close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY14223

код для вставкиСкачать
????????
???????????
? ???????
?????????? ????????
(46) 2011.04.30
(12)
(51) ??? (2009)
???????????? ?????
????????????????
?????????????
(54)
BY (11) 14223
(13) C1
(19)
H 01L 21/00
?????? ???????????? ?????????????????
????????????
(21) ????? ??????: a 20090275
(22) 2009.02.27
(43) 2010.10.30
(71) ?????????: ??????????????? ?????????????????????? ???????????
"??????-????????????
?????
???????????? ???????? ???? ???????? ?? ????????????????" (BY)
(72) ??????: ???????? ????? ??????????; ????????? ???????? ?????
(BY)
(73) ?????????????????: ???????????????
??????-???????????????? ???????????
"??????-???????????? ????? ???????????? ???????? ???? ???????? ??
????????????????" (BY)
(56) RU 94001681 A1, 1995.
BY 8754 C1, 2006.
RU 2298250 C2, 2007.
UA 72308 C2, 2005.
SU 1544108 A1, 1993.
SU 1800501 A1, 1993.
EP 0505928 A2, 1992.
BY 14223 C1 2011.04.30
(57)
?????? ???????????? ????????????????? ????????????, ?????????? ????????????
???????? ????????? ????????? ????????, ????????? ?????????? ???????? ??????????? ?
???????? 3-5 ??? ????? 5�15-1�16 ??-2 ??? ??????????? 20-80 � ? ????????????? ????? 2�11-1�12 ??-2?-1 ? ??????????? ??????? ??? 380-430 � ? ??????? 20-40 ??? ? ??????? ???????? ? ???????, ???????????? ???, ??? ???????? ????????? ?????????
?????????? ???????? ???????? ?? ????? 8�13 ??-2 ? ????????? ??????????? ???????
??? 150 � ? ??????? 24 ?????.
??????????? ????????? ? ??????? ????????????????? ??????????? ? ????? ???? ???????????? ? ?????????? ?????????? ????????????????? ????????????, ? ????????? ???
???????????? ????????-?????????????? ?????????? ???????????? ? ????????????? ????????.
???????? ?????? [1] ???????? ????????????????? ???????? (???????, ?????????????
???????????) ? ?????????? ???????????????, ??????? ??????????? ????? ?? ?????????
?????????? ?????? ??????????? ????????? ? ??????????? ??????????????? ???????.
??????????? ????? ??????? ???????? ??, ??? ?? ?? ????????? ???????? ?????????? ??????? ?????????????? ? ????????? ??????? ??????? ?????????? ? ?????????? ????????????.
???????? ?????? ????????? ????????????????? ???????? [2], ????????????? ? ?????????? ???? ??????????????? ?????????. ?? ?????? ?????? ???????? ????????? ??????????? ? ???????? 0,4-12 ??? ???????? 1014-1015 ??-2 ??? ??????????? 250-350 �. ??
?????? - ???????? ????? ???????? ??? ??????????? 290-310 � ? ??????? 3-6 ?.
BY 14223 C1 2011.04.30
??????????? ?????????? ??????? ???????? ???????????? ????????? ???????? ??????
????????????? ????????????, ??????? ??????? ?????????? ?? ?????????????? ?, ???
?????????, ????????? ??????? ?????? ?????? ????????.
???????? ??????? ?? ??????????? ???????? ? ????????????? ??????????? ????????
?????? ???????????? ?????????? ????????????????? ???????? [3], ? ??????? ?????
???????????? ???????? ????????? ????????? ????????, ???????? ?? ????????? ???????? ??????????? ? ??????????? ??????? ? ??????? ???????? ? ???????.
?????????? ????? ??????? ????????????? ? ???????????? ?????? ? ???????????? ????????? ???????? ??? ?? ??????????????, ??? ? ?????????? ?????? ? ???????? ????????????, ????? ????????????? ????????????????? ??????????? ???????? ????????????????
????????, ????? ?????????? ???????????-??????????? ?????????, ??? ? ????? ???????
??????? ?????? ?????? ????????.
?????? ??????????? - ???????? ???????? ???????????? ?? ?????????????? (???????
??????????) ? ????????? ???????? ?????? ?????? ????????.
?????? ???????????? ????????????????? ????????????, ?????????? ????????????
???????? ????????? ????????? ????????, ????????? ?????????? ???????? ??????????? ?
???????? 3-5 ??? ????? 5�15-1�16??-2 ??? ??????????? 20-80 � ? ????????????? ?????
2�11-1�12??-2?-1 ? ??????????? ??????? ??? 380-430 � ? ??????? 20-40 ??? ? ???????
???????? ? ???????.
?????, ?? ?????? ???????, ???????? ??, ??? ???????? ????????? ????????? ?????????? ???????? ???????? ?? ????? 8�13 ??-2 ? ????????? ??????????? ??????? ???
150 � ? ??????? 24 ?.
???????? ??????? ??????? ? ?????? ???????????? ?????? ??? ???????????? ??????????? ??????? ????? ????????????? ????????? ?????? ? ??????? ??????? ???????????? ??
?????????????? ????? ?? ????????????. ???? ? ???, ??? ???????? ??????? ????????????
? ????????????? ?????????, ?? ??????? ?? ? ???????, ?? ???? ???????????? ????????? ?
?????? ????????? ????????????, ?? ????????????? ?????????, "??????????" ? ???????
??????? ????????? ????????????? ????? ?????????? ?? ?????????????? (??????? ??????????).
????? ??????? ?????????? ????????? (? ???????? ?? 8�13 ??-2) ?????????? ?????????????? ????????? ???????????? ? ??????????? ????????? ?? ??????? ??????????,
?????????? ?????????? ??????????? ????????????? ? ???????????? ????????? ??????
?????? ????????.
??????????? ? ????????????????? ?????????? ?????? (150 � ? ??????? 24 ?) ?????????? ???????????? ?????????? ???????????????? ? ?????? ???????? ???????????? ??
?????????? ? ????????? ??????? ?????????? ???????????? ? ?????????? ????????.
?????? ??????????? ??????????.
???????????? ?????? ??? ??????????? ?? ?????????? ???????????? ? ????????????? ????????, ???????????? ?? ?????? ?????????? ??? ?????????? ?? 20 ? ??? ???????????? ?????????? ????????? - ??????? VCES 700-750 ?. ?????????? ?????????
?????????-??????? ?????? ???? ? ???????? 1,8-2,1 ? ??? ???? ?????????? 12 ?, ? ???
?????? ?? ?????? ????????? 250 ???.
???? ???????? ??? ?????? ???????????? ? ???????? ?? 50 ???? ? ?????? ? ????????
?? ???????? ?????????. ????????? ???????????? ?? ????????????? ??????? ???????????
?? ????????? ?????. ??????????? ? ?????????? 50 ???? ??????????? ? ?????????????
???????, ??????????? ????? ???????? ????? ?????????? ?????????? ? ???????? 4 ???.
????????? ?????????? ? ??????????? ????????? ??????? ? ????????????? ? ??????? 200 ?
??? ????????????? ????? ?????????? 4�11 ??-2?-1 ?? ??????? 8�13 ??-2. ????? ?????????? ????????? ??????????? ?????????? ? ?????????, ??? ????????????? ? ??????? 24 ?
??? ??????????? 150 �. ????????? ?????????.
2
BY 14223 C1 2011.04.30
??? ???? ?????? ???????? ? ???????? ?? ??????? ?????????, ? ?????? - ??? ???????
????????? ? ??????, ????????? ?? ???????, ????????? ? ???????????? ???????. ?????
????????? ????????? ?????????? ???????? ?????????? ???????????? ? ??????????????
???????????? ??????????????? ??????? ? ???????. ?????????????? ??????????? ?? ???????? ??????? ?????????? ????????????. ???????????????? ????? ??????????? ?????????: ?????????? ????????? ????????? - ??????? 1,95-2,1 ? ??? ???? 12 ?,
???????????? ?????????? ????????? - ??????? 730-750 ? ??? ???? ?????? 250 ??? ??????? ???????? ?? ?????????????? ????????????? ??? ????????? ????????????? ?????????? ??????? ?????????? ??????????? ? ???????? ???????? ????? ????????? ?? ????
??????. ??????? ?????? ?????? ????????????? ??? ????????? ?????????? ????????????
????????? ??????????????? ?????? ?? ? ?????? ?????????? ????????, ???????????? ??
???????????-??????????? (????????? - ?????) ?????????. ?????? ????????? ? ???????.
?????? ?????? (????????): ??????? ?????????????? ?? ??????? ?????????? ?????????? 10-15 %, ??????? ?????? ?????? ???????? 85-92 %. ?????? ?????? (?????????? ??????): ??????? ?????????????? ?? ??????? ?????????? ?????????? 5-7 %, ??????? ??????
?????? ???????? - ?? ????? 96 %.
????????? % ???????? ???????????? ?? ?????????????? ? % ?????? ?????? ???????? ? ??????????? ?? ??????? ??????????? - ??????????? (????????? - ?????) ?????????
?
??????
?????? ?????????? ?????????,
??-2
????? ?????????? ?????? % ???????? ????- % ?????? ??????????? ??
??? ??????T, �
t, ?
??????????????
??????
1
????????
10-15
85-92
13
2
8�
150
24
5-7
96-97
13
14
3
3� /1�
130/170
18/30
9-10/11-13
82-85/78-82
?????? ?????? (????????? ?? ????????? ???????): ??????? ?????????????? ?? ???????
?????????? ?????????? ?? 10 %, ? ??????? ?????? ?????? ???????? - 82-85 %, ????
?????? ?????????, ??????????? ? ????? ?????? ????, ??? ? ?????????? ???????, ? ??????? ?????????????? ?? 13 %, ? ??????? ?????? ?????? ?? 78-82 %, ???? ?????? ?????????, ??????????? ? ????? ?????? ????, ??? ? ?????????? ???????. ? ????? ????????
??????????? ?????????? ?? 0,2-0,5 ?, ??????????? ?? ?????? ??, ?????????? ????????? ?????????-???????.
????? ???????, ???????????? ?????? ?? ????????? ? ????????? ????????? ????? ???
? ??? ???? ??????? ??????? ???????????? ?? ?????????????? ? ????????? ? ??????? ?? 7 %
??????? ?????? ?????? ????????.
????????? ??????????:
1. ?????? ??? 2755418, ??? H 01L 21 /324, 1979.
2. ?????? ??? 4137099, ??? H 01L 21/263, 1979.
3. ?????? 94001681/25, 1995.
???????????? ????? ???????????????? ?????????????.
220034, ?. ?????, ??. ???????, 20.
3
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
84 Кб
Теги
by14223, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа