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(56) EP 0432612 A2, 1991.
RU 95104136 A1, 1997.
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SU 1671070 A1, 1993.
DE 3912996 A1, 1990.
GB 2179496 A, 1987.
BY 9993 C1 2007.12.30
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1. ?????? ??? 4,210,464, 1980.
2. ?????? ??? 6358825, 2002.
3. Korshunov F.P., Zhdanovich N.E., Marchenko I.G., Karas V.I., Troschinskii V.T. //
Vacuum. - 2003. - Vol. 70. - P. 193-196.
???????????? ????? ???????????????? ?????????????.
220034, ?. ?????, ??. ???????, 20.
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