)
(22) 2004.09.01
(43) 2005.03.30
(71)
:
: a 20040824
:
-
"
" (BY)
(56) BY 3924 C1, 2001.
EP 0959493 A2, 1999.
BY 2883 C1, 1999.
BY 2531 C1, 1998.
RU 2059323 C1, 1996.
BY 1612 C1, 1997.
SU 1795829 A1, 1996.
-
"
(72)
(73)
" (BY)
:
-
;
;
;
;
(BY)
-
(57)
1.
,
,
,
,
3-11
650-750 ° ,
,
BY 8991 C1 2007.02.28
-
,
.%
,
,
-
BY 8991 C1 2007.02.28
,
,
,
,
,
10-25
-
,
,
,
.
2.
. 1,
,
-
,
.
,
(
-
),
.
[1],
,
,
,
(
)
,
,
,
,
,
.
,
.
-
,
,
.
,
.
[2],
,
,
,
(
45-75 °
10,75-20
630-700 ° ,
,
. %,
,
),
-
,
,
.
.
,
,
,
-
,
3-11
,
.
. %.
-
,
.
,
-
,
.
[3],
2
BY 8991 C1 2007.02.28
,
,
(
3-11
-
),
.%
650-750 ° ,
,
-
,
,
,
.
-
.
3-11
. %.
,
-
.
.
,
,
-
.
,
-
,
,
,
,
3-11
650-750 ° ,
.%
,
,
-
,
,
-
,
,
,
,
10-25
,
,
,
,
,
.
,
,
,
,
,
-
10-25
,
,
,
,
.
3
,
BY 8991 C1 2007.02.28
.
.
,
(
,
,
),
-
,
,
.
,
,
,
,
.
-
,
-
,
,
(
),
,
,
.
-
10-25
.
-
10
.
,
25
,
,
,
.
,
-
,
.
(
-
).
,
-
.
,
.
:
,
.
TL 431 .
"
-4-150"
(2)
-
(1).
(3)
100
- 7,5
-300 (4)
(6).
(5)
-
.
,
.
(7).
(8)
.
(9)
(10)
.
4
-
BY 8991 C1 2007.02.28
24
.
10
5-10 °
.
,
.
(11)
.
(12).
.
,
(13)
(14).
(15)
,
-
.
,
.
,
,
-
.
.
,
0,3
,
710 ± 1 ° ,
-
.
60 ± 6
.
,
0,3
,
1
.
,
-
,
.
65
.
,
.
60 ± 6
-
-
,
,
.
.
10-25
.
.442.241.001
"
550 ± 50
.
-
-40".
( )
= tK/1,5 t ,
tK ;
t -
:
(1)
-218
.
-
,
.
5
BY 8991 C1 2007.02.28
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
+
-
0,26
1,08
1,08
10
+
-
0,25
1,22
1,17
18
+
-
0,24
1,33
1,21
25
+
-
0,26
1,35
1,20
30
+
-
0,27
1,36
0,96
18
-
-
0,26
1,31
1,12
18
+
+
0,17
1,35
1,25
18
+
-
0,21
1,33
1,10
18
+
+
0,15
1,34
1,27
18
+
-
0,23
1,32
1,21
18
+
+
0,16
1,35
1,25
18
+
-
0,24
1,33
1,18
18
+
+
0,15
1,34
1,23
-
-
-
0,28
0,73
1,00
-
16
1
5
+-
-
1
; --
,±
,
-
-
-
.%
-
,
-
-
-
,
.
,
10-25
.
-
10
.
25
.
,
-
6
BY 8991 C1 2007.02.28
,
,
.
,
-
:
,
,
,
,
.
,
,
1,86
-
,
1,84
,
27 %.
,
,
,
.
:
1. Levin R.M., Adams
., Low pressure deposition of phosphorsilicate glass films //
J. Electrochem. Soc. - 1982. - V. 129, 7. - P. 1588-1591.
2.
2531,
01L 21/316,
. 30.12.1998.
3.
3924,
01L 21/316,
. 30.06.2001.
.
220034, .
,
.
, 20.
7
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
162 Кб
Теги
by8991, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа