close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY9277

код для вставкиСкачать
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ПАТЕНТУ
РЕСПУБЛИКА БЕЛАРУСЬ
BY (11) 9277
(13) C1
(19)
(46) 2007.06.30
(12)
7
(51) C 03B 8/02, 20/00,
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР
ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ
СОБСТВЕННОСТИ
(54)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗАГОТОВКИ КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА
(21) Номер заявки: a 20040251
(22) 2004.03.26
(43) 2005.09.30
(71) Заявитель: Учреждение образования
"Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины" (BY)
(72) Авторы: Плющ Борис Васильевич;
Капшай Мария Николаевна (BY)
BY 9277 C1 2007.06.30
19/12
(73) Патентообладатель: Учреждение образования "Гомельский государственный
университет имени Франциска Скорины" (BY)
(56) BY 2602 A, 1996.
BY 4807 C1, 2002.
SU 1749185 A1, 1992.
US 4622056, 1986.
SU 1662957 A1, 1991.
RU 2141928 C1, 1999.
US 4680049, 1987.
RU 2118299 C1, 1998.
(57)
1. Способ получения заготовки кварцевого стекла, включающий заливку золя диоксида кремния в форму, выдерживание в ней до образования геля, сушку заготовки геля и затем спекание его до состояния кварцевого стекла, отличающийся тем, что в качестве золя
диоксида кремния используют гидрозоль, полученный из порошка аэросила, а в качестве
формы используют форму, в которой по меньшей мере одна из стенок выполнена из гидрофильного пористого проницаемого материала с размерами пор 0,5-14 микрометров.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что используют форму, в которой пористая
стенка выполнена из гидрофильного проницаемого пористого материала с открытой пористостью не менее 15 %.
3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что используют гидрозоль, имеющий
концентрацию частиц диоксида кремния 75-280 г/1000 см3.
4. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что в качестве гидрозоля используют гидрозоль, полученный ультразвуковым диспергированием и центрифугированием аэросила в воде.
5. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что в качестве гидрозоля используют стабильные водные дисперсии аэросила.
6. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что используют форму, в которой пористая стенка выполнена плоской, а прилегающие к ней стенки формы выполнены из гидрофобного непроницаемого и нерастворимого в воде материала.
Изобретение относится к золь-гель процессу получения кварцевого стекла и может
быть использовано при получении пластин, подложек фотошаблонов, плоских окон, линз
из кварцевого стекла.
BY 9277 C1 2007.06.30
Известен способ производства кварцевого стекла, заключающийся в том, что золь диоксида кремния заливают в форму, выдерживают в ней до образования геля, сушат гель, а
затем спекают его до состояния кварцевого стекла [1].
Известный способ предполагает введение в золь специального ускорителя гелеобразования - аммиачной воды, что усложняет процесс. Аммиачная вода вызывает формирование пространственно сшитой пористой структуры геля. Высокие усадки геля и
неоднородности пространственной структуры геля, связанные с введением в золь ультрадисперсного порошка и примесей, оставшихся от гидролиза, приводят к низкому выходу
годных изделий из-за деформаций и растрескивания на стадиях сушки и термообработки
при получении размерных заготовок из кварцевого стекла малой толщины.
Известен способ получения кварцевого стекла, заключающийся в том, что золь диоксида кремния заливают в форму, выдерживают в ней до образования геля, сушат гель, а
затем спекают его до состояния кварцевого стекла [2].
Использование золя, полученного гидролизом алкилсиликата с добавкой ультрадисперсного порошка кремнезема, аммиачной воды в качестве ускорителя гелеобразования
ограничивает возможность получения известным способом высококачественных тонкостенных размерных заготовок и изделий из кварцевого стекла, а необходимость применения операций выдержки геля в деионизованной воде и в растворе щавелевой кислоты
усложняет известный способ.
Известен способ получения кварцевого стекла, включающий заливку золя диоксида
кремния в форму, гелеобразование в форме, сушку и термообработку заготовки до состояния кварцевого стекла [3].
В известном способе используют концентрированный золь, полученный гидролизом
алкилсиликата и вакуумной перегонкой спирта, а для ускорения гелеобразования в золь
вводят NH4OH. В результате получают влажный гель с пространственно сшитой структурой. При этом усадки такого геля при сушке остаются значительными, что ограничивает
выход годных изделий из-за трещинообразования, внутренних дефектов. Образование
пространственной структуры геля с помощью ускорителей гелеобразования делает процесс гелеобразования чувствительным к неоднородностям жидкой и твердой фаз, а для
тонкостенных изделий - к влиянию стенок формы (подложки), что приводит к снижению
выхода годных изделий не только за счет внутренних дефектов, но и дефектов формы (коробление, искажение размеров и т.д.), что ограничивает возможность получения тонкостенных заготовок и изделий из кварцевого стекла, например заготовок и изделий
толщиной менее 1 миллиметра (мм), из-за трещинообразования и внутренних дефектов и
дефектов формы. Необходимость старения геля в этаноле и реализации условий сверхкритической сушки усложняет известный способ.
Известен способ получения кварцевого стекла, включающий заливку золя диоксида
кремния в форму, гелеобразование в форме, сушку заготовки геля и спекание заготовки до
состояния кварцевого стекла [4].
В известном способе используют золь, полученный гидролизом алкилсиликата и концентрированием путем мембранной ультрафильтрации. Концентрированный золь переводят в гель с помощью ускорителей гелеобразования (это усложняет процесс). В результате
получают влажный гель с пространственно сшитой структурой, характеризующийся более
высокой плотностью и однородностью по сравнению с вышеуказанными аналогами. Тем
не менее усадки такого геля при сушке остаются значительными, что ограничивает выход
годных изделий из-за трещинообразования и дефектов формы при получении тонкостенных размерных заготовок и изделий из кварцевого стекла, например плоских изделий
толщиной менее 1 мм. При получении таких изделий существенное влияние оказывает
стенка формы (подложка). Влияние подложки приводит к неоднородности при удалении
жидкой фазы при формировании пространственного каркаса геля. Это ограничивает выход годных изделий малой толщины в силу дефектов формы.
2
BY 9277 C1 2007.06.30
Наиболее близким к заявляемому является способ получения заготовок кварцевого
стекла, включающий заливку золя диоксида кремния в форму, выдерживание в ней до образования геля, сушку заготовки геля и затем спекание его до состояния кварцевого стекла [5].
Использование золя, полученного гидролизом алкилсиликата с добавкой ультрадисперсного порошка кремнезема, аммиачной воды в качестве ускорителя гелеобразования
ограничивает возможность получения известным способом высококачественных тонкостенных размерных заготовок и изделий из кварцевого стекла, в частности заготовок толщиной менее 1 мм, а необходимость применения операций высокотемпературного
старения заготовки геля, слива синерезисной жидкости и ступенчатой высокотемпературной сушки усложняет известный способ.
Предлагаемое изобретение решает задачу получения заготовок и изделий из кварцевого стекла золь-гель методом из доступного для производства сырья.
Технический результат изобретения заключается в упрощении способа, отказе от использования специальных веществ - ускорителей гелеобразования, а также в обеспечении
возможности получения тонкостенных изделий с толщиной менее 1 мм за счет инициирования явления послойного концентрирования и микрогелирования золя в контакте с пористой стенкой формы.
Кроме того, изобретение обеспечивает высокую производительность способа при получении заготовок и изделий малой толщины.
Достижение указанных технических результатов обеспечивается тем, что в способе
получения заготовки кварцевого стекла, включающем заливку золя диоксида кремния в
форму, выдерживание в ней до образования геля, сушку заготовки геля и затем спекание
его до состояния кварцевого стекла, в качестве золя диоксида кремния используют гидрозоль, полученный из порошка аэросила, а в качестве формы используют форму, в которой
по меньшей мере одна из стенок выполнена из гидрофильного пористого проницаемого
материала с размерами пор 0,5-14 микрометров.
Кроме того, используют форму, в которой пористая стенка выполнена из гидрофильного проницаемого пористого материала с открытой пористостью не менее 15 %.
Кроме того, используют гидрозоль, имеющий концентрацию частиц диоксида кремния 75-280 г/100 см3.
Кроме того, в качестве гидрозоля используют гидрозоль, полученный ультразвуковым
диспергированием и центрифугированием аэросила в воде.
Кроме того, в качестве гидрозоля используют стабильные водные дисперсии аэросила.
Кроме того, используют форму, в которой пористая стенка выполнена плоской, а прилегающие к ней стенки формы выполнены из гидрофобного непроницаемого и нерастворимого в воде материала.
Для получения изделий и заготовок по предлагаемому способу используют водные золи (гидрозоли), полученные из порошков аэросила, в том числе стабильные водные дисперсии аэросила.
После завершения процесса гелеобразования сырой гель извлекают из формы, сушат
при температуре 20-60 °С, а затем спекают при температуре 1130-1250 °С до получения
кварцевого стекла. Для получения оптического кварцевого стекла используют более
сложный процесс термообработки: ступенчатый нагрев ксерогелей до температуры спекания с применением технологий обезвоживания в токе галогена и гелия.
Для приготовления золя из аэросила используют ультразвуковое диспергирование порошка аэросила в воде с последующим центрифугированием. Благодаря этому получают
однородную структуру золя, свободную от слипшихся частиц-конгломератов, что повышает стабильность золей по размерам частиц, и, как следствие, более однородную структуру геля.
3
BY 9277 C1 2007.06.30
При получении изделий и заготовок микропористую стенку формы изготавливают из
керамики, стекла, другого материала, а другие стенки формы, например определяющие
размеры заготовки, изготавливают из гидрофобного непроницаемого и нерастворимого в
воде материала (фторопласта, полипропилена, полиэтилена, полистирола, оргстекла и
т.п.).
Толщина микропористой подложки не оказывает существенного влияния на скорость
процесса гелеобразования и может быть произвольной. Рекомендуется использовать микропористые подложки с толщиной пористой стенки более 3 мм.
Высокая прочность и малодефектность заготовок гелей позволяет осуществлять сушку
гелей на воздухе при нормальной температуре или в сушильном шкафу при более высокой температуре.
Таким образом, для получения заготовки или заготовок кварцевого стекла, согласно
предлагаемому способу, выполняют следующие операции: заливку золя в форму, выдержку золя в форме в контакте с микропористой стенкой до завершения гелеобразования,
сушку заготовки и ее термообработку (спекание) до состояния кварцевого стекла. Тем самым обеспечивается упрощение способа. Исключается операция введения веществ - ускорителей гелеобразования, а тем самым отпадает необходимость в этих веществах как
реагентах. Полученный в форме гель не требует проведения операций старения, созревания и т.п. Отпадает необходимость в физических воздействиях на процесс гелеобразования.
Возможность реализации способа и достижения технического результата подтверждается примерами.
При получении гидрозолей аэросилов, необходимых для реализации способа и используемых в нижеприводимых примерах, использовали УЗ-диспергирование при частоте
44 килогерц (кГц) и длительности 2-3 часа и центрифугирование при скорости вращения
ротора 3000 оборотов в минуту (об/мин).
Пример 1
8 миллилитров (мл) водного раствора аэросила марки Т-30 (фирмы Wasker-Chemie
GmbH, Германия) с концентрацией 150 г/1000 см3 заливали в прямоугольную форму. Форма состояла из двух частей. Боковые стенки формы с внутренними формообразующими
размерами (60 × 48) мм2 выполнены из оргстекла, а нижняя часть формы представляла
микропористую подложку толщиной 7 мм, выполненную из шамота, со средним размером
пор 8 мкм и открытой пористостью ~ 20 %, с чистотой обработки поверхности Ra = 0,32.
Сверху форму закрывали крышкой из оргстекла или иного гидрофобного непроницаемого
материала.
Золь выдерживали в форме до завершения гелеобразования, которое определяли визуально по исчезновению жидкой фазы и образованию зазора между гелем и боковыми
стенками. Время полного гелеобразования составило 1 час. После этого гель извлекали из
формы и сушили в контейнере на воздухе при комнатной температуре (20 °С) до образования ксерогеля. Время сушки составило 24 часа. Полученный ксерогель с размерами
(50 × 40 × 0,84) мм3 помещали в реактор и нагревали со скоростью 1800 °С/час до получения прозрачного кварцевого стекла. Термообработку до 800 °С осуществляли при продувке печи газовой фреоно-кислородной смесью C2F3Cl3 + О2 с целью дегидратации заготовки,
а финишную термообработку осуществляли в атмосфере гелия, поднимая температуру до
1250 °С. При температуре 1250 °С образец выдерживали в реакторе в токе гелия в течение
0,5 часа. После охлаждения печи получили пластину кварцевого стекла прямоугольной
формы с размерами (33,3 × 26,6 × 0,56) мм3. Полученное оптическое кварцевое стекло
имеет плоскопараллельную форму, чистое, прозрачное, с содержанием гидроксидных
групп [ОН-] ≈ 3-5 ppm, не содержит воздушно-пузырьковых включений, плотность его
2,2 г/см3, микротвердость 8356 МПа.
