close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY9140

код для вставкиСкачать
BY (11) 9140
(13) C1
(46) 2007.04.30
(19)
(12)
7
(51) H 01L 21/225
(54)
(21)
(22) 2004.07.23
(43) 2005.03.30
(71)
:
: a 20040706
(73)
:
"
-
";
-
"
-
";
" (BY)
"
" (BY)
(72)
:
;
;
;
(BY)
;
(56) US 6695903 B1, 2004.
SU 1400376 A1, 2000.
SU 1340255 A1, 2000.
SU 936743 A, 1985.
BY a20020528, 2003.
SU 297705 A, 1986.
GB 1001154, 1965.
(57)
,
,
,
,
,
,
,
-
BY 9140 C1 2007.04.30
,
. %:
25,0-32,0
2,0-4,0
5,0-7,0
0,006-0,007
4,0-6,0
7,5-9,0
.
.1
BY 9140 C1 2007.04.30
,
-
,
.
[1],
-
-
-
.
.
-
,
,
.
,
,
,
,
,
.
[2],
-
,
-
,
,
-
.
,
2,5-3
,
,
-
,
-
.
,
,
.
,
,
,
,
.
.
[3],
,
,
-
.
.
,
-
,
2-2,5
,
.
,
.
,
,
,
,
,
.
[4],
,
,
,
,
-
-
.
.
50-90 °
1,2-2,5
.
,
.
,
-
1,8-2,0
.
-
600 °
10
.
,
,
2
,
BY 9140 C1 2007.04.30
,
,
,
,
.
,
,
[5],
,
,
,
.
.
-
,
.
.
.
,
,
,
,
,
.
,
,
-
.
,
,
,
,
-
,
,
,
,
. %:
25,0-32,0
2,0-4,0
5,0-7,0
0,006-0,007
4,0-6,0
7,5-9,0
.
,
-
,
,
. %:
-2000
25,0-32,0
2,0-4,0
5,0-7,0
0,006-0,007
4,0-6,0
7,5-9,0
.
-
.
.
,
(
.
),
,
,
(
25
).
.%
,
3
-
BY 9140 C1 2007.04.30
.
32
- 2000
.%
.
2,0 %
.
4,0
- 2000
.%
-
,
.
5,5 %,
0,006
.
7,0
.%
.%
-
.
0,007
.%
.
4,0
.%
.
6,0
.%
.
,
. 1-2,
-
.1
.2 -
,
.
.
)
,
,
,
- 2000.
,
.
1
,
,
(15
1
,
.
),
-
.
.
(
-
d1 450 ° 15
1-5).
-1.
MPV-SP . Leitz.
1
.
:
d1 − d 2
⋅ 100 % ,
∆% =
d1
, d2 -
.
ti
,
t3
, a t3 .
,
i-
)
4
BY 9140 C1 2007.04.30
10
SiO2 0,5 ± 0,1
30
100
.
.
-
1000 ± 100
.
.
08
-125/200-004_ 3.281.025.
90 ± 5 ° .
3.021.037.
900 ± 100
30
.
.
02
850 °
-
)
:
1
(
2
. 1).
3
-
(
).
-3-100
(
1199
. 2).
.
-4,5 9
%
Rs
−
−
.
:
R
⋅ 100 % ,
Rs
, Rs − −
-
%=
−
-
(Rs)
4∆ Rs
-
=
R
Rs
−
−
− Rs
−
−
-
2
,
Rs
∑ Rs
-
9
,
-
Rs
=
; Rs
Rs
i =1
9
i
,
Rsi - i
Rs
.
%
∆ Rs
Rs
Rs
%=
−
R
⋅ 100 % ,
Rs
, Rs
− −
:
R
=
Rs
− −
− Rs
2
.
%
−
,
R
R
Rs
⋅ 100% ,
−
Rs
:
R
=
−
Rs
−
−
−
−
20
, Rs
, a Rs
,
,
,a
Rs
%=
-
-
− −
∆ Rs
− −
−
− Rs
2
−
−
-
-
−
−
−
-
,
Rs
2-4
, 1, 5 -
6.
20-
.
,
-
,
,
(
1),
,
(
5).
5
-
,
.%
,±%
-
-
-
-
-
-
,
-
∆j, %
,
-
-
,
.
-
-
(cm)
-
6
1
24
1,8
5,3
0,0054 3,5
7,3
-
-
3,8
46
7
7
7
15
0,85
2
25
2
5,5
0,006
4
7,5
-
-
4,0
42
5
5
5
20
0,99
3
28,5
3,0
6,25
0,065
5
8,25
-
-
4,5
40
5
5
5
20
1,0
4
32
4,0
7,0
0,007
6,0
9,0
-
-
5,0
35
5
5
5
20
0,99
5
33
4,2
7,2
0,0075 6,5
9,2
-
-
5,3
32
6
6
7
15
0,83
3,0
80
7
10
15
10
0,2
6
BY 9140 C1 2007.04.30
-
BY 9140 C1 2007.04.30
(
:
2-4)
,
. %:
25,0-32,0
2,0-4,0
5,0-7,0
0,006-0,007
4,0-6,0
7,5-9,0
.
-
1,33-1,66
,
,
5
1,9-2,3,
.
-
:
;
Rs
1,4-3
.
,
,
.
:
1.
2.
3.
4.
5.
.
.
.
734.579
,
10200.0050 936743,
. 1978 .
H 01L 21/225.
1340255,
. 27.06.2002 .
H 01L 21/225.
1400376,
. 27.06.2000 .
H 01L 21/225.
7
6695903,
. 24.02.2004 .,
H 01L 31/048.
.2
.
220034, .
,
.
, 20.
1199
.
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
97 Кб
Теги
by9140, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа