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Патент РФ 2431881

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(19)
RU
(11)
2 431 881
(13)
C1
(51) ???
G03G 15/00
(2006.01)
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(12) ????????
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(21)(22) ??????: 2010116507/28, 26.04.2010
(24) ???? ?????? ??????? ????? ???????? ???????:
26.04.2010
(45) ????????????: 20.10.2011 ???. ? 29
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2 4 3 1 8 8 1
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Стр.: 1
ru
C 1
C 1
(54) ?????? ???????????? LIGA-???????
2 4 3 1 8 8 1
(56) ?????? ??????????, ???????????? ? ?????? ?
??????: RU 2350995 ?2, 27.03.2009. RU 2350996 C1,
27.03.2009. US 7608367 B1, 27.10.2009. US
6482553 B1, 19.11.2002.
(73) ?????????????????(?):
?????????? ?????????? ???????? ????
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R U
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(22) ???? ?????? ??????: 26.04.2010
(72) ?????(?):
???????? ????????? ?????????? (RU),
????????? ????????? ?????????? (RU),
?????????? ???????? ???????? (RU)
RUSSIAN FEDERATION
(19)
RU
(11)
2 431 881
(13)
C1
(51) Int. Cl.
G03G 15/00
(2006.01)
FEDERAL SERVICE
FOR INTELLECTUAL PROPERTY,
PATENTS AND TRADEMARKS
(12) ABSTRACT
OF INVENTION
(72) Inventor(s):
Gentselev Aleksandr Nikolaevich (RU),
Zelinskij Aleksandr Georgievich (RU),
Kondrat'ev Vladimir Ivanovich (RU)
(21)(22) Application: 2010116507/28, 26.04.2010
(24) Effective date for property rights:
26.04.2010
(73) Proprietor(s):
Uchrezhdenie Rossijskoj akademii nauk Institut
jadernoj fiziki im. G.I. Budkera Sibirskogo
otdelenija RAN (IJaF SO RAN) (RU)
(45) Date of publication: 20.10.2011 Bull. 29
template.
EFFECT: high contrast and radiotransparency of
the LIGA template.
2 cl, 5 dwg
R U
2 4 3 1 8 8 1
(57) Abstract:
FIELD: physics.
SUBSTANCE: method of making a LIGA
template characterised by that the initial substrate
is a disc formed from composite radiotransparent
material whose central part contains a metal plate
which is either made from material which is more
radiotransparent than the composite material (e.g.
beryllium) or is completely removed using chemical
methods at the last step of making the LIGA
C 1
C 1
(54) METHOD OF MAKING LIGA TEMPLATE
Стр.: 2
en
2 4 3 1 8 8 1
Mail address:
630090, g.Novosibirsk, pr. Akademika Lavrent'eva,
11, IJaF SO RAN, ONIO
R U
Priority:
(22) Date of filing: 26.04.2010
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?????????? ?????????????? ?????? ?????????????? ????????? ?? 1991-1992 ?. / ??-?
??????? ?????? ??. ??????? ?? ???. - ???????????, 1993, ?.229-231. ?????????
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Стр.: 3
DE
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????????????? ????????? ????????? [??? ???????? ? ?????? ??????? ?.?.,
??????????? ?.?., ?????????? ?.?., ????????? ?.?., ???????? ?.?., ???????? ?.?.,
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?????????? ????????????. 2007 ?., ?6, ?.1-6], ????? ???????? ???????????
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? ???????? ????????? ?????? ?????? ???????????? ????????????????? LIGA???????, ????????? ? ?????? ??????? ?.?., ??????????? ?.?., ?????????? ?.?.,
????????? ?.?., ???????? ?.?., ???????? ?.?., ??????? B.C., ??? ?.?. ????????
??????????????? ?? ??????? ???????? ??? ???????? ????????????? ??????????. ???????????. ?????????????, ????????????? ? ?????????? ????????????. 2007 ?., ?6,
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???????? 500ч700 ???. ????????? ????? ????????? ?????????? ??? ??????????? ??
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??????? ??? ?? ????? ???????? ??????, ? ?? ????????? ???????????? ???????? ?
????? ????????????????. ?????????? ??? ????????????? ???????-??????? LIGA?????? ???????????? ????????? ?? ???.2, ??? ?? ??????? ??????????? ???????
???????? 1, ? ???????? ??????? ???????????? ???????????????? ?????????, ??????
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??????? ? ??????? ??????? ???????.
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???????? ????? 2 ?? ??????????????? ???????? ???????? ? ????????? ??????
(???????? ~ 500 ???) ?????????????????? ?????????);
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???????? ??????????? ??????????? ?????????????????? ?????????) ?????????
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??????????? ?????????????? ???????, ????????, ??????????????? ???????????
??????????? ????? ????????????????? ????????? ??????? ??????????? «????????»
??????, ????? ???????? ???????? ??????????????? ??????????, ? ????? ??????????
???????? ?????????? ??????? ? ??? ??????????? ?????????;
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- ???????????? ????????????????? ????????? ???????????????????? ???????
(????? ??????????? ????? ???????? ?????????????? ????????? ?? ???????
??????????? ???????????????? ????????? ??????????????????? - «????????» ???????
(??????, ?????, ????????? ? ?.?.) ???????? ~ 20 ???);
- ????????? ??????????? ????? (???????????? ???????? ? ??????? ???????????
???????????????? ????????? ???????? ???????).
??????????? ????????? ???????? ?????????? ??????? ??????? ????????????????
??????? ????????? ?? ????????? ? LIGA-?????????, ???????? ????????? ???????
????????, ??? ???????? ? ????????????? ?????????? ? ??? ?????? ?? ?
?????????? ? ???????? ??????? ??????????? ????? ?? ? ????? «???????» ???????, ?
???????? ????????????? ???????, ? ????? ? ?????????? ??????? ??????????????.
????????????? ????? ?????? ??????? ????????? ???????? ? ????????? ???
?????????? ?? ?? ???????????????? ???????? ? ??????????? ??????????
???????????? ????????????, ??????????? ?????????? ?? ?????????????
???????????? ?????????, ??? ??????? ??????? ????????? ?????????? ? ????????????
?????????????????? ?????????????? ? ????????.
???????????? ??????????? LIGA-??????? ???????????? ????? ????????????
?????? (???????? ~ 50ч150 ???) ?????????????????? ??????? ????????,
??????????? ?? ?????????? ???????????? ????????? (????????, ?? ?????????,
?????????? ?? ?????? ??????????? ??????? ??????? (??????? 10ч20 ???),
??????????? ????? ????? ????? ?? ?????? ?????????? ?????, ? ????? ?? ??????
?????????? ??????????????), ? ??????? ??????????? ??????? ?????? ???????
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??????? (???????? ?20 ???). ? ???????????? ????????? ?? ??????
??????????? LIGA-??????? ???????????? ???????????? ??????? ?????? ??? ???
?????????????, ??? ? ??? ????????????????????.
???????????? ?????? ???????????? LIGA-??????? ?? ?????????? ????????????
????????? ???????? ????????? ?????????????????? ???????? ????????, ? ??????:
- ???????????? ??????? ?????????? ?? ????????? ???????????????????
???????????? ????????? ????????? ???????? ? ?????????????? ? ?????? ??? ??????,
? ?????? ???????? ?? ????? ??????????????????? ?????????, ??? ???????????,
???????? ???????? (Be); ?? ?????? ???????? ?? ?????? ?????????, ???????????????
??? ??????????? ???????? ?? ????????? ????? ???????????? LIGA-???????, ????????
?? ???????? (?l);
- ????????? ????????? ???????? ???????? ???????? ? ????????? ?? ???????
??????????? ?? ???????? ??????? ? ????????? ??????? ???????????????????? ?
?????????????, ????????? ?? ??????? ??????????? ????????? ???????? ??????????
????????????????? ????????;
- ????????? ?? ??????? ??????????? ????????? ???????? ???? ??????????????? ?
???????????? ??????? ?????????????????? ??????????? ????? (???????? ?25 ???);
- ?????????????? ????????? ???????????????????? ??????? (???????? ?20 ???);
- ???????? ?????????? ??????????? ????? ? ?????????????? ??????????? ?????
(??? ????????????? ??????? ????????) ????? ?? ??????????? ???????????? ?????????.
?? ???.3 ???????????? ???????????? ??????????? LIGA-????????, ?????????????
?? ??????? (???.3? ? ???.3?) ? ??????? (???.3?) ????????? ??????????? ???????.
????? ?? ????? ?????????????????? ??????????, ??? ???????? ???????????,
????? ???? ???????????? ? ???? ???, ??? ?? (??????????? ????????) ????? ????????
?? ?? ???? ?????? (??. ???.3?), ???????? ??? ????? ?? ?????????????? ? ??????????
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??????, ???????? ? ??????????? ??????.
?? ???.1 ????????? ??????????? ??????????? ?????????????? ????????-????????
??????????? LIGA-???????, ??????? ???????? ??????? ???????? 1 ? ???? ??????
?????? ???????, ????????????? ?????; ??????????? ?? ?????? ???????? 2
???????????????????? ???????; ?????????? ??????? ?????? 3.
?? ???.2 ????????? ??????????? ??????????? ?????????????? ?????????????????? ????????????????? LIGA-???????, ??????? ???????? ???????
???????? 1 ? ???? ???????????????? ?????????, ?? ??????? ??????????? ???????
?????? ??????? ???????????? ???????? 2 ???????????????????? ???????.
?? ???.3? ? ?? ???.3? ????????? ??????????? ??????????? ??????????????
?????????? ???????? (??????? 1) LIGA-???????, ??????????? ????????? ???????
???????? 1, ????????? ?? ?????, ???????????? ?? ????????? ???????????????????
???????????? ?????????, ? ?????????????? ? ???? ?? ?????? ????? 4 ?? ?????
???????????????????, ??? ???????????, ?????????; ?????????????? ?? ???????
??????????? ???????? ???????? 2 ??????????????? ????????????????????
???????, ?????????? ??????????????? ? ?????????????? ??????????? ?? ???????
??????????? ??????????? ?????????????????? ??????? 5.
?? ???.3? ????????? ??????????? ??????????? ?????????????? ??????????
???????? (??????? 2) LIGA-???????, ??????????? ??????? ???????? 1 ? ????
??????? (???????? 50ч100 ???) ???? ????????? ??????????????????? ????????????
?????????; ?????????????? ?? ?? ??????????? ???????? 2 ???????????????
???????????????????? ???????; ??????????? ?? ????????? ???????????? ?????????
??????? ?????? 3; ?????????? ?? ??????? ??????????? ???????? ??????????
????????????????? ??????? 5.
????? ???????? ??????????? ??????? ????????????? ??????? ???????????? LIGA???????, ?? ??????? ? ??????? ?????????, ??????? ?????????? ?????? ???????????
?????????????? ???? ? ?????????? ???????, ??????? ???????? ???? ?????????
?????? ?? ????????? ???????? ????????? ?????????.
???????????? LIGA-??????? ???????????? ????????? ????????, ??????????
???????????? ?????????, ???????????? ?? ???.3? ? 3?, ? ?????????? ?????????
???????? ????????:
- ????????????? ??????? ?????????? ??? ????????? (??200 ???) ? ????????????
???????? ????????? ???????? ????????? ???????? ~600 ???, ???????? ??????????
??????? ???????? ??????????????, ? ??????????????? ? ??? ??????? (???????? ~400
???), ? ?????? ???????? ?? ????? ??????????????????, ??? ??????????????,
??????????, ???????? ???????? (Be), ? ?? ?????? - ?? ???????? (?l);
- ???????? ???????? ? ????????? ??????? ???????????? ????????? ???????? ???
????????? ?? ???????? ??????? (~ 450ч500 ???) ? ????????? ???????
???????????????????? (????????????? ?0,5 ????) ? ????????????? (?5 ???);
- ?? ??????? ??????????? ????????? ???????? ?????????? ?????? (?0,3 ???) ????
???? (?u), ? ????? ?????? ???? ? ??????? ?????????? ????????? ????
??????????????? SU-8 ? ??????? ?????????????????? ??????????? ???????????
????? (???????? ?25 ???);
- ?????????? ?????????????? ????????? ???????????????????? ???????
(???????? ?20 ???) ?? ?????? ?? ??????? ??????????? ???????? ????? ???????????
?????;
- ????? ? ??????? ??????????? ?????????? ????????? (????????, ??????????
?????????? ??????????) ??????? ??????? ??????????? ?????, ????? ???? ??????????
Стр.: 6
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???????? ?? ??????????? ? ??? ?????????????????? ??????????? LIGA-?????? ?
?????? ???????? ????? ??? ??????????? ????????????? ?? ??????????????;
- ?? ?????? ???????? ??????????? ????? ????????? ????? ?? ???????????
???????????? ?????????, ????????, ? ???????? ???????? (5% ?????? ???????
?????????? ?????? ??? ??????????? ??50°?), ? ?????????? ???? ?????????? LIGA??????, ?????????? ???????????? ?? ???.3?, ??????? ??????? ???????? ??
??????????????? ???????? (~50ч100 ???) ? ??????? ?????? ?? ???? ?? ?????????
???????? (~450ч500 ???).
????? ???????, ???????????? ?????? ???????????? LIGA-???????? ?????????
??????????? ???????? ?? ????????? ?? ????????-?????????? ??? ?? ?????????????,
??? ? ???????????????????? ????? ????????????? ?????????? ??????? ???????
???????? ??????? ??? ????????????? ??????? (??? ??????? ????????) ??????????
????, ??? ???????????? ????? ??????????????????, ??? ??????????????, ?????????,
???????? ????????.
??????? ??????? ???????? ??? LIGA-???????, ?????????????? ?? ???????
????????, ???????????? ~50ч100 ???, ?????? ?? ????????? ? ???????? ????????
???????, ?????????????? ????????-??????????, ????? ??? ? 5 ???.
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??????? ???????????
1. ?????? ???????????? LIGA-???????, ?????????? ? ???? ????????
???????????? ?? ???????? ???????? ??????? ????????, ?? ??????? ???????????,
??????????? ?????, ???????????????????? ??????????????? ???????, ????????????
???, ??? ???????? ???????? ????????? ? ???? ????????????? ?? ????????????
??????????????????? ????????? ?????, ??????????? ????? ???????? ???????? ?????
?? ????????? ????? ???????????????????, ??? ??????????? (??? ???????? ?????).
2. ?????? ?? ?.1, ???????????? ???, ??? ??????????? ????? ????????? ???????
??????????? ???????? ?? ????????? ?????? ???????????? LIGA-???????.
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Стр.: 7
CL
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Стр.: 8
DR
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