Всего изготовили 10 заготовок стекла. Выход годных составил 100 %.
4
BY 9277 C1 2007.06.30
Время, необходимое для получения стекла, составляет примерно 28 часов и включает
время получения геля - 1 час, время сушки геля - 24 часа и время спекания ~ 3 часа.
Пример 2
Пример осуществляли аналогично примеру 1. Отличие состояло в том, что подложка
была выполнена из пористой керамики из Al2O3 со следующими характеристиками: средний размер пор 8,1 мкм, открытая пористость ~ 40 %, толщина подложки 10 мм, а в форму
заливали 6 мл золя.
Получили оптическое кварцевое стекло в виде плоской параллельной пластины толщиной 0,4 мм и площадью (33,3 × 26,6) мм2. Полученное стекло чистое, прозрачное, с содержанием гидроксидных групп [ОН-] ≈ 3-5 ppm, не содержит воздушно-пузырьковых и
других включений.
Всего изготовили 10 заготовок стекла. Выход годных составил 100 %.
Время гелеобразования составило 0,5 часа. Время сушки - 22 часа.
Время получения стекла - 35,5 часа.
Пример 3
Пример осуществляли аналогично примеру 1. Отличие состояло в том, что использовали золь с концентрацией аэросила 75 г/1000 см3, термообработку осуществляли на воздухе при скорости нагрева печи 1800 °С/час до температуры 1150 °С и выдержкой при
этой температуре в течение 0,5 часа.
Получили стекло в виде плоскопараллельной пластины толщиной 0,24 мм, площадью
(33,3 × 26,6) мм2. Полученное стекло относится к техническим: чистое, прозрачное, но с
большим содержанием гидроксидных групп ([ОН-] ≈ 2000-2500 ppm), не содержит воздушно-пузырьковых и других включений, плотность стекла 2,15 г/см3.
Всего изготовили 10 заготовок стекла. Выход годных составил 100 %.
Время получения стекла - 24 часа.
Пример 4
Пример осуществляли аналогично примеру 1. Отличие состояло в том, что боковые
стенки формы изготовлены из полипропиленовой пластины, в которой выполнены пять
сплошных цилиндрических отверстий диаметром 32 мм, а нижняя часть формы представляла микропористую подложку толщиной 12 мм, выполненную из шамота, со средним
размером пор 8 мкм и открытой пористостью ~ 21 %, с чистотой обработки поверхности
Ra = 0,32, и в каждое из отверстий формы заливали по 3 мл золя, а ксерогели для термообработки загружали в кассетную кварцевую лодочку.
Время гелеобразования составило 2 часа, сушка геля 20 часов. Получили одновременно пять стекол в виде диска диаметром 17,7 мм и толщиной 0,67 мм.
Полученное кварцевое оптическое стекло имеет плоскопараллельную форму, чистое,
прозрачное, с содержанием гидроксидных групп [OH-] ≈ 3-5 ppm, не содержит воздушнопузырьковых и других включений, плотность его 2,2 г/см3, микротвердость 8356 МПа.
Выход годных заготовок 100 %.
Время получения стекла - 25 часов.
Пример 5
Пример осуществляли аналогично примеру 1. Отличие в гелеобразовании состояло в
том, что боковые стенки формы имели внутренние формообразующие размеры
(250 × 170) мм2 и были выполнены из полистирола. 380 мл золя заливали в форму, а затем
в нее помещали решетку, также выполненную из полистирола с 40 одинаковыми ячейками
размером (25 × 25) мм2, а нижняя часть формы представляла микропористую подложку
толщиной 12 мм, выполненную из шамота, со средним размером пор 8 мкм и открытой
пористостью ~ 20 %, с чистотой обработки поверхности Ra = 0,32.
Время гелеобразования составило 48 часов. Сушка геля - 48 часов.
В результате одновременно получили 40 пластин с размером (20,8 × 20,8 × 3,0) мм3 каждая. В отличие от примера 1 термообработку ксерогелей осуществляли тремя способами.
5
BY 9277 C1 2007.06.30
Одну часть (10 штук) загружали в кварцевую кассетную лодочку и термообрабатывали по
методике примера 1. Вторую часть (10 штук) загружали в кварцевую кассетную лодочку и
термообрабатывали в токе гелия при скорости нагрева печи 1800 °С/час до 1250 °С. Третью часть (20 штук) загружали в кварцевую кассетную лодочку и термообрабатывали по методике примера 3. После термообработки получили стекло размером (13,9 × 13,9 × 2,0) мм3.
Качество полученных стекол зависит от условий термообработки. В первом случае получили стекло чистое, прозрачное, с содержанием гидроксидных групп [ОН-] ≈ 3-5 ppm, без
воздушно-пузырьковых включений, плотность его 2,2 г/см3, микротвердость 8356 МПа
(оптическое); во втором случае содержание гидроксидных групп [ОН-] ≈ 70 ppm, плотность стекла 2,19 г/см3; в третьем случае стекло прозрачное, но с большим содержанием
гидроксидных групп ([ОН-] ≈ 2000-2500 ppm), не содержит воздушно-пузырьковых и других включений, плотность стекла 2,15 г/см3 (техническое).
Выход годных изделий в каждом случае составил 100 %.
Время получения стекла 99 часов.
Пример 6
Пример осуществляли аналогично примеру 1. Отличие состояло в том, что боковая
поверхность формы имела кольцеобразную форму с внутренним диаметром 120 мм и была выполнена из полиэтилена, а в форму залили 70 мл золя.
Время гелеобразования составило 2 часа, время сушки - 48 часов. Получили ксерогели
диаметром 100 мм и толщиной 2,0 мм. После термообработки получили стекло в виде
диска диаметром 66,6 мм и толщиной 1,3 мм. Полученное стекло имеет плоскопараллельную форму, чистое, прозрачное, с содержанием гидроксидных групп [ОН-] ≈ 3-5 ppm, не
содержит воздушно-пузырьковых включений, плотность его 2,2 г/см3, микротвердость
8356 МПа.
Всего изготовили 10 заготовок стекла. Выход годных составил 100 %.
Время получения стекла составило 53 часа: гелеобразование - 2 часа, сушка - 48 часов,
термообработка - 3 часа.
Пример 7
Пример осуществляли аналогично примеру 1. Отличие состояло в том, что боковая
поверхность формы имела кольцеобразную форму с внутренним диаметром 102 мм и была выполнена из фторопласта, а в форму заливали 245 мл золя.
Время гелеобразования составило 72 часа. Получили гель толщиной 15 мм. Сушку геля осуществляли в контейнере в термошкафу при температуре 55 °С в течение 120 часов.
В результате получили ксерогель диаметром 85 мм, толщиной 12,5 мм. После термообработки получили диск из оптического кварцевого стекла диаметром 56,6 мм и толщиной
8,3 мм. Характеристики стекла соответствуют примеру 1.
Время получения стекла ~ 195 часов.
Пример 8
Пример осуществляли аналогично примеру 1. Отличие состояло в том, что нижняя
часть формы представляла подложку толщиной 15 мм, выполненную из шамота в виде
сектора шара радиусом 110 мм, высотой в центральной части 9 мм и диаметром в секущей
плоскости 80 мм, ее боковая часть имела вид полого цилиндра из оргстекла с внутренним
диаметром 80 мм, а в форму заливали 65 мл золя.
Время гелеобразования составило 30 часов, время сушки 97 часов.
Получили стекло, имеющее форму выпуклой линзы с диаметром 44,4 мм и в центральной части толщиной 5 мм. Характеристики стекла соответствуют примеру 1.
Всего изготовили 10 заготовок стекла. Выход годных составил 100 %.
Время получения стекла составило 130 часов.
Пример 9
Пример осуществляли аналогично примеру 1. Отличие состояло в следующем:
6
BY 9277 C1 2007.06.30
внутренняя боковая поверхность формы имела вид цилиндра с диаметром 56 мм и была выполнена из фторопласта;
в форму заливали 60 мл золя, полученного из аэросила марки А-175 методом УЗ-диспергирования и центрифугирования, а концентрация аэросила в золе составляла
230 г/1000 см3;
сушку осуществляли при температуре 60 °С;
температуру повышали до 1130 °С по методике примера 3 и спекали при этой температуре.
Время гелеобразования составило 20 часов, время сушки 120 часов. В результате получили ксерогель в виде диска диаметром 51 мм и толщиной 9,8 мм, а затем кварцевое
стекло в виде диска диаметром 34 мм и толщиной 6,5 мм. Полученное стекло относится
к техническим: чистое, прозрачное, но с большим содержанием гидроксидных групп
([ОН-] ≈ 2500 ppm), не содержит воздушно-пузырьковых и других включений, плотность
стекла 2,17 г/см3.
Всего изготовили 10 заготовок стекла. Выход годных составил 100 %.
Время получения стекла - 143 часа.
Пример 10
Пример осуществляли аналогично примеру 1. Отличие состояло в следующем:
в форму заливали золь, полученный из аэросила марки А-380 методом УЗ-диспергирования и центрифугирования, а концентрация аэросила в золе составляла
175 г/1000 см3;
в качестве подложки использовали пористую керамику из Аl2O3, используемую в примере 2;
термообработку осуществляли на воздухе при скорости нагрева печи 1800 °С/час до
температуры 1250 °С.
Время гелеобразования составило 2 часа. Время сушки - 24 часа.
Получили оптическое стекло в виде пластины размером (34,5 × 27,6 × 0,6) мм3. Характеристики стекла соответствовали примеру 1.
Всего изготовили 10 заготовок стекла. Выход годных составил 100 %.
Время получения стекла - 29 часов.
Пример 11
Пример осуществляли аналогично примеру 1. Отличие состояло в следующем. В качестве золя использовали водную дисперсию аэросила марки К 315 фирмы Degusso (Германия), концентрация аэросила 150 г/1000 см3.
После охлаждения печи получили пластину кварцевого стекла прямоугольной формы с размерами (33,2 × 26,5 × 0,54) мм3. Полученное оптическое кварцевое стекло имело
плоскопараллельную форму, чистое, прозрачное, с содержанием гидроксидных групп
[ОН-] ≈ 4-7 ppm, не содержит воздушно-пузырьковых включений, плотность его 2,2 г/см3,
микротвердость 8353 МПа.
Всего изготовили 10 заготовок стекла. Выгод годных составил 100 %. Время, необходимое для получения стекла, составляет примерно 28 часов и включает время получения
геля - 1 час, время сушки геля - 24 часа и время спекания ~ 3 часа.
Пример 12
Пример осуществляли аналогично примеру 1. Отличие состояло в следующем:
в качестве золя использовали водную дисперсию аэросила марки К 328 фирмы Degusso (концентрация аэросила 280 г/1000 см3), а в форму заливали 6 мл золя;
подложка была выполнена из пористой керамики из Аl2О3 со следующими характеристиками: средний размер пор 8,1 мкм, открытая пористость ~ 40 %, толщина подложки
10 мм.
Получили оптическое кварцевое стекло в виде плоской параллельной пластины толщиной 0,55 мм и площадью (37,0 × 29,6) мм2. Полученное стекло чистое, прозрачное, с со7
BY 9277 C1 2007.06.30
держанием гидроксидных групп [ОН-] ≈ 4-9 ppm, не содержит воздушно-пузырьковых и
других включений.
Всего изготовили 10 заготовок стекла. Выход годных составил 100 %.
Время гелеобразования составило 0,5 часа. Время сушки - 21 час.
Время получения стекла - 24,5 часа.
Предлагаемое изобретение может быть использовано в электронной промышленности
для изготовления подложек на основе кварцевого стекла, в оптической промышленности
при изготовлении оптических элементов из кварцевого стекла и др.
Источники информации:
1. Патент Великобритании № 140408, н. кл. С1 М, опубл. 1984.
2. А.с. СССР № 1749185, МПК С 03В 8/02, опубл. 1992.
3. Патент США № 4680049, н. кл. 65/395, опубл. 1987.
4. Заявка Японии № 62-91429, МПК С 03В 8/02, С 03 В 35/148, опубл. 1987.
5. Патент Республики Беларусь № 2602, МПК С 01В 20/00, С 01В 8/02, опубл. 1996
(прототип).
Национальный центр интеллектуальной собственности.
220034, г. Минск, ул. Козлова, 20.
8
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
111 Кб
Теги
by9277, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа