close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY8992

код для вставкиСкачать
BY (11) 8992
(13) C1
(46) 2007.02.28
(19)
(12)
7
(51) C 23C 16/40, 16/455,
H 01L 21/316
(54)
(21)
(22) 2004.09.01
(43) 2005.03.30
(71)
:
: a 20040825
:
-
"
" (BY)
(56) BY 4154 C1, 2001.
BY 1613 C1, 1997.
BY 2502 C1, 1998.
EP 0635877 A2, 1995.
RU 2173912 C2, 2001.
WO 03/008665 A1.
WO 03/010355 A1.
US 5770469 A, 1998.
-
"
(72)
(73)
" (BY)
:
-
;
;
;
;
(BY)
(57)
1.
,
,
,
-
,
,
-
,
650-750 °C
30-60
,
,
,
,
BY 8992 C1 2007.02.28
,
,
-
BY 8992 C1 2007.02.28
,
,
10-70
,
-
,
750-850 °C
10-30
,
-
,
-
.
2.
,
. 1,
,
.
,
(
-
)
-
,
.
(
) [1],
,
,
(
(
),
(
),
),
,
,
600-700 °
,
15-100
,
,
,
.
.
,
-
,
,
,
,
,
.
-
.
,
.
,
.
[2],
,
,
),
,
,
15-100
,
650-750 ° ,
,
,
-
,
.
.
.
-
,
,
-
.
,
.
2
-
BY 8992 C1 2007.02.28
-
[3],
,
,
,
,
(
(
)
),
650-750 °
30-60
,
,
,
,
-
.
.
.
-
,
.
,
,
.
,
,
,
.
,
-
,
,
,
,
,
,
650-750 °
60
,
30-
,
,
,
,
-
,
,
,
10-70
,
10-
750-850 °
30
,
,
-
,
,
.
,
,
-
,
,
10-70
850 °
,
,
10-30
,
,
-
750-
,
,
.
3
BY 8992 C1 2007.02.28
.
.
-
,
,
,
,
-
),
.
,
,
,
.
,
-
,
,
,
,
.
-
,
,
.
10-70
,
.
10
,
,
.
70
,
, ,
,
.
750-850 °
10-30
-
.
,
.
-
,
,
,
-
750 ° ,
-
.
.
850 ° ,
10-70
,
,
,
.
,
,
850 ° ,
,
.
10
-
.
30
,
,
,
-
.
,
.
4
,
BY 8992 C1 2007.02.28
(
).
,
,
-
.
-
.
,
.
526.
"
-4-150"
(1).
(2)
.
(3)
100
- 7,5
.
-
-300 (4)
(6).
(5)
,
(7).
(8)
,
-
.
(9)
(10)
.
,
24
.
10
5-10 °
,
.
-
.
(11)
.
(12).
.
,
(13)
(14).
-
(15)
,
-
.
,
.
.
(
-
).
.
-
,
0,3
.
,
60 ± 6
-
.
710 ± 1 ° ,
,
0,3
,
.
,
1
,
,
.
1
,
65
.
,
-
60 ± 6
.
.
.
.442.241.001,
650 ± 30
.
"SPECORD-75",
"
5
1,2 ± 0,2
-40",
. %.
3-6
. %.
BY 8992 C1 2007.02.28
.1
.
1
)
(∆
)
±
.%
1
(∆
,±%
-
-
-
-
,
,
,
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
8
10
40
70
80
40
40
40
40
40
40
1
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
∆
∆
0,18
0,16
0,16
0,17
0,19
0,19
0,15
0,17
0,16
0,17
0,16
0,18
0,32
0,30
0,25
0,27
0,34
0,33
0,22
0,26
0,23
0,24
0,23
0,41
3,5
2,6
2,5
2,6
3,2
3,8
2,3
2,6
2,4
2,5
2,4
4,9
1,10
1,24
1,30
1,15
1,05
1,12
1,36
1,28
1,35
1,29
1,36
1,0
+--
,
;
830 °
90
-
-
,
.
. 1,
10-70
-
.
10
.
-
70
,
.
,
,
.1
-
,
.
.1
,
.1
,
,
,
-
.
(
),
,
)
(
-
,
.
.2
-
.
6
BY 8992 C1 2007.02.28
2
-
-
-
-
1
1
,
,°
730
750
830
850
870
830
830
830
830
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
-
20
20
20
20
20
5
10
30
60
-
1,08
1,26
1,36
1,17
0,96
1,11
1,22
1,35
1,34
1,0
,
,
,
-
,
40
;
-
,
.
-
200 .
. 2,
.
750-850 °
750 °
.
850 °
.
.2
,
10-30
.
-
10
.
30
.
. 1, 2
,
1,2
-
1,8
,
2
,
,
,
-
,
36 %.
,
,
,
,
.
:
1.
2.
3.
024182 ,
1613,
4154,
01L 21/316, 1986.
01L 21/316, 1997.
01L 21/316, 2001.
.
220034, .
-
,
.
, 20.
7
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
182 Кб
Теги
by8992, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа