close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY11307

код для вставкиСкачать
BY (11) 11307
(13) C1
(46) 2008.10.30
(19)
(12)
(51)
(2006)
H 01L 21/02
(54)
(21)
(22) 2007.05.28
(71)
:
: a 20070642
(73)
"
-
" (BY)
(72)
:
;
-
;
;
(BY)
:
-
" (BY)
(56) US 4137099, 1979.
BY 8754 C1, 2006.
RU 2100872 C1, 1997.
RU 2086043 C1, 1997.
SU 1800501 A1, 1993.
EP 0432612 A2, 1991.
JP 55039618 A, 1980.
JP 2001024183, 2001.
(57)
1�14-1�15
290-310 �
0,4-12
250-350 �
3-6 ,
,
420-480 �
BY 11307 C1 2008.10.30
-2
50-70
.
,
,
.
[1]
(
)
,
,
,
-
.
,
-
.
[2]
,
p-n.
,
.
-
BY 11307 C1 2008.10.30
[3]
,
p-n,
,
5?1015�1016
3-5
2?1011�1012
,
-2
20-80 �
380-430 �
-2 -1
20-40
-
.
.
[4],
.
1014�15 -2
290�0 �
0,4�
250�0 � .
3�.
-
,
,
.
.
1?1014-1?1015
290-310 �
0,4-12
250-350 �
-2
3-6 .
,
420-480 �
50-70
.
.
[5],
-
.
.
,
-
.
(U )
,
,
.
U
,
.
-
,
U
,
.
,
,
(
,
U ,
2-5
,
,
U
U )
,
,
,
,
,
.
-
,
,
,
.
-
,
,
2-6
(PC)
.
2
,
,
-
BY 11307 C1 2008.10.30
.
76
,
.
300 �
-
,
14
320 �
2?1012 -2.
4 .
150
5
460 �
,
60
0,3
8,5?10
-2
,
6
,
-
.
,
,
,
15-20
.
95 %
.
6
,
U
5,5-6
,
U
,
,
( . .
-
).
-
,
20
1000
.
(
,
)
,
,
-
.
-
,
,
,
.
3
(PC)
( � )
320 � .
?
t
4 ,
0
30
50
60
70
100
1/83
1,05/83
1,1/83
1,2/83
1,3/84
1,4/84
.
PC
390
%
,
> 70
420
-"-
1/83
1,3/84
2/89
2,8/91
4,3/93
5/25
4
460
> 70
-"-
1/83
1,5/83
3/93
5,5/95
6/93
7/20
> 70
480
-"-
1/83
1,6/85
3,5/95
4,8/95
4,5/95
4/12
> 60 �
> 15
510
-"-
1/83
2,5/18
3/13
3,2/5
3/0,5
3,3/0,2
> 60 �
BY 11307 C1 2008.10.30
,�
?
6
300 �
(%
)
(t ).
8,5?1014 -2.
}
BY 11307 C1 2008.10.30
:
1.
2.
, 2755418,
.
.
H 01L 21/324, 1979.
,
//
. - 1989. - . 23. - . 753-756.
3.
94001681/25, 1995.
4.
4137099,
H 01L 21/263, 1979.
5. Fuller C.S., Logan R.N. // J. Appl. Phys. 1957. - V. 28. -
12. - P. 1427-1436.
.
220034, .
,
.
, 20.
n-
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
84 Кб
Теги
by11307, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа