close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY11821

код для вставкиСкачать
BY (11) 11821
(13) C1
(46) 2009.04.30
(19)
(12)
(51)
(2006)
H 01L 21/02
(54)
(21)
(22) 2007.11.23
(43) 2008.06.30
(71)
:
: a 20071427
(73)
-
" (BY)
:
;
;
(72)
;
;
(BY)
:
-
"
" (BY)
(56) US 6703320 B1, 2004.
US 5976767 A, 1999.
US 5928969 A, 1999.
US 6306775 B1, 2001.
US 2007/0037400 A1.
(57)
,
,
,
BY 11821 C1 2009.04.30
,
(
. %:
25 %-
15-80
0,04-2,00
.
).
(
,
,
-
)
.
.
,
-
,
.
"
"
LOCOS-
.
,
,
-
.
,
,
20
45
.
-
BY 11821 C1 2009.04.30
(
,
-
).
.
(Na+
-
+
).
-
,
:
;
;
;
.
[1],
(
,N
)
4
-
.
:
(40-60 ° );
.
(40-60 ° )
-
.
.
,
,
-
,
,
. %:
(25 %)
15-80
0,04-2
.
-
,
.
,
,
.
.
NH4Cl.
,
3
1,526
.
(37,2
100
2
.
,
0,6 /100 (
19 ° ).
(
D): 1,642 (
20 ° ).
. .): 100 (
270 ° ).
338 °
NH3 HCl.
3773-72
(
( ,
,
).
.
N
3.
.
2
53,49
.
20 ° ),
,
.
-
BY 11821 C1 2009.04.30
N
-
3.
.
,
(
).
.
: (25 %
) 38 ° .
: (25 %
) 58 ° .
(
= 1): 0,9 (25 %
:
20 ° : (25 %
) 48
.
(
= 1): 0,6-1,2.
,
,
).
.
24147-80
25 %
).
:
1.
1.1.
,
.
,
(25 %)
1.2.
1.3.
1.4.
1.5.
2.
2.1.
,
:
15-80
0,04-2
.%
.%
.
(25 %)
.
.
.
.
.
,
(25 %)
:
15-80
0,04-2
.%
.%
.
2.2.
(25 %).
2.3.
.
2.4.
.
2.5.
.
.
(25 %)
.
:
)
60 ° ;
)
)
;
.
-
150
10,24
(
.035.298 ),
42,5 .
2
0,24
"Surfscan-4500"
2
.
3
BY 11821 C1 2009.04.30
150
150
600
(
(
.035.298 ),
42,5 .
.035.298
-
)
,
42,5
"
.
-
".
"
4-150".
-
"Leitz LTS-M/SP".
V =
d d t V -
:
−d
t
d
,
,
,
,
;
;
;
,
.
-150-001
20
10
1.240.031
60 °
-
.
:
n = V1/V2,
nV1 V2 -
;
,
;
,
.
,
1
2.
1.
(25 %)
,
.
-
15
.%
. 1.
. 1,
15-80
(25 %)
. %.
.
80
.%
.
2.
(25 %),
.
-
.%
-
. 2.
. 2,
0,04-2,0
. %.
0,04
,
2-
.
4
1
.
5
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
(25 %),
.%
10
15
45
80
90
10
15
45
80
90
,
.%
0,04
0,04
0,04
0,04
0,04
2,0
2,0
2,0
2,0
2,0
,
./
23
31
27
28
61
25
29
31
35
58
31
.
50)
SiO2,
0
,
2
0,0154
0,0257
0,0260
0,0251
0,0260
0,0154
0,0240
0,0257
0,0246
0,0245
0,0358
0
0,0123
0,0249
0,0252
0,0243
0,0253
0,0132
0,0233
0,0258
0,0245
0,0246
0,0371
2
16,2
30,8
33,3
38,9
40
16,2
30,7
33,4
39,8
40
33,3
0
12,2
28,9
31,2
36,7
37,7
13,1
29,1
32,5
38,7
38,8
23
2
1050
1200
1280
1550
1540
1050
1280
1300
1620
1630
930
990
1160
1240
1510
1490
990
1250
1260
1580
1580
620
BY 11821 C1 2009.04.30
(25 %)
2
.
6
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
(25 %),
.%
15
15
15
15
15
80
80
80
80
80
,
.%
0,03
0,04
1,0
2,0
3,0
0,03
0,04
1,0
2,0
3,0
SiO2,
,
./
28
31
30
28
80
23
29
31
35
89
31
.
50)
0
2
0,0275
0,0257
0,0246
0,0237
0,0238
0,0339
0,0251
0,0249
0,0246
0,0256
0,0358
-
,
0
0,0238
0,0249
0,0240
0,0237
0,0239
0,0295
0,0243
0,0242
0,0245
0,0261
0,0371
2
30,8
30,8
30,8
30,8
30,9
40
38,9
39,3
39,8
42
33,3
0
24,3
28,9
29,1
29,6
29,9
33,6
36,7
37,2
38,7
41,5
23
2
1120
1200
1250
1300
1300
1180
1550
1580
1620
1640
930
1020
1160
1210
1250
1250
1140
1510
1540
1580
1590
620
BY 11821 C1 2009.04.30
-
BY 11821 C1 2009.04.30
2,0
.%
.
,
.
:
1.
6703320 1,
01L 21/302, 2004.
.
220034, .
,
.
, 20.
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
93 Кб
Теги
by11821, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа