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Патент РФ 2431882

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(19)
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(11)
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(13)
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G03G 15/054 (2006.01)
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(21)(22) ??????: 2010113902/28, 08.04.2010
(24) ???? ?????? ??????? ????? ???????? ???????:
08.04.2010
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Стр.: 1
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2 4 3 1 8 8 2
(56) ?????? ??????????, ???????????? ? ?????? ?
??????: RU 2350995 ?2, 27.03.2009. RU 2350996 C1,
27.03.2009. JP 2005175406 A, 30.06.2005. US
7608367 B1, 27.10.2009. US 64825553 B1,
19.11.2002. JP 7135156 A, 23.05.1995.
(73) ?????????????????(?):
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(72) ?????(?):
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?????????? ???????? ???????? (RU)
RUSSIAN FEDERATION
(19)
RU
(11)
2 431 882
(13)
C1
(51) Int. Cl.
G03G 15/054 (2006.01)
FEDERAL SERVICE
FOR INTELLECTUAL PROPERTY,
PATENTS AND TRADEMARKS
(12) ABSTRACT
OF INVENTION
(72) Inventor(s):
Gentselev Aleksandr Nikolaevich (RU),
Zelinskij Aleksandr Georgievich (RU),
Kondrat'ev Vladimir Ivanovich (RU)
(21)(22) Application: 2010113902/28, 08.04.2010
(24) Effective date for property rights:
08.04.2010
(73) Proprietor(s):
Uchrezhdenie Rossijskoj akademii nauk Institut
jadernoj fiziki im. G.I. Budkera Sibirskogo
otdelenija RAN (IJaF SO RAN) (RU)
(45) Date of publication: 20.10.2011 Bull. 29
(57) Abstract:
FIELD: physics.
SUBSTANCE: initial substrate is made form
beryllium foil. A buffer (protective) layer of
exposed or hardened negative photoresist SU-8 is
formed on the working surface of the substrate.
EFFECT: high level of contrast and
radiotransparency.
3 dwg
R U
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C 1
C 1
(54) METHOD OF MAKING LIGA TEMPLATE
Стр.: 2
en
2 4 3 1 8 8 2
Mail address:
630090, g.Novosibirsk, pr. Akademika Lavrent'eva,
11, IJaF SO RAN, ONIO
R U
Priority:
(22) Date of filing: 08.04.2010
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?????????? ?????????????? ?????? ?????????????? ????????? ?? 1991-1992 ?. / ??-?
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DE
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????????? ?.?., ???????? ?.?., ???????? ?.?., ??????? B.C., ??? ?.?. ????????
??????????????? ?? ??????? ???????? ??? ???????? ????????????? ??????????. ???????????. ?????????????, ????????????? ? ?????????? ????????????. 2007 ?., ?6,
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???????? ???????? ??????????????? ??????????) ? ?????????? ???????? ??????????
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??????????? ????? ???????? ?? ??????? ??????????? ???????????????? ?????????
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???????????????? ????????? ???????? ???????).
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????????, ??? ???????? ? ????????????? ?????????? ? ??? ?????? ?? ?
?????????? ? ???????? ??????? ??????????? ????? ?? ? ????? «???????» ???????, ?
???????? ????????????? ???????, ? ????? ? ?????????? ??????? ??????????????.
????????????? ????? ?????? ??????? ????????? ???????? ? ????????? ???
?????????? ?? ?? ???????????????? ???????? ? ??????????? ??????????
???????????? ????????????, ??????????? ?????????? ?? ?????????????
???????????? ?????????, ??? ??????? ??????? ????????? ?????????? ? ????????????
?????????????????? ?????????????? ? ????????.
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??????????? ??????????? ?????? ????????, ?? ??????? ??????????? ???????
?????????? ?????? (???????? ~20 ???) ???? ??????????????????? ? ????????????
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???????? ???????????, ????????? ? ???????? ???????? ? ??????????????? ???????
?????????????? (~20 ???), ? ??? ???????? ??????? ?????????? ???????????,
?????????? ???? ???????????? ???????????? LIGA-???????? ?? ???????????
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????????????? ???? ?????????????? ???????????, ? ????? ?? ?????? ????? ??????? ???????? ?? ??????????? ?????? ? ?????????? ?? ?? ??????? ???????????
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???????????? ?????? ???????????? LIGA-??????? ? ?????????????? ? ????????
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??????? ??????????? ?????? ???? ??????? SU-8, ??????????? ??? ? ???????????;
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?????????????????? ??????? ??????????? ? ????????? ??????? ??????? ???
?????????? ?????????????????? ????????? ???????????????????? ??????? ?? ?????
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??????? ?????????????????? ??????????? ????? (???????? ? 25 ???);
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??????????? LIGA-???????, ??????? ???????? ??????? ???????? 1 ? ???? ??????
?????? ???????, ????????????? ?????; ??????????? ?? ?????? ???????? 2
???????????????????? ???????; ?????????? ??????? ?????? 3.
?? ???.2 ????????? ??????????? ??????????? ?????????????? ?????????????????? ????????????????? LIGA-???????, ??????? ???????? ???????
???????? 1 ? ???? ???????????????? ?????????, ?? ??????? ??????????? ???????
?????? ??????? ???????????? ???????? 2 ???????????????????? ???????.
?? ???.3 ????????? ??????????? ??????????? ?????????????? ??????????
???????? LIGA-???????, ??????????? ????????? ??????? ???????? 1,
?????????????? ????? ??????????? ???????? 4 ? ???????? ????? 5 ?? ????????????
??????? SU-8 ? ?????????? ?????? ???? ?????? ????????????? ??????????
????????????????? ???????? 6, ?? ??????? ???????????? ???????? 2
???????????????????? ???????.
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????????, ??????? ???????? ????????? ???????? ????????:
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??????????????? ????? ??????? ???????? (????????? ~34 ??), ?? ?? ???????
??????????? ??????? ?? ?????????? ?????? (???????? ~20 ???) ????
??????????????? SU-8, ??????? ???????? ?? ? ????? ?????????? ??????????????,
??????????? (????????, ?????????? ??????? ????? ???????? ????????) ?
??????????? ? ???? ??? ??????????? ?=250°?;
- ?? ??????? ??????????? ?????????????? ????? ??????? ????????? ????????
(??????????? ???????? ? ???????? ????? ?? SU-8) ???????? ?????? (?0,3 ???) ????
???? (?u), ? ????? ?????? ???? ? ??????? ?????????? ??????? ???? ??????? SU-8 ?
??????? ?????????????????? ????????? ??????????? ????? (???????? ?25 ???);
- ???????? ?????????????? ????????? ???????????????????? ???????????????
??????? (???????? ?20 ???) ?? ?????? ?? ??????? ??????????? ???????? ?????
??????????? ?????;
- ????? ? ??????? ??????????? ?????????? ????????? (????????, ??????????
?????????? ??????????) ??????? ??????? ??????????? ?????, ????? ???? ????????
???????? ?? ??????????? ? ??? ?????????????????? ??????????? LIGA-?????? ?????
??? ??????????? ????????????? ?? ?????? ??????????????.
????? ???????, ???????????? ?????? ???????????? LIGA-???????? ?????????
??????????? ???????? ?? ????????? ?? ????????-?????????? ??? ?? ?????????????,
??? ? ???????????????????? ????? ????????????? ?????????? ??????? ???????
???????? ??????? ? ????????? ????????????? ????? ???????????????????
Стр.: 6
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????????? (????????), ? ????? ????????? ??? ???????? ?? ????????????, ?????????
??????????? ??????????? ?????? ? ??????????? ??????????????? ????????????.
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??????? ???????????
?????? ???????????? LIGA-???????, ?????????? ? ???? ???????? ????????????
?? ???????? ???????? ??????? ????????, ?? ??????? ???????????, ???????????
?????, ???????????????????? ??????????????? ???????, ???????????? ???, ???
???????? ???????? ????????? ?? ??????????? ??????, ?? ??????? ???????????
???????? ??????? ??????????????? ???????? (????????) ???? ??
??????????????????? ? ???????????? ??????????? ??????????? SU-8.
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