close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY9545

код для вставкиСкачать
BY (11) 9545
(13) C1
(46) 2007.08.30
(19)
(12)
(51)
(2006)
G 01B 11/30
G 01N 21/88
H 01L 21/66
(54)
(21)
(22) 2005.05.18
(43) 2005.12.30
(71)
:
: a 20050483
(73)
-
"
" (BY)
:
(72)
;
-
;
:
-
"
" (BY)
(56) BY 6374 1, 2004.
BY 20020843, 2004.
SU 1693377 A1, 1991.
SU 1782314 A3, 1992.
JP 11237226 A, 1999.
;
(BY)
(57)
1.
,
,
,
x
l/2,
X
X
y
Y,
0,2
lY;
BY 9545 C1 2007.08.30
:
R>
2gh
,
g+h
.1
-
BY 9545 C1 2007.08.30
R;
gh-
;
;
X
Y
Xij, Yij
Zij
-
,
-
:
X ij = ix
j= const
,
Yij = jy i=const ,
Z ij = z 0 −
Z ij = z 0 −
ij∆xi ∆yj 2.
. 1,
x i −1
x∆x i
∆x n −
∑
2h n =1
4h
y∆y j
y j−1
∆y n −
∑
2h n =1
4h
X;
Y;
ij,
j=const
,
i = const
X;
Y.
.
,
,
(
),
.
-
,
,
.
.
,
,
,
,
X, Y
.
-
,
Z.
Z,
-
,
,
X
Y,
.
Z = f(X, Y).
.
Z = f(X, Y = const)
Z = f(X = const, Y),
X
Y.
(
.
-
)
(
).
[1].
,
2
,
.
BY 9545 C1 2007.08.30
-
.
"
",
,
.
-
- Ra .
:
Ra =
Nzi z -"
"
1 N
∑ zi − z ,
N i =1
,
i
(1)
"
",
.
σ
"
"
zi
z:
N
σ=
∑ (z
i =1
i
− z) 2
,
N
(2)
,
.
,
.
,
,
.
-
[1, 2].
,
,
,
.
,
-
,
.
.
,
,
,
.
.
,
.
.
,
.
,
.
.
-
,
-
,
,
.
,
.
,
,
,
.
,
,
.
[3].
,
,
,
-
[4].
3
BY 9545 C1 2007.08.30
,
-
.
-
,
.
,
-
.
,
,
,
,
,
.
.
X
,
Y.
,
,
,
Z.
.
-
.
,
,
.
-
.
(
,
,
.).
-
.
,
.
,
,
-
.
,
-
.
.
,
-
,
-
,
x
0,2
l/2,
X
X
y
Y,
lY;
:
2gh
R>
,
g+h
R;
gh-
;
;
X
Y
ij,
:
4
Yij
Zij
-
BY 9545 C1 2007.08.30
X ij = ix
j= const
,
Yij = jy
i = const
,
Z ij = z 0 −
x i −1
x∆x i
∆x n −
∑
2h n =1
4h
y∆y j
y j−1
Z ij = z 0 − ∑ ∆y n −
2h n =1
4h
ij∆ i∆ j,
j= const
i = const
,
X;
Y;
ij-
X;
Y;
.
,
-
,
.
.
X
Y.
X
Y
.
,
.
x × y,
,
-
,
.
,
.
.
,
(
)
-
.
-
.
.
x
,
.
l
-
,
,
,
.
,
,
.
.
,
,
.
,
2
.
5
1/2.
.
-
BY 9545 C1 2007.08.30
.
.
.
-
,
x min =
γg=1 ,h=1
gh
× tgγ ,
g+h
.
tg γ = 0,0001,
0,00005
.
,
,
-
).
.
,.
(50
,
,
-
,
.
.
-
,
.
.
,
0,2
0,1
.
,
,
,
-
.
,
,
(
)
(
).
,
.
,
-
.
.
-
,
.
[5]:
1 1 2
+ = ,
g F R
F.
F:
Rg
F=
.
2g − R
,
,
,
.
.
,
.
-
,
.
,
,
6
.
-
BY 9545 C1 2007.08.30
.
-
,
.
,
F > h)
(
,
2gh
.
g+h
>
R
( .
R < 0).
2g < R,
,
(F = h)
,
(F < h).
"
-
",
.
.
,
,
,
-
,
.
,
,
-
,
-
,
.
,
,
.
,
,
,
.
,
,
.
.
-
,
,
(
).
-
,
,
,
X
x* =
Y
,
*
=
x(g
+
h)/g.
4
0
.
-
.
,
.:
X ij = ix
j= const
Yij = jy
i = const
.
Z,
.
-
Z
,
,
.
,
,
,
∆x/2h.
Zi = z 0 −
Z
-
Z
kx i−1
kx∆x i
.
∆x n −
∑
2h n =1
4h
7
BY 9545 C1 2007.08.30
. 1-11
.
.1
,
h.
.2
-
.3-
.4
,
h.
. 5, 6
7-
.8
,
.
. 10
.
.9
,
-
100
.
. 11
-
.
.1
,
,
.
1
,
1,
.2
2gh/(g + h).
R = 2gh/(g + h),
2,
.2
R < 2gh/(g + h).
2,
. 3,
,
R < 2gh/(g + h).
.3
,
1×1
4
(
)
-
,
.3-
-
R = 2gh/(g + h).
10.
. 4-7
,
.
,
. 4)
(
-
.
.
.
2gh/(g + h),
(
2.
:
,
,
).
1 3
2,
,
).
,
,
(
-
. 5,
-
.
.
2gh/(g + h)
1
,
.
.6
3(
. 7,
. 6),
2(
-
. 7).
,
.
.
,
,
.
. 9.
.8
.
-
,
S,
g
,
-
R
.
0,
,
8
-
BY 9545 C1 2007.08.30
∆z =
3
.
,
.
X,
x = x0 x3.
,
-
,
h,
x* + ∆ =
,
x* =
,
4*
0
X*,
7*.
α (tgα = x/R)
0
β(tgβ = x/g), a
,
= x(g + h)/g.
,
,
-
X
,
∆ =
4
-
Y
-
),
7*,
∆ = h × tg(2α-β + β) = h × tg2α.
tg 2α =
tgα =
∆x
h
∆x
.
2h
∆z = x3B
x0 x1 = x1x3,
x
x∆x
∆z = − × tgα = −
.
2
4h
" "
,
∆z (
.8
∆
.
).
,
∆
R
R=
:
x
2hx
=
.
tgα ∆x
.
.
-
.
.9
zi.
,
,
.
z0 = 0
0 = 0.
x∆x 1
x
z1 = z 0 − × tgα1 = z 0 −
.
2
4h
z 2 = z 2−1 + z 2−2 + z 2−3
z1
x1
:
:
x
∆
x
x∆x 2
x
1
= z1 − xtgα1 − × tg(α 2 − α1 ) = z 0 −
−
.
2
2h
4h
z 3 = z 3−1 + z 3−2 + z 3−3 = z 2 − xtgα 2 −
x∆x 1 x∆x 2 x∆x 3
x
× tg(α 3 − α 2 ) = z 0 −
−
−
,
2
2h
2h
4h
9
-
BY 9545 C1 2007.08.30
x∆x 1 x∆x 2 x∆x 3 x∆x 4
−
−
−
.
2h
2h
2h
4h
Zi
X ( .
:
x∆x i
x i −1
Zi = z 0 −
∆x n −
∑
j=const .
2h n =1
4h
Y:
j−1
y∆y j
y
∆y n −
Z j = z0 −
∑
i = const .
2h n =1
4h
,
,
zi-l
z 4 = z 4−1 + z 4−2 + z 4−3 = z 0 −
X)
.
∆zi:
∆z i = −
-
-
x
(∆x i −1 + ∆x i ) .
4h
,
,
Zi
Zj,
-
,
zij
zij
,
. z0i = zj0.
(1)
.
(
(2)
-
zij
:
,
,
).
-
.
,
,
-
.
-210 (
),
,
-
,
,
.
-150 [6].
-
,
.
. 1.
1
-
-
,
,
,
,
-
1
4,5
0,1
2
3
4
4,5
4,5
4,5
0,2
0,5
2,0
23
10
3
3,17
3,15
2,72
10
-
BY 9545 C1 2007.08.30
1
,
5
4,5
3,0
2
0,31
6
4,5
5,0
1
-
.
7
7,6
0,1
8
9
10
7,6
7,6
7,6
0,2
1,0
3,5
-
39
8
3
-
4,03
3,98
3,53
,
11
7,6
5,0
2
.
0,49
,
.
g
h.
.
,
h.
g
.
Rmin.
2gh/(g + h)
Rmin
Rmin.
2gh/(g + h).
. 2.
,
-
R > 2gh/(g + h)
,
.
. 10
. 11.
-
.
2,5.
4,00 × 4,65
1
1,0
0,5 .
, . x= 4,00
, = 4,65
X.
∆xi*,
g
h
100
.
,
.3
-
∆ i(∆ i = ∆ i*/2,5).
.
Zi*
Y
,
. 10
. 4.
. 11
.
,
,
,
.
11
-
BY 9545 C1 2007.08.30
2
1
2
g,
h,
1,0
0,5
1,0
0,5
1
1
3
1
3,0
2gh/(g+h),
1,0
0,5
2,0
Rmin,
2,4
2,4
2,4
2,4
4
1
3,0
3,0
3,0
2,4
5
2
0,8
0,5
0,6
1,9
6
2
4,2
1,7
2,4
1,9
7
8
3
3
1,0
0,5
0,5
2,0
0,7
0,8
6,1
6,1
-
,
,
-
,
,
-
,
,
3
i
0
0
0
0
0
0
Xi,j=3,
∆xi*,
∆xi,
Zi,j=3,
Zi,j=3*,
1
4
1,0
0,4
-0,8
0
2
8
3,0
1,2
-4,0
-5
,
3
4
5
12
16
20
5,5
5,0
1,5
2,2
2,0
0,6
-10,8 -19,2 -24,4
-10
-18
-22
6
24
-3,0
-1,2
-23,2
-22
7
28
-5,0
-2,0
-16,8
-15
8
32
-4,5
-1,8
-9,2
-10
9
36
-3,0
-1,2
-3,2
-4
10
40
-0,5
-0,2
-0,4
0
-
.
.
,
(
,
)
,
,
.
4
j
Yi=4,j,
∆ j*,
∆ j,
Zi=4,j,
Z*=4,j,
0
0
0
0
0
0
1
4,65
1,5
0,6
-1,4
-1
2
9,30
3,5
1,4
-6,0
-5
3
13,95
5,5
2,2
-14,4
-12
,
4
18,60
4,0
1,6
-23,3
-22
,
5
23,25
-2
-0,8
-25,1
-22
6
27,90
-6
-2,4
-17,7
-16
7
32,55
-4
-1,6
-8,4
-8
8
37,20
-2,5
-1,0
-2,3
-2
-
,
,
.
12
BY 9545 C1 2007.08.30
:
1.
.
, 1988. - . 191, .
2.
B.C.,
.
, 1979. - . 162, .
3.
: 2.
. 2:
.
. 453.
4.
6374,
H 01L 21/66, 2004.
5.
.
, 1989. - . 864.
6.
11-86.
-150-2,
01.10.86, 1986. - . 45.
.2
.-
.:
.
.-
./
.
.
.
.-
13
.:
.:
.
. 1986. -
. -
.
11-80;
.3
.4
.
:
BY 9545 C1 2007.08.30
.5
.6
.7
14
BY 9545 C1 2007.08.30
.8
.9
15
BY 9545 C1 2007.08.30
. 10
. 11
.
220034, .
,
.
, 20.
16
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
709 Кб
Теги
by9545, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа