close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY10527

код для вставкиСкачать
BY (11) 10527
(13) C1
(46) 2008.04.30
(19)
(12)
(51)
(2006)
H 01L 21/02
H 01L 23/48
H 01L 23/52
(54)
(21)
(22) 2005.12.01
(43) 2006.04.30
(71)
:
: a 20051184
(73)
-
(56)
" (BY)
:
-
"
" (BY)
"
(72)
:
;
;
(BY)
/
.
.:
. 2. .:
. - 1986. - . 186,
. 11.1.
SU 1825236 A1, 1997.
US 3918149, 1975.
US 2004/0038453 A1.
JP 3120722 A, 1991.
(57)
-
,
,
,
BY 10527 C1 2008.04.30
,
,
0,50-3,00
1,50
.%
,
0,25-
.%
.
,
-
,
.
,
,
-
[1].
,
,
.
-
,
,
.
,
.
-
BY 10527 C1 2008.04.30
.
.
,
,
,
-
[2-5].
0,3
0,5
2,0
1,5
.
.
450-550 °
5-30
.
.
-
,
.
(~577 ° ),
-
,
.
,
,
-
,
.
,
.
-
,
-
.
.
-
,
.
.
,
.
-
.
,
.
p-n-
-
,
,
.
.
(98,68 % Al + 1,32 % Si).
-
2
BY 10527 C1 2008.04.30
1-3 %
[6].
,
.
,
,
.
-
,
,
.
,
.
-
,
.
,
.
[6].
-
,
.
.
(
-2
).
).
,
-
tp,
(
250 ° )
tp
.
⋅
106
(
tp
S
 E 
= Fj2 exp − a ,
tp
 kT 
S-
,F-
,
,
,
,
., j ,k-
-
-
,
[7].
,
,
S
j,
.
.
0,1
55
.
,
-
,
.
,
,
,
.
,
-
,
.
.
,
,
.
3
BY 10527 C1 2008.04.30
.
,
,
-
,
,
,
,
[8].
,
.
,
,
-
.
-
.
,
,
-
.
.
,
.
.
.
.
,
-
,
.
,
.
: a-Si:H, α
(
),
-
.
,
.
.
,
-
,
(
,
,
.
.),
.
,
,
.
.
-
,
-
.
.
,
.
.
-
,
,
.
"
"
[9].
-
(
,
)
.
,
4
BY 10527 C1 2008.04.30
,
.
,
,
-
.
,
.
-
.
,
,
,
,
-
,
,
1,50
0,50-3,00
.%
0,25-
.%
.
.
,
:
,
SiO2 + H2→SiO + H2O↑.
SiO + H2→Si + H2O↑.
Si + H2→Si:H.
:
SiO2 + nH2→Si:H + mH2O↑.
α
,
.
-
α
.
-
,
α
,
-
-
)
α-
.
.
(
,
.
a-
Si:H
,
:
2
+
2
=2
2
.
,
- a-Si:H
Si:H,
.
.
,
0,5-3,0
,
.
a-
0,25-1,5
-
.
-Si:H
.
,
5
0,1
BY 10527 C1 2008.04.30
,
,
,
a-Si:H.
,
.
5
,
,
.
TL431M.
.
.
.
.
-
.
.
.
,
U1,
U2,
.
1
a-Si:H
.
"
-1
,
-
"
.
,
(
).
.
,
[10].
.
U2
U1
.
,
1
U2 ,
-
.
.
U1 .
(
~200
U2 ,
.
"
-
U1)
,
".
,
"
U2
.
,
.
.
6
.
"
-
-
-
-
,
,
1
- U1,
,
U2,
-
,°
-
,%
"
435
565
,
-
-
%
435
560
-
-
%
540
580
1,12
82,2
2+0,25%
550
575
1,09
81,3
%
535
590
1,10
83,7
%
530
585
1,09
79,5
%
545
575
1,11
82,6
%
540
578
1,11
84,7
%
-
-
-
-
-
-
2+3,0 %
-
-
-
-
-
-
545
1,12
82,0
,
Al+1 %Si
1,0
450
30
2+0,1 %
,
Al+1 %Si
1,0
450
30
2+0,1
,
Al+1 %Si
1,0
450
30
2+0,5
,
Al+1 %Si
1,0
450
30
0,65
2
2
3
0,65
2
4
0,65
2
5
,
Al+1 %Si
1,0
450
30
2+1,0
,
Al+1 %Si
1,0
450
30
2+1,0
0,65
2
6
0,65
2
7
7
,
Al+1 %Si
1,0
450
30
2+3,0
,
Al+1 %Si
1,0
450
30
2+1,5
0,65
2
8
0,65
2
9
,
Al+1 %Si
1,0
450
30
2+5,0
0,65
10
11
12
,
0,65
,
0,60
,
0,55
13
Al+1 %Si
1,0
450
30
Al+1 %Si
1,0
450
30
2
0,65
+ 1,0 % 520
Al+1 %Si
1,0
450
30
2+1,0
%
450
480
1,11
78,9
,
Al+1 %Si
1,0
450
30
510
540
1,11
81,1
,
Al+1 %Si
1,0
450
30
545
585
1,09
85,2
,
Al+1 %Si+2 %Cu
1,0
450
30
H2+1,0 %
H2O
H2+1,0 %
O2
H2+1,0 %
H2O
520
560
1,12
82,1
2
0,65
15
2
2
0,60
14
-
2
BY 10527 C1 2008.04.30
0,65
,
,°
,
16
,
-
-
-
-
1,0
450
30
,
Al + l %Si
2,0
475
20
,
Al + l %Si
2,0
475
20
,
Al + l %Si
1,0
500
15
,
Al + l %Si
1,0
500
15
,
Al+1 %Si+2 %Cu
0,5
500
15
H2+1,0 %
O2
H2+1,0 %
H2O
H2+1,0 %
O2
H2+1,0 %
H2O
H2+1,0 %
O2
H2+5,0 %
H2O
H2+3,0 %
O2
8
0,65
20
0,65
21
0,65
22
,
Al+1 %Si+2 %Cu
0,5
500
15
0,65
-
,%
520
570
1,13
78,7
530
565
1,09
80,3
525
570
1,08
84,5
520
560
1,12
83,8
525
550
1,11
79,0
-
-
-
-
-
-
315
-
,
,
-
,
-
.
-
-
-
-
-
-
,
.
"
525
1,10
81,5
-
BY 10527 C1 2008.04.30
Al+1 %Si+2 %Cu
0,65
19
-
U2,
,
0,65
18
U1,
,
0,65
17
-
BY 10527 C1 2008.04.30
,
.
:
1.
.,
.,
2. - . 116-131.
2.
3.
.
,
.,
//
.-
.,
.-
.
.,
.-
, 1980. - 424 .
, 2001. - 272 .
-
.:
, 1986. - 320 ,
.
7.
.,
, 1980. - 296 .
8.
. 188 (
).
9.
.
.
.
10.
.:
.,
, 1989. - 238 .
.
.:
:
2-
.
. 2:
, 1987. - 256 ,
,
-
.
.
..
./
. .
.-
.:
-
.:
, 1986. -
. 2.
. 2, 1983. - . 21.
1114.1012-99.
.
.
.
.
220034, .
.
-
.6.
.:
.:
:
". -
.,
. - 1990. - . 19. -
.
:
4.
"
5.
.
.
, 20.
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
119 Кб
Теги
by10527, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа