close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент РФ 2335577

код для вставки
РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ
(19)
RU
(11)
2 335 577
(13)
C2
(51) МПК
C23C 14/56 (2006.01)
F16J 15/16 (2006.01)
ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА
ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ,
ПАТЕНТАМ И ТОВАРНЫМ ЗНАКАМ
(12)
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ
(21), (22) За вка: 2005137556/02, 19.04.2004
(24) Дата начала отсчета срока действи патента:
19.04.2004
(30) Конвенционный приоритет:
23.05.2003 EP 03447123.5
(73) Патентообладатель(и):
АРСЕЛОР Франс (FR)
(43) Дата публикации за вки: 10.06.2006
R U
(72) Автор(ы):
КУЛЕН Стефан (BE),
СИЛБЕРБЕР Эрик (BE),
МАРНЕФФ Дидье (BE),
Д`ОНД Бернар (BE),
ДЕ ФЕЛИС Клодьо (BE)
(45) Опубликовано: 10.10.2008 Бюл. № 28
2 3 3 5 5 7 7
(56) Список документов, цитированных в отчете о
поиске: ЕР 1004369 А, 31.05.2000. RU 2076293
C1, 27.03.1997. SU 390202 A, 19.11.1995. SU
1812244 A1, 30.04.1993. JP 9143728 А,
03.06.1997. GB 1305746 A, 07.02.1973. US
6334751 А, 01.01.2002.
2 3 3 5 5 7 7
R U
(86) За вка PCT:
BE 2004/000055 (19.04.2004)
C 2
C 2
(85) Дата перевода за вки PCT на национальную фазу:
23.12.2005
(87) Публикаци PCT:
WO 2004/104264 (02.12.2004)
Адрес дл переписки:
191002, Санкт-Петербург, а/ 5, ООО "Л пунов
и партнеры", пат.пов. А.С.Пантелееву
(54) УПЛОТНИТЕЛЬНЫЙ ЗАТВОР ДЛЯ ЛИНИИ ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА
НЕПРЕРЫВНО ПРОТЯГИВАЕМУЮ МЕТАЛЛИЧЕСКУЮ ЛЕНТУ
(57) Реферат:
Изобретение относитс к оборудованию дл нанесени покрытий,
в
частности
к
уплотнительному затвору дл камеры вакуумного
нанесени покрыти на
непрерывную
прот гиваемую металлическую ленту, и к линии
вакуумного нанесени покрытий. Уплотнительный
затвор имеет съемные нижнюю крышку и верхнюю
крышку, расположенные на опорах несколько пар
металлических валков, предназначенных дл прохождени между ними ленты и прикрепленных к
обращенной
к
ним
крышке
с
зазором,
определ ющим зону первой утечки. Субкамера
ограничена каждыми двум последовательными
парами
валков.
Система
откачки
дл поддерживани в субкамере заданного давлени ниже атмосферного соединена с указанной
камерой. Валки одной пары имеют разные
диаметры. Валки установлены на подшипниках,
жестко св занных с указанными крышками, и
выполнены съемными. Оси валков одной пары
расположены в общей вертикальной плоскости.
Положение валка меньшего диаметра оказываетс поочередно верхним и нижним при переходе от
одной отдельной пары валков к смежной с ней
паре. Опоры дл удержани двух валков одной и
той же пары имеют в боковом относительно валка
направлении выступ в сторону оси валка дл образовани зазора относительно боковой
поверхности указанных валков, определ ющего
зону второй утечки. Технический результат
заключаетс в предотвращении утечек, упрощении
Страница: 1
RU
обслуживани оборудовани и
увеличении
производительности. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 4 ил.
R U
R U
2 3 3 5 5 7 7
C 2
C 2
2 3 3 5 5 7 7
Страница: 2
RUSSIAN FEDERATION
RU
(19)
(11)
2 335 577
(13)
C2
(51) Int. Cl.
C23C 14/56 (2006.01)
F16J 15/16 (2006.01)
FEDERAL SERVICE
FOR INTELLECTUAL PROPERTY,
PATENTS AND TRADEMARKS
(12)
ABSTRACT OF INVENTION
(21), (22) Application: 2005137556/02, 19.04.2004
(24) Effective date for property rights: 19.04.2004
(30) Priority:
23.05.2003 EP 03447123.5
(43) Application published: 10.06.2006
(73) Proprietor(s):
ARSELOR Frans (FR)
(45) Date of publication: 10.10.2008 Bull. 28
2 3 3 5 5 7 7
(85) Commencement of national phase: 23.12.2005
(86) PCT application:
BE 2004/000055 (19.04.2004)
(87) PCT publication:
WO 2004/104264 (02.12.2004)
2 3 3 5 5 7 7
R U
(54) SEALING LOCK FOR LINE OF VACUUM APPLICATION OF COATING ON CONTINUOUSLY
STRETCHED METAL TAPE
(57) Abstract:
FIELD: technological processes.
SUBSTANCE: sealing lock has detachable bottom
and top covers, several pairs of metal rollers
installed on supports, which are intended for
passage of tape between them and are fixed to
cover facing them with clearance that defines the
area of the first leak. Sub-chamber is limited
with every two serial pairs of rollers. Pumping
system for maintenance of preset pressure below
atmospheric pressure in sub-chamber is connected
to the mentioned chamber. Rollers of one pair
have different diameters. Rollers are installed
in bearings that are rigidly connected with
mentioned covers and are made as detachable. Axes
of single pair rollers are installed in common
vertical plane. Position of smaller diameter
roller
alternates
from
top
to
bottom
at
transition from one separate pair of rollers to
pair that is adjacent to it. Supports for holding
of two rollers of one and the same pair have
protrusion in lateral direction in relation to
roller, at that protrusion is directed to the
side of roller axis for formation of clearance in
relation to lateral surface of specified rollers
that defines the area of the second leak.
EFFECT: prevention of leaks; facilitation of
equipment maintenance and increase of capacity.
12 cl, 4 dwg
Страница: 3
C 2
C 2
Mail address:
191002, Sankt-Peterburg, a/ja 5, OOO
"Ljapunov i partnery", pat.pov. A.S.Panteleevu
EN
R U
(72) Inventor(s):
KULEN Stefan (BE),
SILBERBER Ehrik (BE),
MARNEFF Did'e (BE),
D`OND Bernar (BE),
DE FELIS Klod'o (BE)
RU 2 335 577 C2
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
Предмет изобретени [0001] Насто щее изобретение относитс к усовершенствованному входному и/или
выходному уплотнительному затвору линии вакуумного нанесени тонкого сло на
движущеес плоское изделие, предпочтительно металлическую ленту (из углеродистой
стали, нержавеющей стали и пр.).
Уровень техники
[0002] Внутри камеры вакуумного нанесени покрытий (давление пор дка 10 -5 мбар)
могут осуществл тьс самые разнообразные процессы - чистка, напыление и т.п.
[0003] Как в черной, так и в цветной металлургии линии дл непрерывного вакуумного
нанесени металлических (из чистого металла, сплавов, оксидов) или органических
покрытий представл ют дл специалистов все больший интерес по целому р ду причин.
[0004] Прежде всего, такие линии значительно облегчают разработку новой продукции.
На сегодн шний день технологии выполнени покрытий на стальных лентах ограничены в
промышленном масштабе процессами окунани или электролитического осаждени ,
которые представл ют собой традиционные способы. Количество получаемых таким путем
изделий оказываетс чрезвычайно ограниченным. Промышленное внедрение линий
вакуумного нанесени покрытий, принцип действи которых в насто щее врем уже
полностью освоен на опытных производствах, способствовало бы разработке дес тков
новых разновидностей продукции.
[0005] Кроме того, если говорить об охране окружающей среды, то, если технологию
выполнени покрытий методом окунани можно считать экологически чистой (за
исключением нанесени матирующих покрытий), при электролитическом осаждении
требуетс проведение таких дополнительных операций химической обработки, как
фильтраци , регенераци , очистка шламов и пр. Во всех этих случа х подготовка
поверхности сопровождаетс по влением подлежащих обработке жидких отходов в виде
растворов и шламов. Что же касаетс вакуумного нанесени покрытий, будь то с
использованием или без использовани плазмы, то оно, напротив, представл ет собой
сухой процесс. Здесь требуетс лишь извлечение сухих отходов, образовавшихс при
очистке поверхностей и при нанесении на поверхность материала.
[0006] Известны уплотнительные затворы, предназначенные дл изол ции камеры
вакуумного нанесени покрытий от остальных компонентов линии - таких, как
разматыватель, моталка и др. Затвор - это такой компонент, регулировка которого
исключительно важна на этапе промышленного внедрени . Различные конструкции
затворов описаны в р де известных документов: US-A-3158507, US-A-3367667, US-A3467399, US-A-3868106, US-A-4501428, US-A-5000114, EP-A-0535568, US-A-5842855, US-A5865932. Наиболее близкий аналог раскрыт в патентном документе ЕР 1004369 А, С23С
14/56, 31.05.2000. Однако эти технические решени в своем большинстве так и не
позволили добитьс эффективного промышленного внедрени .
[0007] Чаще всего дл предотвращени утечек, имеющих место в таких слабых местах,
какими вл ютс входной или выходной затвор, применени этих устройств стараютс избегать. В стекольном производстве выполн ют пакетное нанесение покрытий на плиты
стандартных размеров, а в производстве пластмассовых изделий примен ют технику
намотки в самой вакуумной камере.
[0008] На фиг.1 приведен пример входного/выходного затвора 5 дл камеры вакуумного
нанесени покрытий. Как видно на чертеже, дев ть валков 10, 11, 12,... расположены в
шахматном пор дке и ограничивают субкамеры 20, 21, 22,... Кажда из субкамер св зана
с системой откачки 3. Совокупность систем откачки 3 обеспечивает возможность
получени последовательного, субкамера за субкамерой, разрежени , при этом в
последней субкамере вакуум может достигать 10 -5 мбар. Указанное расположение в
шахматном пор дке позвол ет уменьшить количество валков, что делает затвор менее
громоздким. Кроме того, проход по валкам, лента изгибаетс в виде дуги, что
позвол ет добитьс надежного уплотнени по ширине ленты, которое оказываетс существенно больше, нежели в случае, когда она находитс просто в зазоре между
Страница: 4
DE
RU 2 335 577 C2
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
валками. Таким образом, становитс вполне приемлемым больший зазор между двум валками.
[0009] Следует также отметить, что каждый валок расположен на опоре, прикрепленной
к горизонтальной стенке камеры, обращенной к этому валку, в зависимости от
обсто тельств, нижней или верхней. Здесь зона утечки сокращаетс до зазора между
валком и опорой. Остаютс также утечки между боковыми сторонами цилиндрических
валков и боковыми стенками камеры.
[0010] Наконец, дл сохранени уплотнени в каждой субкамере необходимо, чтобы
контактное давление между лентой и валками, обеспечивающее уплотнение субкамеры,
было, по меньшей мере, равным разности давлений между указанной субкамерой и
окружающим ее пространством. В противном случае существует опасность отрыва ленты
от валка. Во избежание этого влени следует приложить к ленте раст гивающее усилие,
которое было бы достаточным дл компенсации разности давлений, имеющей место между
двум следующими друг за другом субкамерами.
[0011] Дл промышленного внедрени в случае непрерывного прот гивани приходитс разрешить р д проблем, свойственных современному уровню техники. Прежде всего,
возникает проблема возможности легкого обслуживани оборудовани . Необходимо
обеспечить возможность легкого ввода ленты в затвор. Кроме того, кожух, образующий
вакуумную камеру, имеет ограниченную высоту, и, следовательно, доступ к нему
затруднен. При современном уровне техники в случае, если понадобитс , например,
проверить состо ние поверхностей валков, камеру придетс полностью демонтировать.
Существует еще одна проблема, св занна с потерей вакуума, котора обусловлена
имеющими место в затворе утечками, что приводит к снижению производительности
откачки. Следствием этого вл ютс значительное потребление электроэнергии и
необходимость увеличени затрат на откачивающее оборудование.
[0012] По определению, происход щий под вакуумом части кожуха теплообмен либо
вообще отсутствует, либо недостаточен, чтобы вызвать расширение валков в части,
наход щейс под вакуумом. По сути, одного лишь контакта недостаточно дл обеспечени теплопроводности между гор чей лентой и валками, наход щимис на стороне вакуума. С
другой стороны, имеет место обусловленное теплообменом расширение валков на стороне
воздуха, которое может в некоторых случа х доходить до наружной оболочки кожуха.
Такое расширение валков по длине приводит к возрастанию опасности заедани вследствие их соприкосновени с боковыми стенками камеры. Дело в том, что деформацию
не повтор ет наружна часть кожуха, наход ща с на стороне воздуха, в той мере, в
какой она жестко св зана с его частью, наход щейс на стороне вакуума, котора не
расшир етс .
Цели изобретени [0013] Целью изобретени вл етс создание такого входного/выходного
уплотнительного затвора линии вакуумного нанесени покрыти на плоское изделие,
который был бы свободен от недостатков, свойственных конструкци м, известным из
уровн техники.
[0014] Предметом изобретени вл етс , в частности, уплотнительный затвор, который
можно было бы использовать в линии непрерывного вакуумного нанесени покрытий на
плоское металлическое изделие типа ленты из углеродистой или нержавеющей стали.
[0015] Дополнительной целью изобретени вл етс создание затвора с возможностью
легкого обслуживани (легкий ввод ленты, свободный доступ к валкам и пр.).
[0016] Следующа цель изобретени состоит в создании затвора, позвол ющего
получить более высокую производительность откачки, с одновременным снижением
потреблени требуемой дл этого электроэнергии и сведением к минимуму необходимого
оборудовани .
[0017] Еще одна цель изобретени - предотвращение опасности заедани валков,
вызываемой расширением металлических узлов, частично работающих в вакууме.
[0018] Наконец, целью изобретени вл етс предотвращение преимущественного
Страница: 5
RU 2 335 577 C2
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
износа валков, снабженных дополнительным резиновым покрытием.
Сущность изобретени [0019] Первый объект насто щего изобретени - уплотнительный затвор дл камеры
вакуумного нанесени покрыти на непрерывно прот гиваемую предпочтительно
металлическую ленту, имеющий съемные нижнюю и верхнюю крышки и содержащий р д
пар металлических валков, между которыми проходит лента и удерживаемых на опоре,
прикрепленной к обращенной к ней крышке, с зазором, определ ющим зону первой утечки,
причем две следующие друг за другом пары валков ограничивают субкамеру, в которой
поддерживают заданное давление ниже атмосферного с помощью установки откачки,
соединенной с указанной камерой, отличающийс тем, что:
- валки установлены на подшипниках, жестко св занных с указанными крышками, и
выполнены также съемными;
- оси валков одной пары расположены в общей вертикальной плоскости, и эти валки
имеют разные диаметры, причем положение валка меньшего диаметра оказываетс поочередно верхним и нижним при переходе от одной отдельной пары валков к смежной с
ней паре;
- опоры дл удержани двух валков одной пары имеют сбоку выступ в сторону центра,
зазор которого относительно боковой поверхности указанных валков определ ет зону
второй утечки.
[0020] В соответствии с одним из предпочтительных вариантов осуществлени изобретени валки меньшего диаметра покрыты слоем резины или эластомера
определенной толщины.
[0021] Целесообразно такое выполнение валков большего диаметра, чтобы поверхности
их контакта с лентой были металлическими и определ ли путь прохождени ленты.
[0022] В соответствии с другим предпочтительным вариантом осуществлени валки
одной и той же пары смещены в поперечном направлении относительно движени ленты,
так что на каждой боковой стороне затвора один из валков выступает относительно
другого валка.
[0023] Целесообразно, чтобы было обеспечено уплотнение каждой субкамеры затвора
между лентой и корпусами обоих валков посредством предварительного прижима валка,
покрытого резиной, к валку с металлической поверхностью, что обеспечивает
одновременно прохождение ленты и обжатие резины или эластомера вокруг ленты.
[0024] Целесообразно также, чтобы угол изменени направлени движени ленты
определ лс отношением диаметров валков одной пары и был менее 10°.
[0025] Одно из существенных преимуществ изобретени заключаетс в том, что
наименьшее давление в субкамере оказываетс меньше 10 -4 мбар, предпочтительно 10 -5
мбар.
[0026] Предпочтительно, чтобы зазор, определ ющий зону первой утечки, зависел от
максимальной ширины ленты, зазор, определ ющий вторую зону утечки, был практически
посто нным и составл л менее 0,3 мм, предпочтительно 0,2 мм.
[0027] Второй объект изобретени - лини вакуумного нанесени тонкого
металлического или органического сло на плоское железное, стальное или металлическое
изделие, движущеес со скоростью, по меньшей мере, 10 м/мин, предпочтительно ленту из
углеродистой или нержавеющей стали, имеющую входной и/или выходной уплотнительный
затвор описанного выше типа.
Краткое описание чертежей
[0028] На фиг.1, котора уже рассматривалась выше, дан вид в разрезе
уплотнительного затвора дл камеры вакуумного нанесени покрытий в соответствии с
уровнем техники.
[0029] На фиг.2 представлен вид в вертикальном и продольном разрезе уплотнительного
затвора дл камеры вакуумного нанесени покрытий в соответствии с одним из
предпочтительных вариантов выполнени изобретени . Здесь же показаны две съемные
крышки.
Страница: 6
RU 2 335 577 C2
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
[0030] На фиг.3 представлен вид сверху уплотнительного затвора дл камеры
вакуумного нанесени покрытий по фиг.2.
[0031] На фиг.4 представлен вид в вертикальном и поперечном разрезе затвора по
фиг.2.
Описание одного из предпочтительных вариантов осуществлени изобретени [0032] Фиг.2 и 3 иллюстрируют конкретный пример выполнени входного/выходного
затвора дл камеры вакуумного нанесени покрытий согласно изобретению.
Металлическа лента 1 поступает в затвор слева и выходит из него справа. В данном
случае камера 5 содержит четыре пары установленных напротив друг друга валков 10,
10', 11, 11', ..., между которыми размещена лента. Эти пары валков ограничивают
субкамеры 20, 21, 22,..., в каждой из которых действуют разные давлени , которые в
случае, например, с входным затвором последовательно уменьшаютс . А в случае с
выходным затвором имеет место обратна ситуаци .
[0033] Согласно изобретению, дл того чтобы обеспечить возможность обслуживани камеры и доступ к валкам, предусмотрено выполнение подшипников валков 30, 30',...
съемными и жестко св занными с нижней крышкой 6 или верхней крышкой 7 камеры, в
зависимости от того, в каком положении находитс рассматриваемый валок - нижнем или
верхнем. Прин ты также меры к тому, чтобы можно было развести на достаточное
рассто ние в вертикальной плоскости две крышки 6 и 7 с помощью подъемных устройств
(не показаны). Благодар этому в ходе процесса техобслуживани можно легко получить
доступ к валкам или к подшипникам. Еще одно преимущество данной конструкции простота ввода ленты.
[0034] Дл улучшени герметичности камеры на уровне каждой пары валков
предусмотрен целый р д дополнительных элементов.
[0035] Во-первых, валок меньшего диаметра 10', 11', 12',... снабжен, по меньшей
мере, по всей своей контактной поверхности резиновым или эластомерным покрытием.
Таким образом, в каждой паре валков металлический валок задает линию прохождени ленты, в то врем как положение валка с резиновым покрытием изначально регулируют
так, чтобы он оказывал достаточное усилие прижима на соответствующий металлический
валок с деформацией резины, позвол ющей следовать профилю ленты (см. фиг.4). В
результате благодар сдавливанию ленты между резиной и голым металлическим валком
обеспечивают уплотнение на поверхности ленты по всей ее ширине, а также по бокам
ленты.
[0036] Преимуществом вл етс возможность выполнени валков 10, 10',... поочередно
разных диаметров с каждой стороны ленты 1 (например, соответственно 300 и 250 мм).
При этом лента будет следовать по непр молинейной траектории (с изломом линии
прохождени ). Поскольку износ сконцентрирован в зоне с наибольшим углом контакта,
удаетс свести к минимуму износ валка с резиновым покрытием. Однако, учитыва , что
валки расположены попарно и лента зажата между ними, получают то преимущество, что
нет необходимости решени проблемы перепада ?Р между атмосферой и первой
вакуумной субкамерой, что дает возможность осуществить дополнительную откачку из нее.
Кроме того, раст гивающее усилие, оказываемое на ленту, не вл етс критичным дл поддержани герметичности различных вакуумных субкамер по линии прохождени ленты.
[0037] Следует также отметить, что валки удерживаютс со стороны обращенной к ним
крышки 6, 7 на опоре 40, 40', 41, 41',... Благодар такой конструкции удаетс свести
к минимуму утечку, котора зависит, в числе прочих факторов, от зазора между опорой и
валком, как это будет разъ снено ниже.
[0038] Действительно, согласно изобретению проблемы утечки и теплового расширени на уровне боковых стенок решены:
- с одной стороны, путем выполнени бокового удлинени верхней опоры (40',...) и
нижней опоры (40,...) валков в виде выступа в сторону центра (9, 9'), как это
показано на фиг.4, и
- с другой стороны, путем смещени валков каждой пары (10, 10',...) относительно
Страница: 7
RU 2 335 577 C2
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
друг друга по ширине камеры.
[0039] В результате с боковой стороны каждый из двух валков будет выступать
относительно второго валка, и наоборот. Така конструкци позвол ет разместить
видоизмененную опору (40, 40',...), как описывалось выше. Следует иметь в виду, что в
такой конструкции видоизмененна опора находитс в поперечном направлении на другой
стороне от обоих валков. На каждом валке подшипник, соответствующий видоизмененной
опоре, выполн ет две следующие функции:
- воспринимает тепловое расширение рассматриваемого цилиндра;
- поддерживает посто нный боковой зазор, то есть независимый от указанного
расширени , или, говор другими словами, независимый от фактической длины валков.
Таким образом, бокова утечка, то есть утечка, имеюща место вдоль боковой
поверхности валка, оказываетс независимой от теплового расширени . При этом
уплотнение выполнено уже не по боковой стороне, а по корпусу валка.
[0040] В случае ламинарного и молекул рного режимов потока необходимо по
возможности больше удлинить путь газа через камеру. В молекул рном режиме насосы
должны располагатьс как можно ближе к источнику, а секции 8 должны быть как можно
большими (фиг.3 и 4).
[0041] Таким образом, изложенные выше улучшенные характеристики затвора дл камеры вакуумного нанесени покрытий согласно изобретению позвол ют получить
следующие преимущества:
- использование съемных комплектов валков делает обслуживание оборудовани легче
и дешевле;
- улучшенное уплотнение (смещение валков одной пары относительно друг друга,
деформаци покрытых резиной валков) повышает производительность откачки, а
следовательно, снижает потребление электроэнергии и затраты на оборудование;
- применение усовершенствованных опор в виде оснований, соответствующих
подшипникам и имеющим удлинение в виде манжеты, частично охватывающей основную
часть корпуса валка, а частично их выступы, позвол ет решить проблемы относительного
расширени металлических узлов, обусловленные их нахождением в вакууме;
- использование валков разных диаметров позвол ет ускорить износ металлического
валка и свести к минимуму износ полимера.
Формула изобретени 1. Уплотнительный затвор дл камеры вакуумного нанесени покрыти на непрерывно
прот гиваемую металлическую ленту, имеющий съемные нижнюю крышку и верхнюю
крышку и содержащий расположенные на опорах несколько пар металлических валков,
предназначенных дл прохождени между ними ленты и прикрепленных к обращенной к
ним крышке с зазором, определ ющим зону первой утечки, субкамеру, ограниченную
каждыми двум последовательными парами валков, систему откачки дл поддерживани в
субкамере заданного давлени ниже атмосферного, соединенную с указанной камерой,
отличающийс тем, что валки одной пары имеют разные диаметры, валки установлены на
подшипниках, жестко св занных с указанными крышками, и выполнены съемными, оси
валков одной пары расположены в общей вертикальной плоскости, причем положение
валка меньшего диаметра оказываетс поочередно верхним и нижним при переходе от
одной отдельной пары валков к смежной с ней паре, опоры дл удержани двух валков
одной и той же пары имеют в боковом относительно валка направлении выступ в сторону
оси валка дл образовани зазора относительно боковой поверхности указанных валков,
определ ющего зону второй утечки.
2. Уплотнительный затвор по п.1, отличающийс тем, что валки меньшего диаметра
покрыты слоем резины или эластомера определенной толщины.
3. Уплотнительный затвор по п.2, отличающийс тем, что валки большего диаметра
выполнены с металлическими поверхност ми, контакт которых с лентой определ ет путь
прохождени ленты.
Страница: 8
CL
RU 2 335 577 C2
5
10
15
20
25
4. Уплотнительный затвор по п.3, отличающийс тем, что валки одной пары смещены в
поперечном направлении относительно движени ленты, так что на каждой боковой
стороне затвора один из валков выступает относительно другого валка.
5. Уплотнительный затвор по п.4, отличающийс тем, что уплотнение каждой субкамеры
затвора обеспечено между лентой и корпусом обоих валков посредством предварительного
прижима валка, покрытого резиной или эластомером, к валку с металлической
поверхностью, что обеспечивает одновременно прохождение ленты и обжатие резины или
эластомера вокруг ленты.
6. Уплотнительный затвор по любому из пп.1-5, отличающийс тем, что угол изменени направлени движени ленты определен отношением диаметров валков одной и той же
пары и составл ет менее 10°.
7. Уплотнительный затвор по любому из пп.1-5, отличающийс тем, что наименьшее
давление в субкамере составл ет менее 10 -4 мбар.
8. Уплотнительный затвор по любому из пп.1-5, отличающийс тем, что наименьшее
давление в субкамере составл ет менее 10 -5 мбар.
9. Уплотнительный затвор по любому из пп.1-5, отличающийс тем, что зазор,
определ ющий зону первой утечки, зависит от максимальной ширины ленты.
10. Уплотнительный затвор по любому из пп.1-5, отличающийс тем, что зазор,
определ ющий зону второй утечки, вл етс практически посто нным и составл ет менее
0,3 мм.
11. Уплотнительный затвор по любому из пп.1-5, отличающийс тем, что зазор,
определ ющий зону второй утечки, вл етс практически посто нным и составл ет менее
0,2 мм.
12. Лини вакуумного нанесени покрыти на непрерывно прот гиваемую
металлическую ленту, выполненную предпочтительно из углеродистой или нержавеющей
стали и движущуюс со скоростью, по меньшей мере, 10 м/мин, содержаща входной и/или
выходной уплотнительный затвор, выполненный согласно любому из пп.1-5.
30
35
40
45
50
Страница: 9
RU 2 335 577 C2
Страница: 10
DR
RU 2 335 577 C2
Страница: 11
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
325 Кб
Теги
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа