close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY9319

код для вставкиСкачать
BY (11) 9319
(13) C1
(46) 2007.06.30
(19)
(12)
(51)
(2006)
G 01B 9/00,
G 01B 11/30,
G 01N 21/88,
H 01L 21/66
(54)
(21)
(22) 2005.03.02
(43) 2005.09.30
(71)
:
: a 20050201
-
" (BY)
:
(72)
;
-
;
;
(BY)
:
(73)
-
"
" (BY)
(56) OKABAYASHI O., SHIROTORI H.,
SAKURAZAWA H. et al. Evaluation of
directly bonded silicon wafer interface by
the magic mirror method. J. of Crystal
Growth, 1990. - V. 103. - P. 456-460.
BY 1157 U, 2003.
SU 1397728 A1, 1988.
SU 1481592 A1, 1989.
SU 1806354 A3, 1993.
JP 8094339 A, 1996.
JP 11072439 A, 1999.
DE 4207591 A1, 1993.
(57)
,
,
,
-
,
,
,
BY 9319 C1 2007.06.30
83°
-
90°.
.2
.5
,
-
,
.
,
,
.
BY 9319 C1 2007.06.30
,
.
.
.
.
-
,
[1].
(
)
-
,
,
.
.
,
.
,
,
,
,
[2].
.
,
-
.
,
,
.
.
,
,
.
,
,
,
.
,
.
.
,
,
,
.
.
-
,
.
,
-
.
.
(
[1, 2])
,
.
,
.
,
,
.
,
,
,
,
[3].
2
-
BY 9319 C1 2007.06.30
.
,
.
-
,
.
.
-
-
.
.
.
,
,
-
,
,
.
.
(
-
)
.
,
.
,
.
.
,
.
,
,
-
.
,
,
.
.
.
,
,
,
-
,
,
,
83°
-
90°.
,
,
-
.
,
,
-
,
,
.
.
,
,
.
-
.
.
3
BY 9319 C1 2007.06.30
,
.
.
-
,
,
.
(
)
,
.
.
-
,
,
-
83°
.
,
.
,
,
[4],
-
,
.
.
,
-
.
-
,
.
,
,
,
-
,
,
,
.
,
,
[1],
-
.
. 1- 6.
,
.2(
.4
.1
,
-
,
.6-
.5
,
,
.1
.3
)
.
. 2,
,
-
.
.
,
.
-
-
.
.
(
4
14°)
-
BY 9319 C1 2007.06.30
,
-
(
).
.
.
(
,
.).
-
,
,
.
,
-
,
,
.
,
,
.
(
)
.
-
,
,
.
,
,
,
,
-
,
.
,
.
,
,
,
.
,
,
.
,
,
,
.
,
,
.
,
,
,
(
.
, ,
-
,
.),
.
,
,
,
.
.
83°
90°,
.
83°,
80°,
,
-
. 90°
.
,
.
,
.
90°)
,
.
5
.
BY 9319 C1 2007.06.30
.
,
0°,
90°,
.
,
,
.
-
,
.
.
,
,
.
.
-
,
"
,
,
,
-
,
(
).
.
-
,
.
,
,
-
,
.
-
,
,
.
.
-
-150,
.
.
,
.
.
-
.
,
.
,
.
-
.
,
,
.
(
).
100
.
0,6
.
.
,
-
.035.240
.
.
20
.
. 3-6.
6
BY 9319 C1 2007.06.30
-
,
,
1.
,
45
80
83
85
89
90
91
88
3.
85
60
60
60
60
60
60
60
0
45
80
85
45
4.
89
80
5.
89
80
6-14.
88
45
,
15.
88
45
,
85
45
,
2.
16-20.
-
,
,
,
-
)
,
,
-
,
-
,
-
,
-
-
-
-
,
-
,
1
15,
,
. 4,
.3
,
-
,
.
,
.5
. 6,
,
,
-
,
.
15,
,
(
).
,
,
-
.
,
-
.
,
-
,
,
,
-
.
.
,
.
7
BY 9319 C1 2007.06.30
,
,
,
.
:
1.
.
. - .:
.
.
, 1988. - . 191, .
2.
B.C.,
.
. - .:
, 1979. - . 162, .
3. Okabayashi ., Shirotori H., Sakurazawa H., Kanda E., Yokoyama ., Kawashima M.
Evaluation of directly bonded silicon wafer interface by magic mirror method. Journal of Crystal
Growth. Volume 103, Nos. 1-4. June II (1990). - P. 456-460 (
).
4.
. .(
).
:
.
.
.
. - .:
, 1940. - . 206.
.1
.3
.4
.6
.
220034, .
,
.
, 20.
8
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
219 Кб
Теги
патент, by9319
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа