close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент РФ 2337179

код для вставки
РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ
(19)
RU
(11)
2 337 179
(13)
C2
(51) МПК
C23C 14/54
C23C 14/24
(2006.01)
(2006.01)
ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА
ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ,
ПАТЕНТАМ И ТОВАРНЫМ ЗНАКАМ
(12)
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ
(21), (22) За вка: 2006139373/02, 09.11.2006
(72) Автор(ы):
Юркевич Игорь Николаевич (UA),
Кошелевский Виктор Фадеевич (UA),
Мисожников Лев Викторович (RU),
Гевал Юрий Николаевич (RU)
(24) Дата начала отсчета срока действи патента:
09.11.2006
(43) Дата публикации за вки: 20.05.2008
Адрес дл переписки:
119270, Москва, Фрунзенска наб., 38/1,
кв.136, пат.пов. В.В.Коваленко
2 3 3 7 1 7 9
R U
(57) Реферат:
Изобретение относитс к устройствам дл напылени пористых покрытий на ленту и может
быть использовано при производстве электронных
компонентов, магнитных носителей записывающих
устройств, декоративных покрытий. Устройство
содержит вакуумную камеру, испаритель, валы
размотки и намотки, верхние и основные
направл ющие ролики и отклон ющие ролики,
установленные над испарителем симметрично
относительно вертикали. Верхние направл ющие
ролики
выполнены
в
виде
охлаждаемых
цилиндров. В зоне конденсации установлены
вращающиес барабаны, выполненные в виде
охлаждаемых цилиндров, вокруг нижней части
которых размещены основные направл ющие
ролики.
Основные
направл ющие
ролики
установлены с возможностью прохождени между
ними отрезков ленты с образованием угла 0-30°
между пр мой, соедин ющей центр испарител с
любой точкой отрезка ленты, и нормалью к точке
отрезка ленты, и с возможностью прохождени отрезка между верхним направл ющим роликом и
основным
направл ющим
роликом,
расположенным
выше
других
основных
направл ющих роликов с образованием угла
55ч80°. Устройство по второму варианту содержит
неподвижные барабаны, установленные в зоне
конденсации и выполненные в виде охлаждаемых
цилиндров, вокруг цилиндрической части которых
размещены основные направл ющие ролики,
установленные во вращающихс сепараторах.
Технический результат - максимальна открыта пористость, хороша адгези покрыти к ленте,
предотвращение складкообразовани ленты. 2 н. и
2 з.п. ф-лы, 3 ил.
Страница: 1
RU
C 2
C 2
(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ПОРИСТЫХ ПОКРЫТИЙ НА ЛЕНТУ (ВАРИАНТЫ)
2 3 3 7 1 7 9
(56) Список документов, цитированных в отчете о
поиске: RU 2087588 С1, 20.08.1997. RU 2153025
С1, 20.07.2000. SU 323469 А, 10.07.1971. JP
63-114962 А, 19.05.1988. US 4546725 А,
15.10.1985. JP 06-010130 А, 18.01.1994.
R U
(73) Патентообладатель(и):
Мисожников Лев Викторович (RU)
(45) Опубликовано: 27.10.2008 Бюл. № 30
C 2
C 2
2 3 3 7 1 7 9
2 3 3 7 1 7 9
R U
R U
Страница: 2
RUSSIAN FEDERATION
(19)
RU
(11)
2 337 179
(13)
C2
(51) Int. Cl.
C23C 14/54
C23C 14/24
(2006.01)
(2006.01)
FEDERAL SERVICE
FOR INTELLECTUAL PROPERTY,
PATENTS AND TRADEMARKS
(12)
ABSTRACT OF INVENTION
(21), (22) Application: 2006139373/02, 09.11.2006
(72) Inventor(s):
Jurkevich Igor' Nikolaevich (UA),
Koshelevskij Viktor Fadeevich (UA),
Misozhnikov Lev Viktorovich (RU),
Geval Jurij Nikolaevich (RU)
(24) Effective date for property rights: 09.11.2006
(43) Application published: 20.05.2008
(73) Proprietor(s):
Misozhnikov Lev Viktorovich (RU)
Mail address:
119270, Moskva, Frunzenskaja nab., 38/1,
kv.136, pat.pov. V.V.Kovalenko
C 2
2 3 3 7 1 7 9
R U
EFFECT: maximum porosity, higher adhesion and
no tape folding.
4 cl, 3 dwg
Страница: 3
EN
C 2
(57) Abstract:
FIELD: mechanics.
SUBSTANCE: device incorporates a vacuum
chamber,
an
evaporator,
a
reel-on/reel-out
shafts, upper and main guide rollers and
deflecting rollers arranged above the evaporator
in symmetry with the vertical. The upper guide
rollers represent cooled cylinders. The rotary
drums,
representing
cooled
cylinders,
are
arranged in the condensation zone. The main guide
rollers are arranged around the lower part of the
aforesaid rotary drums so as to allow the tape
sections to pass there between and to make the
angle of 0 to 30° between the straight line
connecting the evaporator center with any point
of the said tape section and the normal to the
tape section point, and to allow the tape section
to pass between the upper guide roller and the
main guide roller located above the other main
guide rollers making the angle of 55 to 80°. In
compliance with the other version, the device
incorporates
fixed
drums
arranged
in
the
condensation
zone
and
representing
cooled
cylinders with the main guide rollers running in
rotary
separators
and
fitted
along
the
cylindrical section of the said cooled drum.
2 3 3 7 1 7 9
(54) DEVICE TO APPLY POROUS COATS ONTO TAPES (VERSIONS)
R U
(45) Date of publication: 27.10.2008 Bull. 30
RU 2 337 179 C2
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
Изобретение относитс к устройствам дл нанесени покрытий на рулонные материалы
и может быть использовано в различных област х, например при производстве
электронных компонентов, магнитных носителей записывающих устройств, декоративных
покрытий и т.д.
Известно устройство дл напылени пористых покрытий на ленту, патент DD 205192,
С23С 13/10, содержащее испаритель, направл ющие и отклон ющие ролики, выполненные
в виде охлаждаемых цилиндров и размещенные над испарителем таким образом, что
огибающа их лента образует ломаную линию, включающую отрезки напылени между
направл ющими роликами.
Это устройство позвол ет получить пористое покрытие на ленте, однако наклонна конденсаци испар емого материала на ленту не обеспечивает прочной св зи между
частицами в покрытии, так как адсорбированные на ленте воздух, примеси и загр знени ,
теневой эффект, недостаточна дл термической активации температура и другие
факторы, характерные дл осаждени покрыти под острым углом на подложку, ослабл ют
процессы активации и химического взаимодействи , необходимые дл установлени прочных химических св зей между атомами. Кроме того, на отрезках между нижними
роликами холодна лента попадает в зону высокой температуры, где происходит ее
интенсивный разогрев. При этом свободному линейному расширению ленты вдоль
направл ющих роликов под действием температурной нагрузки преп тствуют
значительные силы трени между лентой и роликами, определ емые поверхностью охвата
роликов лентой, повышенным коэффициентом трени в вакууме и нат жением ленты при
перемотке, что приводит к образованию складок на ленте.
Наиболее близким к предлагаемому изобретению вл етс устройство дл напылени пористых покрытий на ленту, патент RU 2087588, С23С 14/56, содержащее вакуумную
камеру, испаритель, верхние и нижние направл ющие и отклон ющие ролики дл транспортировани ленты, выполненные в виде охлаждаемых цилиндров и установленные
над испарителем с возможностью огибани лентой роликов по ломаной линии с отрезками
ленты между направл ющими роликами, при этом верхние направл ющие ролики
размещены с возможностью прохождени между ними отрезков ленты в направлении,
обеспечивающем образование угла между пр мой, соедин ющей центр испарител с
любой точкой любого из этих отрезков ленты, и нормалью к отрезку в этой точке 40°-60°,
а нижние направл ющие ролики установлены над испарителем с возможностью
прохождени отрезков ленты между ними в направлении, обеспечивающем образование
угла между пр мой, соедин ющей центр испарител с любой точкой любого из этих
отрезков, и нормалью к отрезку в этой точке до 10°. При этом нижние направл ющие
ролики выполнены с пазами шевронной формы на цилиндрической поверхности роликов.
В данном устройстве дл преодолени сил трени между лентой и роликами,
определ емых поверхностью охвата роликов лентой и повышенным коэффициентом
трени в вакууме, и устранени образовани складок используютс ролики с шевронными
пазами на цилиндрической поверхности, позвол ющие разглаживать ленту от середины к
кра м за счет составл ющих силы нат жени ленты при ее перемотке, направленных от
центра шеврона к периферии.
Дл более эффективного разглаживани ленты необходимо увеличивать усилие
нат жени , а это при значительном разогреве ленты приводит к внутренним деформаци м,
а также к западанию ленты в шевронные пазы, и, соответственно, к перет жкам, вм тинам
и образованию рисок (следов от пазов), что приводит к нарушению оксидного сло и
ухудшению удельных характеристик ленты.
Технической задачей, на решение которой направлено изобретение, вл етс напыление пористых покрытий на ленту с максимально открытой пористостью и хорошей
адгезией пористого покрыти с лентой, предотвращение складкообразовани на ленте и
предотвращение деформаций, перет жек и внешних повреждений напыленного пористого
покрыти на ленте.
Поставленна задача решаетс за счет того, что в устройстве дл напылени пористых
Страница: 4
DE
RU 2 337 179 C2
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
покрытий на ленту, содержащем вакуумную камеру, испаритель, валы размотки и намотки,
верхние и основные направл ющие ролики и отклон ющие ролики, установленные над
испарителем с возможностью огибани лентой роликов по ломаной линии с образованием
парных отрезков ленты между направл ющими роликами, причем парные отрезки ленты
между направл ющими роликами расположены симметрично относительно вертикали,
проведенной из центра испарител , при этом верхние направл ющие ролики выполнены в
виде охлаждаемых цилиндров, в зону конденсации дополнительно установлены
вращающиес барабаны, выполненные в виде охлаждаемых цилиндров, вокруг нижней
цилиндрической части которых размещены основные направл ющие ролики, наход щиес с ним в кинематической св зи, при этом основные направл ющие ролики установлены с
возможностью прохождени между ними отрезков ленты с образованием угла между
пр мой, соедин ющей центр испарител с любой точкой этих отрезков ленты, и нормалью к
этой точке отрезка ленты, равного 0ч30°, и с возможностью прохождени между верхним
направл ющим роликом и расположенным выше всех по отношению к испарителю
основным направл ющим роликом отрезка ленты с образованием угла между пр мой,
соедин ющей центр испарител с любой точкой этого отрезка ленты, и нормалью к этой
точке отрезка ленты, равного 55ч80°.
При этом основные направл ющие ролики могут иметь разный диаметр.
Выше сказанное описывает вариант 1 выполнени устройства.
В варианте 2 в устройстве дл напылени пористых покрытий на ленту, содержащем
вакуумную камеру, испаритель, валы размотки и намотки, верхние и основные
направл ющие ролики и отклон ющие ролики, установленные над испарителем с
возможностью огибани лентой роликов по ломаной линии с образованием парных
отрезков ленты между направл ющими роликами, причем парные отрезки ленты между
направл ющими роликами расположены симметрично относительно вертикали,
проведенной из центра испарител , при этом верхние направл ющие ролики выполнены в
виде охлаждаемых цилиндров, в зону конденсации дополнительно установлены
неподвижные барабаны, выполненные в виде охлаждаемых цилиндров, вокруг всей
цилиндрической части которых размещены основные направл ющие ролики,
установленные во вращающихс сепараторах, причем эти ролики наход тс с барабаном в
кинематической св зи, при этом основные направл ющие ролики установлены с
возможностью прохождени между ними отрезков ленты с образованием угла между
пр мой, соедин ющей центр испарител с любой точкой этих отрезков ленты, и нормалью к
этой точке отрезка ленты, равного 0ч30°, с возможностью прохождени между верхним
направл ющим роликом и расположенным в зоне напылени выше всех по отношению к
испарителю основным направл ющим роликом отрезка ленты с образованием угла между
пр мой, соедин ющей центр испарител с любой точкой этого отрезка ленты, и нормалью к
этой точке отрезка ленты, равного 55ч80°.
Кроме того, неподвижные охлаждаемые барабаны с роликами могут быть размещены
таким образом, что они образуют отрезки ленты с возможностью нанесени разнонаправленной структуры напылени .
На фиг.1 представлено устройство дл напылени пористых покрытий на ленту (вариант
1), на фиг.2 представлено устройство дл напылени пористых покрытий на ленту
(вариант 2), на фиг.3 представлено устройство дл напылени пористых покрытий на
ленту (вариант 2) с возможностью напылени разнонаправленной структуры напылени .
Устройство дл напылени пористых покрытий на ленту содержит вакуумную камеру (на
фигуре не показана), испаритель 1, вал размотки 2, на котором размещен рулон ленты 3,
барабаны 4, основные направл ющие ролики 5, верхние направл ющие ролики 6, а также
отклон ющие ролики 7 и вал намотки 8, на котором закреплен конец ленты 3. Кроме того,
в устройстве имеютс нижний 9 и верхний 10 защитные экраны, ограничивающие снизу и
сверху зону напылени .
Барабаны 4 и верхние направл ющие ролики 6 выполнены в виде охлаждаемых
цилиндров.
Страница: 5
RU 2 337 179 C2
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
В варианте 1 барабаны 4 выполнены с возможностью вращени вокруг своей оси.
Основные направл ющие ролики 5 выполнены гладкими, размещены вокруг нижней
цилиндрической части барабанов 4 и наход тс с ними в кинематической св зи, име минимальный контакт по линии касани .
Основные направл ющие ролики 5 могут иметь разный диаметр.
Основные направл ющие ролики 5 и верхние направл ющие ролики 6 расположены
таким образом, что парные отрезки ленты 3, расположенные между ними, ограничивают
собой зону напылени . При этом зона напылени вл етс симметричной относительно
вертикальной оси, проведенной из центра испарител 1.
Основные направл ющие ролики 5 расположены таким образом, что между пр мой,
проведенной из цента испарител 1 к любой точке отрезков ленты 3, расположенных между
этими роликами в зоне напылени , и нормалью, проведенной к этой точке, образуетс угол ?=0ч30°.
Одновременно основные направл ющие ролики 5, расположенные выше всех по
отношению к испарителю 1, и верхние направл ющие ролики 6 размещены так, что между
пр мой, проведенной из цента испарител 1 к любой точке отрезков ленты 3,
расположенных между этими роликами в зоне напылени , и нормалью, проведенной к этой
точке, образуетс угол ?=55ч80°.
В варианте 2 барабаны 4 выполнены неподвижными.
Основные направл ющие ролики 5 установлены в сепараторы 11 и размещены вокруг
всей цилиндрической части барабанов 4 и наход тс с ними в кинематической св зи.
Основные направл ющие ролики 5 и верхние направл ющие ролики 6 расположены
таким образом, что парные отрезки ленты 3, расположенные между ними, ограничивают
собой зону напылени . При этом зона напылени вл етс симметричной относительно
вертикальной оси, проведенной из центра испарител 1.
Основные направл ющие ролики 5 расположены таким образом, что между пр мой,
проведенной из цента испарител 1 к любой точке отрезков ленты 3, расположенных между
этими роликами в зоне напылени , и нормалью, проведенной к этой точке, образуетс угол ?=0ч30°.
Одновременно основные направл ющие ролики 5, расположенные в зоне напылени выше всех по отношению к испарителю 1, и верхние направл ющие ролики 6 размещены
так, что между пр мой, проведенной из цента испарител 1 к любой точке отрезков ленты
3, расположенных между этими роликами в зоне напылени , и нормалью, проведенной к
этой точке, образуетс угол ? =55ч80°.
Возможно размещение нескольких неподвижных баранов 4 с расположенными вокруг
них основными направл ющими роликами 5. При этом количество таких барабанов 4 и их
расположение выбираетс таким образом, чтобы обеспечивалась возможность
образовани отрезков ленты 3 с возможностью нанесени разнонаправленной структуры
напылени .
В варианте 1 устройство дл напылени пористых покрытий на ленту работает
следующим образом.
В вакуумной камере (не показана) испаритель 1 под действием нагрева, например,
электронно-лучевого генерирует поток металлического пара, распростран ющегос по
объему зоны напылени над испарителем 1.
Лента 3 непрерывно перемещаетс , начина движение с вала размотки 2, проходит по
двум отклон ющим роликам 7 и, огиба первый из основных направл ющих роликов 5,
попадает в зону напылени . Затем, последовательно огиба остальные основные
направл ющие ролики 5, расположенные вокруг первого вращающегос барабана 4, и
верхний направл ющий ролик 6, выходит из зоны напылени . После чего лента 3,
поочередно проход еще один верхний направл ющий ролик 6, п ть отклон ющих ролика
7, как бы переворачиваетс и, огиба первый основной направл ющий ролик 5,
расположенный вокруг второго вращающегос барабана 4, снова оказываетс в зоне
напылени , но противоположной своей стороной. Затем, последовательно огиба Страница: 6
RU 2 337 179 C2
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
остальные основные направл ющие ролики 5, расположенные вокруг второго
вращающегос барабана 4, и верхний направл ющий ролик 6, выходит из зоны напылени и, огиба еще один верхний направл ющий ролик 6, наматываетс на вал намотки 8.
Конденсаци металлического пара в зоне напылени происходит следующим образом.
На отрезках ленты 3, расположенных между основными направл ющими роликами 5,
осаждение металлического пара происходит под углом ?=0ч30° к нормали в точке
напылени . Здесь происходит формирование адгезионного подсло .
На отрезках ленты 3 между расположенным выше всех по отношению к испарителю 1
основным направл ющим роликом 5 и верхним направл ющим роликом 6 осаждение
металлического пара происходит под углом ?=55ч80° к нормали в точке напылени . На
этих участках последовательно наноситс высокопористых слой покрыти .
Дл интенсивного процесса напылени покрытий в вакууме требуетс повышение
скорости перемещени ленты 3, а увеличение толщины сло наносимого покрыти возможно только за счет увеличени интенсивности парового потока и увеличени зоны
конденсации.
Возможно применение основных направл ющих роликов 5 разного диаметра, что
позвол ет, не измен линейную скорость, мен ть траекторию движени ленты 3 и
удлинить зону напылени .
Увеличение интенсивности парового потока и увеличение зоны напылени вызывает
повышение температуры напыл емого объекта. Кроме того, осаждение тугоплавких
металлов, повышенна энерги осаждающихс атомов также резко повышает
теплоперенос на ленту 3. Дл этого необходим интенсивный и равномерный теплосъем с
подложки, исключающий локальный перегрев, который приводит к деформации ленты 3. В
то же врем необходимо поддерживать температуру ленты 3 в узком интервале с целью
обеспечени заданных физико-механических свойств покрыти . Уровень допустимых
температур небезграничен. При нанесении металла на металлическую ленту 3 пределом
вл етс либо температура фазового перехода материала ленты, либо температура
образовани интерметаллида. Таким образом, при нанесении покрытий в вакууме
актуальным вл етс вопрос о повышении эффективности охлаждени ленты 3.
Охлаждение ленты 3 осуществл етс за счет теплопередачи от гор чей ленты 3 к
основным направл ющим роликам 5, а затем от них к вращающимс охлаждаемым
барабанам 4. Так как лента 3 имеет малый угол охвата с основными направл ющими
роликами 5, которые, в свою очередь, имеют минимальный контакт с барабанами 4, то
происходит только частичный отбор тепла, достаточный, чтобы предохранить ленту 3 от
перегрева, и позвол ющий ей сохран ть необходимое количество тепла, исключающее
тепловые удары, мгновенные удлинени и деформации.
Процесс нанесени покрыти на ленту 3 продолжаетс непрерывно до тех пор, пока на
валу размотки 2 имеетс лента 3.
Выполнение основных направл ющих роликов 5 гладкими позвол ет использовать
реверс при перемотке ленты и, таким образом, напыл ть несколько слоев покрыти без
открыти вакуумной камеры (не показана).
В варианте 2 устройство дл напылени пористых покрытий на ленту работает
следующим образом.
В вакуумной камере (не показана) испаритель 1 под действием нагрева, например,
электронно-лучевого генерирует поток металлического пара, распростран ющегос по
объему зоны напылени над испарителем 1.
Лента 3 непрерывно перемещаетс , начина движение с вала размотки 2, проходит по
отклон ющему ролику 7 и, начина огибать сепаратор 11 с основными направл ющими
роликами 5, попадает в зону напылени . Затем, последовательно огиба остальную часть
сепаратора 11 с основными направл ющими роликами 5, расположенными вокруг первого
неподвижного барабана 4, и верхний направл ющий ролик 6, выходит из зоны напылени .
После чего лента 3, поочередно проход еще один верхний направл ющий ролик 6, четыре
отклон ющих ролика 7, как бы переворачиваетс и, начина огибать сепаратор 11 с
Страница: 7
RU 2 337 179 C2
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
основными направл ющими роликами 5, расположенными вокруг второго неподвижного
барабана 4, снова оказываетс в зоне напылени , но противоположной своей стороной.
Затем, последовательно огиба остальную часть сепаратора 11 с основными
направл ющими роликами 5, расположенными вокруг второго неподвижного барабана 4, и
верхний направл ющий ролик 6, выходит из зоны напылени и, огиба еще один верхний
направл ющий ролик 6, наматываетс на вал намотки 8.
Конденсаци металлического пара в зоне напылени происходит следующим образом.
На отрезках ленты 3, расположенных между основными направл ющими роликами 5,
осаждение металлического пара происходит под углом ?=0ч30° к нормали в точке
напылени . Здесь происходит формирование адгезионного подсло .
На отрезках ленты 3 между расположенным в зоне напылени выше всех по отношению
к испарителю 1 основным направл ющим роликом 5 и верхним направл ющим роликом 6
осаждение металлического пара происходит под углом ?=55ч80° к нормали в точке
напылени . На этих участках последовательно наноситс высокопористых слой покрыти .
Охлаждение ленты 3 осуществл етс за счет теплопередачи от гор чей ленты 3 к
основным направл ющим роликам 5, а затем от них к неподвижным охлаждаемым
барабанам 4. Так как лента 3 имеет малый угол охвата с основными направл ющими
роликами 5, которые, в свою очередь, имеют минимальный контакт с барабанами 4, то
происходит только частичный отбор тепла, достаточный, чтобы предохранить ленту 3 от
перегрева, и позвол ющий ей сохран ть необходимое количество тепла, исключающее
тепловые удары, мгновенные удлинени и деформации.
Основные направл ющие ролики 5 расположены вокруг всей цилиндрической
поверхности барабанов 4 на небольшом рассто нии друг от друга, образу короткие
отрезки ленты 3, морщины на ленте не успевают сформироватьс , что исключает
складкообразование. На отрезках ленты 3 между расположенным в зоне напылени выше
всех по отношению к испарителю 1 основным направл ющим роликом 5 и верхним
направл ющим роликом 6 происходит более интенсивное охлаждение, и
складкообразование не происходит благодар тому, что лента 3 получила дополнительную
жесткость при напылении на отрезках ленты 3, расположенных между основными
направл ющими роликами 5, и интенсивность осаждени пара меньше.
Процесс нанесени покрыти на ленту 3 продолжаетс непрерывно до тех пор, пока на
валу размотки 2 имеетс лента 3.
Возможно размещение в зоне напылени больше двух неподвижных охлаждаемых
барабанов 4 с размещенными вокруг их цилиндрической части основными направл ющими
роликами 5, установленные во вращающихс сепараторах 11. При этом барабаны 4 с
основными направл ющими роликами 5 размещены так, что они образуют отрезки ленты 3
с возможностью нанесени разнонаправленной структуры из выт нутых кристаллитов и
дендритов, разделенных порами в виде разветвленной сети каналов с преимущественно
открытым выходом наружу.
На получение поверхности пористого покрыти на ленте 3 за счет формировани столбчатой структуры с максимально открытой пористостью и хорошей адгезией покрыти к
ленте 3 вли ет конструктивное размещение направл ющих роликов 5 и 6 над испарителем
1 и вокруг барабанов 4, обеспечивающее движение ленты 3 по ломаной траектории с
образованием углов ?, ?.
Использование охлаждаемых барабанов 4 и охлаждаемых верхних направл ющих
роликов позвол ет решить проблему передачи тепла с ленты 3.
Предложенные два варианта устройства позвол ют решить проблему изменени величины зазора между лентой 3 и охлаждаемыми барабанами 4. На величине зазора
сказываютс локальные деформации ленты 3 (перет жки, краевой эффект, перегрев).
Особенно это отражаетс на ленте 3 шириной более 150 мм, и сли ние этих факторов
усиливаетс с увеличением ширины ленты 3 и угла охвата барабана 4 лентой 3.
В варианте 1 основные направл ющие ролики 5 размещены вокруг нижней
цилиндрической части вращающегос барабана 4 и наход тс с ним в кинематической
Страница: 8
RU 2 337 179 C2
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
св зи, что способствует улучшению условий транспортировани ленты 3, так как лента 3
катитс по основным направл ющим роликам 5, а не перемещаетс вместе с обечайкой
этих роликов 5, что исключает складкообразование.
В варианте 2 основные направл ющие ролики 5 расположены вокруг всей
цилиндрической поверхности барабанов 4 на небольшом рассто нии друг от друга, образу короткие отрезки ленты 3, морщины на ленте не успевают сформироватьс , что также
исключает складкообразование.
В обоих вариантах выполнени устройства дл напылени пористых покрытий на ленту
могут быть расширены технологические возможности.
В варианте 1 это происходит использованием гладких основных направл ющих роликов
5 в то врем , как в прототипе были применены ролики с шевронными пазами. Выполнение
основных направл ющих роликов 5 гладкими позвол ет использовать реверс при
перемотке ленты и, таким образом, напыл ть несколько слоев покрыти без открыти вакуумной камеры (на фиг. не показана). Кроме того, возможность использовани основных направл ющих роликов 5 разного диаметра позвол ет, не измен линейную
скорость, мен ть траекторию движени ленты 3 и удлинить зону напылени .
В варианте 2 расширение технологических возможностей происходит за счет
возможности размещени в зоне напылени больше двух неподвижных охлаждаемых
барабанов 4 с размещенными вокруг их цилиндрической части основными направл ющими
роликами 5, установленные во вращающихс сепараторах 11. При этом барабаны 4 с
основными направл ющими роликами 5 размещены так, что они образуют отрезки ленты 3
с возможностью нанесени разнонаправленной структуры напылени .
Все выше сказанное указывает на то, что техническа задача - создание устройства
дл нанесени пористых покрытий, обеспечивающего напыление пористых покрытий на
ленту с максимально открытой пористостью и хорошей адгезией пористого покрыти с
лентой, предотвращение складкообразовани на ленте и предотвращение деформаций,
перет жек и внешних повреждений напыленного пористого покрыти на ленте - решена.
Формула изобретени 1. Устройство дл напылени пористых покрытий на ленту, содержащее вакуумную
камеру, испаритель, валы размотки и намотки, верхние и основные направл ющие ролики
и отклон ющие ролики, установленные над испарителем и выполненные с возможностью
огибани лентой роликов по ломаной линии с образованием парных отрезков ленты между
направл ющими роликами и симметричного расположени относительно вертикали,
проведенной из центра испарител , парных отрезков ленты между направл ющими
роликами, при этом верхние направл ющие ролики выполнены в виде охлаждаемых
цилиндров, отличающеес тем, что оно дополнительно содержит вращающиес барабаны,
установленные в зоне конденсации, выполненные в виде охлаждаемых цилиндров, вокруг
нижней цилиндрической части которых размещены основные направл ющие ролики,
наход щиес с ним в кинематической св зи, при этом основные направл ющие ролики
установлены с возможностью прохождени между ними отрезков ленты с образованием
угла 0-30° между пр мой, соедин ющей центр испарител с любой точкой указанных
отрезков ленты и нормалью к упом нутой точке отрезка ленты, и с возможностью
прохождени отрезка ленты между верхним направл ющим роликом и основным
направл ющим роликом, расположенным выше других основных направл ющих роликов по
отношению к испарителю с образованием угла 55ч80° между пр мой, соедин ющей центр
испарител с любой точкой указанного отрезка ленты, и нормалью к упом нутой точке
отрезка ленты.
2. Устройство по п.1, отличающеес тем, что основные направл ющие ролики имеют
разный диаметр.
3. Устройство дл напылени пористых покрытий на ленту, содержащее вакуумную
камеру, испаритель, валы размотки и намотки, верхние и основные направл ющие ролики
и отклон ющие ролики, установленные над испарителем и выполненные с возможностью
Страница: 9
CL
RU 2 337 179 C2
5
10
15
20
огибани лентой роликов по ломаной линии с образованием парных отрезков ленты между
направл ющими роликами, и симметричного расположени относительно вертикали,
проведенной из центра испарител , парных отрезков ленты между направл ющими
роликами, при этом верхние направл ющие ролики выполнены в виде охлаждаемых
цилиндров, отличающеес тем, что оно дополнительно содержит неподвижные барабаны,
установленные в зоне конденсации и выполненные в виде охлаждаемых цилиндров, вокруг
цилиндрической части которых размещены основные направл ющие ролики,
установленные во вращающихс сепараторах, при этом основные направл ющие ролики
наход тс с барабаном в кинематической св зи и установлены с возможностью
прохождени между ними отрезков ленты с образованием угла 0ч30° между пр мой,
соедин ющей центр испарител с любой точкой указанных отрезков ленты, и нормалью к
упом нутой точке отрезка ленты, с возможностью прохождени отрезка ленты между
верхним направл ющим роликом и основным направл ющим роликом, расположенным в
зоне напылени выше других основных направл ющих роликов по отношению к
испарителю с образованием угла 55ч80° между пр мой, соедин ющей центр испарител с
любой точкой указанного отрезка ленты, и нормалью к упом нутой точке отрезка ленты.
4. Устройство по п.3, отличающеес тем, что оно снабжено охлаждаемыми барабанами,
установленными в зоне конденсации, при этом вокруг их цилиндрической части размещены
основные направл ющие, установленные во вращающихс сепараторах, причем указанные
ролики наход тс с барабаном в кинематической св зи, а барабаны с роликами размещены
с возможностью нанесени покрыти с разнонаправленной структурой на отрезки ленты.
25
30
35
40
45
50
Страница: 10
RU 2 337 179 C2
Страница: 11
DR
RU 2 337 179 C2
Страница: 12
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
303 Кб
Теги
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа