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Etre
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Appa
(3)
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Tric
(2)
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DANS
(1)
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Est-a
(1)
[11][_]
Cou
(1)
[12][_]
Rela
(1)
[13][_]
Trou
(1)
[14][_]
Cer
(1)
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Molecule
(15/ 31)
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nickel
(8)
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argon
(5)
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carbon dioxide
(4)
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copper
(2)
[20][_]
copper sulfate
(2)
[21][_]
minee
(1)
[22][_]
carbon
(1)
[23][_]
paral
(1)
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chromium
(1)
[25][_]
suspen
(1)
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tungsten carbide
(1)
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silicon carbide
(1)
[28][_]
boron carbide
(1)
[29][_]
boron nitride
(1)
[30][_]
diamond
(1)
[31][_]
Generic
(2/ 29)
[32][_]
METAL
(25)
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sulfone
(4)
[34][_]
Physical
(13/ 18)
[35][_]
5 cm
(3)
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5 mm
(3)
[37][_]
1 cm
(2)
[38][_]
1 mm
(1)
[39][_]
1 l
(1)
[40][_]
108 s
(1)
[41][_]
5145 angstroms
(1)
[42][_]
de 10,6 V
(1)
[43][_]
de 5 mm
(1)
[44][_]
de 50 watts
(1)
[45][_]
de 50 mm
(1)
[46][_]
164 s
(1)
[47][_]
1 min.
(1)
[48][_]
Substituent
(1/ 1)
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dioxy
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Publication
_________________________________________________________________
Number FR2513273A1
Family ID 2037447
Probable Assignee Inoue Japax Res
Publication Year 1983
Title
_________________________________________________________________
FR Title PROCEDE ET APPAREIL D'ELECTRO-DEPOSITION D'UN METAL SUR UNE
PIECE PAR UTILISATION D'UN FAISCEAU LASER OU UN FAISCEAU LUMINEUX
THERMIQUE ANALOGUE
Abstract
_________________________________________________________________
L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE ET UN APPAREIL POUR
L'ELECTRO-DEPOSITION D'UN METAL SUR UNE PIECE QUI EST PLONGEE DANS UN
BAIN D'ELECTROLYTE LIQUIDE.
L'INVENTION CONSISTE A DIRIGER SUR LA SURFACE DE LA PIECE 3 UN
FAISCEAU LUMINEUX THERMIQUE ETROIT 11, EMIS PAR EXEMPLE PAR UN LASER
12, QUI ARRIVE SUR UNE ZONE LOCALISEE DE LA PIECE 3, ET A DEPLACER
L'UN PAR RAPPORT A L'AUTRE LE FAISCEAU 11 ET LA PIECE 3.
L'INVENTION S'APPLIQUE AUX REVETEMENTS OU AU FORMAGE DE PIECES PAR
ELECTRO-DEPOSITION D'UN METAL.
Description
_________________________________________________________________
Procede et appareil d'electro-deposition d'un metal sur
une piece.
L'invention concerne en general le domaine de l'electro-
deposition et, plus particulierement, un procede et un appa-
reil d'electro-deposition sur une piece ou un supporte dans
des buts de revetement et de conformation Plus particuliere-
ment, l'invention concerne un procede et un appareil de ce
type dans lesquels on utilise un faisceau laser ou un fais-
ceau lumineux thermique analogue pour augmenter la capacite
locale d'electro-deposition de la surface.
L'electro-deposition est realisee en juxtaposant une anode et une
piece ou surface de piece cathodique en presence d'une solution
d'electrodeposition et en appliquant un potentiel d'electro-deposition
entre l'anode et la piece ou la surface
de la piece pour permettre sur celle-ci le depot electrochi-
mique d'un metal a partir de ladite solution Ce depot de metal peut
servir au revetement permanent de la surface ou bien a produire, sur
un moule electriquement conducteur ou sur un moule non conducteur
metallise, une couche de metal
qui peut etre retiree pour etre utilisee comme produit me-
tallique conforme, comme par exemple une matrice ou une elec-
trode d'usinage electrique.
Un probleme majeur rencontre jusqu'a present dans la techni-
que d'electro-deposition est la difficulte d'obtenir un depot uniforme
sur la surface receptrice quand cette surface comprend des cavites
tres creuses ou est de forme compliquee, comme cela est souvent le cas
en pratique En general, le
depot tend a s'accumuler selectivement sur des zones relati-
vement en saillie et se produit plus irregulierement dans
les parties de coins en creux, d'o il resulte une irregula-
rite du depot sur la surface, cette tendance etant accentuee quand le
processus continue Bien que diverses techniques aient ete proposees
pour reduire cette irregularite du depot, aucune d'elles ne s'est
revelee satisfaisante du point de vue de l'efficacite et de l'economie
Il y a donc dans ce domaine un besoin constant d'une technique qui
permettrait facilement de disposer d'une couche formee par
electro-deposition avec
une precision elevee et qui serait d'epaisseur uniforme,par-
ticulierement dans les domaines de fabrication de matrices et
d'electrodes Les techniques d'electro-deposition ont egalement ete
appliquees pour former un reseau metallique
sur un support non metallique, par exemple dans la fabrica-
tion de dispositifs a circuit electronique Pour cela, la
technique anterieure necessite toutefois des operations com-
pliquees de masquage et d'autres preparations longues et deli-
cates qui augmentent considerablement le cout et qui sont inefficaces.
L'invention a pour objet un nouveau procede d'electro-
deposition qui est d'efficacite elevee et qui permet d'obte-
nir, par electro-deposition, la formation d'une couche ou d'un reseau
avec une precision extremement elevee et de
facon relativement simple.
L'invention a egalement pour objet un nouvel appareil
d'electrodeposition qui est sur, et qui permet d'obtenir une couche ou
un reseau par electro-deposition, avec une
precision elevee et de facon automatique.
L'invention propose donc a cet effet un procede d'electro-
deposition d'un metal sur une piece, consistant a amener une solution
d'electro-deposition contenant le metal en
contact avec la piece et avec une electrode, et a faire pas-
ser un courant electrique entre l'electrode et la piece, caracterise
en ce qu'il consiste egalement a diriger un faisceau lumineux
thermique etroit sur la piece qui arrive sur une zone localisee de
cette piece, afin d'activer ainsi une interface entre ladite zone et
la solution pour permettre une electro-deposition du metal
selectivement sur cette zone, et a effectuer un deplacement relatif du
faisceau lumineux thermique etroit et de la piece pour deplacer ladite
zone localisee d'incidence du faisceau successivement sur une region
superficielle voulue de la piece de telle sorte que
le metal est depose successivement sur cette region super-
ficielle.
Le faisceau lumineux thermique etroit est avantageusement un fais-
ceau laser, mais peut egalement etre un faisceau de lumiere intense
sous une forme quelconque On a trouve qu'il etait desirable de
maintenir l'epaisseur de la solution traversee par le faisceau laser
arrivant sur ladite zone localisee a
une valeur qui n'est pas superieure a 5 cm et qui, de pref e-
rence, ne depasse pas 1 cm Avec une solution ordinaire
d'electrodeposition, une telle limitation d'epaisseur est en general
satisfaisante quand le laser est un laser a gaz argon, mais
l'epaisseur est de preference limitee pour ne pas depasser 5 mm ou 1
mm si le laser est un laser a carbon dioxide. Le faisceau lumineux
thermique etroit est emis par une source qui peut etre fixe en
position, le faisceau etant, sur son trajet optique, reflechi par un
miroir de facon a arriver sur
la zone localisee Le deplacement du miroir est avantageuse-
ment utilise pour realiser au moins une partie du deplacement
relatif necessaire entre le faisceau et la piece.
Selon une autre caracteristique de l'invention, le faisceau lumineux
passe a travers une lentille, et le procede consiste egalement a
positionner la lentille de facon a ce que le
plan focal du faisceau coincide avec la zone localisee.
L'invention propose egalement un appareil pour l'electro-
deposition d'un metal sur une piece, caracterise en ce qu'il
comprend: (a) des moyens pour amener une solution-d'electro-
deposition contenant le metal en contact avec la piece, et une
electrode; (b) des moyens d'alimentation en energie pour faire passer
un courant electrique entre l'electrode et la
piece; (c) des moyens pour diriger un faisceau lumineux ther-
mique etroit sur la piece de facon a ce que le faisceau arrive sur une
zone localisee de cette piece, en activant ainsi l'interface entre
ladite zone et la solution pour permettre l'electro-deposition du
metal selectivement sur cette zone; et (d) des moyens pour realiser un
deplacement relatif du faisceau lumineux thermique etroit et de la
piece afin de
deplacer la zone localisee d'incidence du faisceau successi-
vement sur une region superficielle voulue de la piece, de
facon a realiser une electro-deposition successive ou sequen-
tielle de metal sur ladite region superficielle.
Plus particulierement, les moyens (c) peuvent avantageusement
comprendre un laser formant la source du faisceau lumineux
thermique etroit.
Les moyens (c) peuvent egalement comprendre une source de faisceau
lumineux thermique etroit avec des moyens formant miroir pour
reflechir ces faisceaux sur la piece Les moyens
(d) comprennent alors des moyens (d') pour deplacer les mo-
yens formant miroir La source peut etre fixe en position.
Les moyens (c) peuvent egalement comprendre des moyens for-
mant lentilles disposees sur le trajet optique entre la sour-
ce et la piece pour former un plan focal du faisceau emis par la
source L'appareil comprend alors des moyens (e) pour
deplacer les moyens formant lentilles de facon a faire coin-
cider le plan focal avec ladite zone localisee quand le fais-
ceau et la piece sont deplaces l'un par rapport a l'autre par
les moyens (d).
Selon une autre caracteristique de l'invention, les moyens (c)
comprennent un ensemble unitaire comportant une source de faisceau
lumineux et des moyens formant guide optique solide dont une extremite
est reliee a la source-et dont l'autre extremite permet de projeter le
faisceau transmis par
le guide optique depuis la source L'appareil comprend egale-
ment des moyens (f) pour maintenir cette autre extremite du lo guide
optique a proximite etroite de la zone localisee quand le faisceau et
la piece sont deplaces l'un par rapport a l'autre par les moyens
(d)&#x003E; Selon une autre caracteristique de l'invention,
l'electrode
comprend un element electro-conducteur creux ayant une extre-
mite ouverte reliee a la source du faisceau et une autre ex-
tremite ouverte destinee a etre placee a proximite etroite de la zone
localisee pour projeter sur cette zone le faisceau transmis depuis la
source Cette autre extremite ouverte de
l'element creux comprend un element solide transparent ou semi-
transparent pour empecher l'introduction de la solution
d'electrodeposition dans la region de la piece L'element solide est,
de preference, conforme pour servir de lentille traversee par le
faisceau et arrivant sur ladite zone D'une
autre facon, on peut egalement utiliser des moyens pour rem-
plir l'espace creux de l'electrode avec un gaz sous pression,
afin d'empecher l'introduction de la solution d'electro-
deposition, dans la region de la piece.
Dans la description qui suit, faite a titre d'exemple, on
se refere aux dessins annexes, dans lesquels: la figure 1 represente
schematiquement, en coupe partielle, un appareil selon l'invention;
la figure 2 est une vue semblable representant une realisa-
tion de l'invention dans laquelle plusieurs unites d'emission de
faisceau sont logees dans une chambre d'electrolyte;
la figure 3 est une vue en coupe transversale de cette cham-
bre selon la ligne III-III de la figure 2; la figure 4 represente
schematiquement, en coupe partielle et en perspective partielle, une
autre forme de realisation d'un appareil selon l'invention; la figure
5 est une vue de dessus d'une partie de l'appareil de la figure 4; la
figure 6 est une vue schematique, en coupe partielle et en partie sous
forme de schemas-blocs, representant un autre mode de realisation d'un
appareil selon l'invention;
la figure 7 est une vue semblable representant une modifica-
tion de l'appareil de la figure 6;
la figure 8 est une vue semblable representant une autre for-
me de realisation de l'appareil selon l'invention; la figure 9 est une
vue semblable representant encore une autre forme de realisation de
l'appareil selon l'invention; la figure 10 est une vue semblable
representant une autre
forme de realisation de l'appareil selon l'invention.
On se refere d'abord a la figure 1 dans laquelle on a repre-
sente un appareil 1 d'electro-deposition selon l'invention.
L'appareil 1 comprend un reservoir 2 qui recoit une piece 3
representee immergee dans une solution d'electro-deposition ou
d'electrolyte liquide 4 La solution d'electro-deposition
4 est fournie par une source, non representee, par l'inter-
mediaire d'un conduit d'amenee 5 dans une chambre 6 de stockage
temporaire et ensuite est amenee sur la surface de la piece 3 en
passant a travers une electrode 7 poreuse ou
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ou du type a ecran a mailles fixee a l'extremite ouverte de la chambre
6 L'electrode 7, qui est une anode, est reliee
electriquement a la borne de sortie positive d'une alimenta-
tion en energie 8 dont la borne de sortie negative est reliee
electriquement a la piece 3, maintenue fixe en position dans le
reservoir 2 L'alimentation en energie 8 peut etre d'un type
conventionnel permettant de faire passer un courant
d'electro-deposition entre l'anode 7 et la piece cathodique
3, pour l'electro-deposition d'un metal a partir de l'elec-
trolyte 4 sur la piece 3 Comme represente, l'alimentation en energie 8
est, de preference, du type a impulsions: de sorte que le courant
d'electro-deposition est une succession d'impulsions electriques
discretes, espacees dans le temps, dont la duree, l'intervalle entre
impulsions et l'amplitude du courant sont reglables, de preference
independamment
les unes des autres Le reservoir 2 est pourvu a son extre-
mite superieure d'une sortie d'ecoulement 9 pour un exces
d'electrolyte qui est amene ensuite a un recipient approprie
de traitement (non represente).
La chambre 6 est formee avec une ouverture ou un passage 10
a travers lequel passe un faisceau laser 1 l emis par une sour-
ce ou canon laser 12 pour arriver sur ou irradier une zone localisee
de la surface de la piece 3 Le canon laser 12 est porte par un support
13 qui est lui-meme fixe a un element de support 14 fixe a un disque
semicirculaire 15 Celui-ci forme
une roue dentee semi-circulaire montee rotative sur une tete -
16 qui depend d'une broche 17 La roue dentee 15 peut tourner autour
d'un axe 18, qui est l'axe Y, pouz faire pivoter le canon laser 12 et
donc le faisceau laser ll dans un plan X-Z orthogonal a l'axe Y 18
L'angle de pivotement est obtenu par
fonctionnement d'un moteur electrique 19 qui est relie fonc-
tionnellement a une vis sans fin 20 en prise avec la roue dentee 15 Le
support 13 du canon laser ou l'element de support 14, et la chambre 6
sont relies mecaniquement ensemble Le reservoir 2 est monte fixement
sur une table rotative 21
13273
qui est entrainee par un moteur electrique 22 pour deplacer
angulairement la piece 3 dans un systeme predetermine de coordonnees
polaires sur le plan X-Y La table rotative 21 est elle-meme portee par
des tables 23 d'axe X et 24 d'axe Y, selon un agencement coulissant
croise, permettant de deplacer
en mouvement rectiligne la piece 3 dans le systeme de coor-
donnees du plan X-Y Les tables 23 et 24 sont entratre es par les
moteurs electriques 25 et 26 respectivement Une unite de commande 27
est prevue pour fournir aux moteurs 19, 22, 25 et, 26 des signaux
d'entrainement respectifs bases-:sur des donnees preprogrammees afin
de deplacer la piece 3 de telle sorte que le faisceau laser 11 se
deplace a la facon d'un balayage avec quatre degres de liberte le long
d'un trajet determine sur la surface de la piece L'unite de commande
27 comprend des enregistrements de commande de vitesse pour le
deplacement et de commande des parametres de sortie de l'ali-
mentetion en energie 8 en fonction d'un programme predetermi-
ne De plus, le canon laser 12 comprend un circuit de reglage de
parametres commande en sequence par l'unite de commande 27, afin de
modifier sequentiellement le diametre et l'energie du
faisceau laser incident 11 en fonction d'un programme prede-
termine. En fonctionnement, la chambre 6 est alimentee en electrolyte
d'electro-deposition, c'est-a-dire une solution electrolyti-
que de nickel ou de copper qui est delivree lentement sur la surface
de la piece 3 alors que l'alimentation en energie 8
est actionnee pour faire passer un courant d'electro-
deposition, de preference sous forme d'une succession d'im-
pulsions, entre l'electrode 7 et la piece 3 Les conditions
d'electro-deposition, comprenant la temperature de la solu-
tion et le niveau de tension, sont reglees de telle sorte
que, sans irradiation par un faisceau laser, l'electro-
deposition a lieu uniformement sur la surface 3 a de la piece et
lentement a la facon habituelle ou a une vitesse qui est beaucoup plus
lente qu'une vitesse de deposition elevee ou
optimale habituelle, ou meme de telle sorte que l'electro-
deposition ne puisse pratiquement continuer sans irradiation
par un faisceau laser.
On a trouve que le faisceau laser 11 agit comme un faisceau thermique
etroit pour chauffer la solution de deposition jus-
qu'a une temperature de 45 a 650 C au voisinage de la zone lo-
calisee sur la surface 3 a de la piece sur laquelle arrive le
faisceau, et permet ainsi d'activer selectivement l'interface afin
d'augmenter la capacite d'electro-deposition Le bouton 12 a de
focalisation du faisceau laser 11, prevu sur le canon laser 13, peut
etre utilise pour commander la dimension de
la zone localisee d'activation sur la surface 3 a de la piece.
Par deplacement relatif du faisceau laser l et de la piece 3,
l'electro-deposition se developpe sur la surface 3 a de la pi"-
ce selectivement le long du trajet de deplacement du faisceau laser 11
par rapport a la piece 3 Ainsi, on peut former sur
la surface 3 a de la piece un reseau d'electro-deposition defi-
ni par la taille du faisceau 11 et par le trajet du deplace-
ment relatif La vitesse de ce deplacement relatif est deter-
minee en fonction de l'epaisseur du reseau desire forme par
electrodeposition Non seulement, on peut obtenir de cette facon un
reseau continu d'une forme quelconque desiree, mais egalement un
ensemble de reseaux discontinus ou discrets Pour cela, l'unite de
commande 27 fonctionne de facon a couper l'alimentation en energie 8
pendant des intervalles de temps programmes lors de l'operation de
balayage par le faisceau
laser 11, afin de laisser intactes des zones qui sont compri-
ses dans le trajet du deplacement relatif, mais qui ne doi-
vent pas etre recouvertes par electro-deposition D'une autre facon, ou
de plus, le canon laser 12 peut etre desactive selectivement pendant
ces intervalles de temps ou pour le s parties correspondantes du
deplacement relatif Il est bien
sur souhaitable que ces parties du deplacement soient parcou-
rues dans des intervalles de temps minima.
Il apparait que le procede selon l'invention permet de pro-
duire un circuit du type imprime ou un cablage sur un panneau,
13273
destine a des dispositifs electroniques Le procede est ega-
lement utilise avantageusement pour le revetement metallique sur un
support ou pour la formation d'une piece, ayant une
forme complexe ou comprenant une ou plusieurs cavites ou rai-
nures qui ne peuvent etre revetues ou formees par voie elec-
trolytique qu'avec difficulte par les techniques connues d'
electro-deposition Selon l' invention,l'electro-deposition ou
l'electro-formage est realise uniformement sur un tel support par
commande du temps d'irradiation ou de la vitesse
de balayage par le faisceau laser 11 en fonction de la posi-
tion sur la surface 3 a de la piece ou du support En general, une zone
en creux ou une partie de coin dans une cavite peut
etre irradiee pendant un temps plus long que les autres zones.
On se refere maintenant a la figure 2 dans laquelle on a uti-
lise les memes references qu'en figure 1 pour designer des parties
identiques ou fonctionnellement identiques Cette
figure represente une autre forme de realisation d'un appa-
reil selon l'invention L'appareil 29 fait utilisation d'une
chambre d'electrolyte 30 relativement importante, dans la-
quelle sont logees plusieurs unites lasers 31-44 (figure 3).
Chacune de ces unites, dont seules les unites 31-34 appa-
raissent en figure 2, comprend une source laser 45, 46, 47,
48 reliee par un commutateur rotatif 59 a une alimenta-
tion en energie d'excitation 60, et un guide optique 61, 62, 63, 64
relie par son extremite superieure a la source
laser et ayant une extremite inferieure juxtaposee a la sur-
face 3 a de la piece, et pourvue d'un disque 75, 76, 77, 78 Ces
disques sont positionnes pour etre de niveau les uns
avec les autres, definissant la surface d'extremite inferieu-
re de la chambre 30 et sont ecartes les uns des autres d'un
espace 89 servant de passage de sortie de l'electrolyte.
Le commutateur rotatif 59 comprend un bras rotatif 59 a
actionne par un circuit de commutation 90 pour venir enga-
ger des contacts fixes 91, 92, 93, 94 respectivement,
qui sont relies aux sources lasers 45, 46, 47, 48 res-
pectivement Le circuit de commutation 90 est actionne par
l'unite de commande 27 en fonction d'un programme predeter-
mine qui y est enregistre afin d'exciter selectivement les sources
laser 45, 46, 47, 48, a partir de l'alimentation en energie 60 L'unite
de commande 27 agit egalement sur l'alimentation en energie 60 pour
commander l'intensite du faisceau laser emis par chacune des sources
45, 46, 47, 48,
en fonction d'un programme predetermine enregistre Dans cha-
cune des unites 31, 32, 33, 34,, le faisceau laser emis par la source
45, 46, 47, 48, passe a travers le guide
optique 61, 62, 63, 64, pour arriver sur une zone loca-
lisee de la surface 3 a de la piece en preesence d'un courant a basse
vitesse de la solution d'electro-deposition fournie par le conduit
d'entree 5 a la chambre 30 et passant par le passage de sortie 89 de
celle-ci La zone localisee est ainsi activee et selectivement revetue
par electro-depos-ition quand le potentiel d'electro-deposition est
applique a partir de l'alimentation 8 entre la piece 3 et une
electrode 105 du
type ecran a mailles disposee dans la chambre 30.
Dans un autre mode de realisation represente en figures 4 et, le
faisceau laser 11 emis par un canon laser 12 est, par reflexion sur un
miroir 111, dirige sur une piece 3 immergee dans une solution
d'electro- deposition, a l'interieur d'un
reservoir 106 Celui-ci est monte fixement sur une-table cou-
lissante 107 a laquelle est reliee une vis de deplacement 108
s'etendant dans une direction perpendiculaire au plan du dessin, pour
positionner la piece 3 dans cette direction le long d'un axe de
coordonnees predetermine, qui est l'axe Y. La vis 108 est entrainee
par un moteur 109 (figure 5) qui fonctionne en reponse a des signaux
d'entrainement fournis par une unite de commande 27, par exemple une
unite a comn mande numerique La piece 3 est electriquement reliee a la
borne negative d'une alimentation en energie 8 dont la borne positive
est electriquement reliee a une anode 110 disposee
dans l'electrolyte contenu dans le reservoir 106 Comme pre-
cedemment, l'alimentation en energie 8 fonctionne en reponse
a des signaux de commande provenant de l'unite de commande 27.
Le miroir 111, comprenant une face de reflexion verticale, est porte
par un element de support horizontal 112 qui est supporte par un pied
113 de facon a etre deplacable horizon- talement le long d'un axe de
coordonnees predetermine, qui est l'axe X L'element de support 112 est
porte par une vis
sans fin 114 qui est guidee en coulissement dans un pied 115.
La vis 114 est en prise avec un ecrou 116 prevu au centre d'un
grand pignon 117 qui est en prise avec un petit pignon 118.
Celui-ci est porte par l'arbre d'entrainement 119 a d'un mo-
teur electrique 119 qui fonctionne en reponse a des signaux
d'entrainement fournis par l'unite de commande 27 Quand le moteur
electrique 119 est entraine, la vis 114 est entrainee en rotation pour
deplacer l'element de support 112 et donc le miroir 111 dans la
direction de l'axe X afin de realiser un deplacement de la zone
d'incidence du faisceau laser 11
sur la surface 3 a de la piece.
L'unite de commande 27 comprend des donnees de trajet rela-
tives au deplacement de la reflexion du faisceau laser 11 et de la
piece 3 l'une par rapport a l'autre, et produit a partir de ces
donnees des signaux d'entrainement destines au moteur 119 d'axe X et
au moteur 109 d'axe Y. L'electrolyte peut, bien entendu, etre une
solution quelconque connue d'electro-deposition On peut utiliser par
exemple une solution de copper sulfate pour le depot de copper Pour le
depot de nickel, on peut utiliser une solution de nickel sulfone Le
laser est de preference un laser a gaz argon (ayant une longueur
d'onde comprise entre 4880 et 5145 angstroms, dans le vert), qui
presente une transmissibilite elevee pour une telle solution Le
faisceau laser peut passer a travers une solution ayant une epaisseur
aussi elevee que 1 a 5 cm, et, sans echauffement sensible, peut
selectivement activer une zone localisee de la surface de la piece
pour ameliorer sa capacite d'electro-deposition Par ailleurs, un laser
au gaz carbon dioxide (ayant une longueur d'onde de 10,6 V m) presente
une transmissibilite relativement faible pour cette solution et il est
necessaire que l'epaisseur de la solution soit de 5 mm ou moins Par
exemple, un faisceau laser emis par un laser au carbon dioxide ayant
une puissance de
sortie de 50 watts peut etre utilise, avec succes, pour ba-
layer une piece a une vitesse de 50 mm/mino et realiser une
electro-deposition de nickel sur la piece a partir d'une so-
lution de nickel sulfone quand l'epaisseur de la solution sur la piece
est de 0,5 reo La solution presentant cette
epaisseur, traversee par le faisceau lasez, est alors chauf-
fee a 60 C Quand l'epaisseur augmente a 5 mm, le degre de
localisation de l'electro-deposition est largement reduit.
Etant donne que la dimension de l'impact du faisceau laser peut etre
reduite jusqu'a deux fois la longueur d'onde du faisceau, le procede
selon l'invention peut avantageusement etre applique pour la formation
d'un reseau electro-conducteux,
du type circuit imprime, par electro-deposition sur des dispo-
sitifs electroniques minuscules et egalement pour une electro-
deposition localisee avec une tres haute precision Pour
l'electrodeposition de nickel a partir d'une solution de nickel
sulfone, on peut utiliser un laser a gaz argon pour former un impact
de faisceau ayant un diametre de 02 mm et donc une electro-deposition
tres localisee presentant la meme dimension Cette dimension est
augmentee jusqu'a quatre
millimetres quand le laser est remplace par un laser a dioxy-
de de carbon.
Dans le mode de realisation de la figure 6, l'anode est cons-
tituee par un element tubulaire 120 electro-conducteurz, par-
ticulierement mains non exclusivement concu pour etre insere dans une
cavite 121 d'une piece 3, cavite dont la paroi interne
121 a doit etre revetue uniformement par electro-deposition.
L'electrode tubulaire 120 est pourvue, a son extremite infe-
rieure ou avant, d'un element transparent ou semi-transparent 122 qui
est monte dans cette extremite et qui est conforme de preference pour
former une lentille convexe traversee par un faisceau laser emis par
un laser 12 L'element tubulaire est fixe au canon laser 12 de telle
sorte que le faisceau laser emis par ce dernier passe a travers
l'alesage interne 120 a de l'electrode tubulaire 120 et a travers
l'element transparent ou semitransparent 122 pour irradier une zone
localisee de la surface de la piece 3 a l'interieur de la cavite 121
L'element 122 est concu egalement pour empec Ie r
la solution d'electro-deposition ou l'electrolyte 4 se trou-
vant dans la cavite 121 de penetrer dans l'alesage interne
a de l'electrode tubulaire 120.
Cette electrode 120 comprend, a son extremite fixee au canon
laser 12, un anneau conducteur 123 qui est relie electrique-
ment a la borne positive de l'alimentation en energie 8 pour
faire passer un courant d'electro-deposition vers l'anode 120.
La borne negative de l'alimentation 8 est reliee electrique-
ment a la piece 3 Comme precedemment, l'alimentation en ener- gie 8
est commandee en fonc tion de signaux preprogrammes emis par l'unite
de commande 27, qui est par exemple une unite de
commande numerique.
Le canon laser 12 est fixe a un element de support 14 qui est lui-meme
fixe a une roue dentee 15 supportee par le boitier 16 de facon a
tourner autour de l'arbre 18 La roue dentee est en prise avec une vis
sans fin 20 qui est reliee a l'arbre de sortie d'un moteur electrique
19 fixe sur le
bottier 16 De plus, le bottier est supporte par et a l'in-
terieur d'un grand boitier 124 de facon a pouvoir tourner
autour d'arbres coaxiaux rotatifs 125 et 126 Une roue-den-
tee 127, portee par l'arbre 125, est fixee au petit bottier 16 au
moyen de rondelles 128 a et 128 b et est en prise avec une vis sans
fin 129 reliee a l'arbre de sortie d'un moteur
electrique 130 fixe au grand bottier 124 Ce dernier est por-
te par une broche 17 qui est deplacable verticalement au moyen d'un
moteur electrique 131 Quand les moteurs 19 et
sont entraines, le canon laser 12 et l'electrode tubu-
laire 120 pivotent dans le plan X-Z et dans le plan Y-Z,
respectivement Quand le moteur electrique 131 est actionne,
la position verticale de l'electrode tubulaire 120 est modi-
* fiee. Les moteurs 19, 130 et 131 sont actionnes en fonction des
signaux respectifs fournis par l'unite de commande 27, en fonction de
donnees de trajet qui sont preprogrammees et qui
sont relatives au deplacement de l'extremite avant ou infe-
rieure de l'electrode tubulaire 120 par rapport a la piece
3, et aux positions angulaires de l'electrode tubulaire 120.
L'unite de commande 27 est egalement utilisee pour fournir a la source
laser 12 a des signaux de commande de la puissance
de sortie du canon laser, de la taille ou dimension du fais-
ceau laser et/ou de la duree de l'irradiation laser.
La figure 7 represente une variante du mode de realisation de la
figure 6 et les memes references y sont utilisees pour
designer les elements identiques Dans l'agencement de la fi-
gure 7, l'alesage interne 120 a de l'electrode tubulaire 120
communique avec une source de gaz sous pression 132,par exem-
ple un compresseur, au moyen d'une valve d'etranglement 133 et d'une
valve 134 de regulation de pression De cette facon, l'alesage interne
120 a est rempli de gaz sous pression pour empecher l'entree de la
solution d'electro-deposition 4 La valve 134 de regulation de pression
fonctionne en reponse a des signaux fournis par le circuit de commande
27 De plus, un capteur 135 est dispose adjacent a l'extremite avant de
l'electrode tubulaire 120 de facon a detecter la profondeur
de celle-ci en dessous de la surface de ha solution d'elec-
tro-deposition Le capteur 135 depend du canon laser 12 et fournit un
signal a l'unite de commande 27 Cette unite commande la valve 134 de
regulation de pression de telle sorte que la pression du gaz comprime
dans l'alesage interne 120 a de l'electrode 120 est toujours
superieure a la pression de la, solution 4 au voisinage de l'extremite
ouverte de l'electrode tubulaire 120, afin d'empecher l'entree de la
13273
solution dans l'alesage 120 a.
Dans une autre variante representee en figure 8, une struc-
ture unitaire formee par le canon laser 12, le conducteur annulaire
123 et l'electrode tubulaire 120, combines comme
represente dans les figures 6 et 7, est portee par un dispo-
sitif de positionnement vertical 136 supporte par un chariot 137 a
roues Le dispositif de positionnement vertical 136 fonctionne en
reponse a des signaux fournis par l'unite de commande 27 pour
positionner l'extremite avant de l'electrode tubulaire 120 a proximite
de la surface de la piece 3 qui est representee plane mais qui, de
facon habituelle, peut
avoir une forme complexe en trois dimensions Dans cet agence-
ment, l'extremite avant de l'electrode tubulaire 120 est pour-
vue d'un element transparent ou semi-transparent 122, comme
represente en figure 6, pour empecher la solution d'electro-
deposition se trouvant dans le reservoir 2,de penetrer dans l'alesage
interne 120 a On comprend que cet element peut etre remplace par du
gaz sous pression, comme dans la forme de
realisation de la figure 7.
Le chariot a roues 137 peut etre deplace par un moteur elec-
tric 138 de facon a rouler sur une piste 139 dans la direc-
tion de l'axe X La piste 139 est supportee fixement par un
chariot 140 comprenant des roues 141 et 142, destinees a rou-
ler sur deux rails 143 et 144 pour le deplacement du chariot dans la
direction de l'axe Y Les rails 143 et 144 sont
montes de facon a reposer verticalement sur les bords supe-
rieurs de deux parois opposees du reservoir 2, respectivement,
et s'etendent parallelement l'un a l'autre Un moteur elec-
tric 145 monte sur la piste 139 comprend, sur son arbre de sortie, une
poulie 146, qui est reliee par une courroie 147 a une poulie 148 fixee
a l'arbre rotatif 149 portant les roues 141 et 142 du chariot 140
Quand le moteur 145 est actionne en reponse aux signaux fournis par
l'unite de
commande 27, le chariot 140 est ainsi deplace pour le posi-
tionnement de l'axe de l'electrode tubulaire sur l'axe Y. L'agencement
represente en figure 8 comprend egalement des moyens de mesure de
l'epaisseur de la couche formee par electro-deposition sur la surface
3 a de la piece derriere l'extremite active avant de l'electrode
tubulaire 122 On a prevu pour cela un ensemble 150 comprenant une
electrode 151
revetue d'un film isolant 152, cet ensemble s'etendant paral-
lelement a l'electrode tubulaire 120 et etant portee par un dispositif
de positionnement vertical 153 supporte par le chariot 137 Le
dispositif de positionnement 153 fonctionne en reponse aux signaux
fournis par l'unite de commande 27 pour amener l'extremite avant de
l'electrode de mresure 151 en contact avec ou a proximite immediate de
la surface 3 a de la piece revetue par electro'deposition Comme un
seul chariot 137 est utilise pour porter a la fois l'electrode
tubulaire
120 et l'ensemble 150 de mesure, l'axe de ce dernier est main-
tenu adjacent a l'axe de l'electrode tubulaire 120.
L'electrode de mesure 151 est destinee a detecter le contact
ou la proximite de la surface 3 a revetue par electro-depositio.
en mesurant par exemple la resistance electrique entre elles et a
transmettre un signal a l'unite de commande 27 Celle-ci
continue a fournir des signaux amenant le dispositif de posi-
tionnement vertical 153 a avancer l'ensemble de mesure 150
jusqu'a un contact predetermine ou une proximite predetermi-
nee avec la surface 3 a revetue par electro-deposition La
distance d'avance necessaire peut etre enregistree dans l'uni-
te de commande 27, pour la production de signaux de commande transmis
au canon laser 12 pour commander l'intensite du
faisceau emis par la source laser 12 a.
La figure 9 represente une forme de realisation d'un appareil
d'electrodeposition a laser selon l'invention On a utilise dans cette
figure les memes references que dans les figures
precedentes pour designer des elements identiques ou de fonc-
tions identiques Dans cette forme de realisation, un canon laser 12,
monte fixement par un support 13 sur une tete de broche ou de verin
17, est concu pour projeter un faisceau laser vertical il sur une zone
localisee de la surface 3 a d'une piece Sur le trajet du faisceau
laser 11 est prevu
un dispositif de focalisation 154 comprenant plusieurs len-
tilles 155 Le dispositif 154 est supporte par un bras hori-
zontal 156 qui est lui-meme supporte par une vis verticale menante 157
a son extremite inferieure La vis menante 157
est en prise avec un ecrou 158 qui est dente a sa periphe-
rie 159 en prise avec un pignon 160 fixe sur l'arbre de sor-
tie d'un moteur electrique 161 Ce moteur 161 est fixe par
son support a la broche 17 L'ecrou 158 est, pour etre main-
tenu fixement en position verticale, retenu entre deux sur-
faces de portee d'un element de support 162 fixe a la broche
17 De plus, l'ecrou 157 est immobilise en rotation et pre-
sente pour cela une rainure de clavetage dans laquelle est engagee une
saillie 163 de l'element de support 162 Le moteur 161 fonctionne en
reponse a des signaux fournis par l'unite de commande 27, par exemple
une unite de commande numerique,
pour positionner l'ensemble de focalisation 154 de telle sor-
te que le faisceau laser 11 emis par le canon laser 12 soit
focalise sur la zone localisee de la surface 3 a de la piece.
L'agencement represente en figure 9 est particulierement avan-
tageux pour l'electro-deposition sur une piece comprenant des surfaces
en creux ou une forme complexe L'unite de commande
27 transmet aux moteurs 22, 25 et 26 des signaux pour depla-
cer la piece 3 le long d'un trajet programme dans le plan
X-Y de telle sorte que sa surface 3 a soit balayee par le fais-
ceau laser il emis par le canon laser 12 Pendant ce deplace-
ment plan de la piece 3 dans le plan X-Y, le moteur 161 recoit des
signaux de positionnement sur l'axe Z emis par l'unite de commande 27
pour regler la position de l'ensemble de lentilles 154 de facon a
focaliser le faisceau-laser 11 sur la surface
de la piece 3, dans ladite zone localisee.
Dans une autre forme de realisation de l'appareil selon l'in-
vention representee en figure 10, un canon laser 12 oriente
verticalement est porte par une vis menante 164 s'etendant
horizontalement de facon a etre deplace horizontalement le long de
celle-ci La vis 164 est entrainee par un moteur 165 qui fonctionne en
reponse a des signaux fournis -par l'uiite de commande 27 pour le
deplacement du faisceau laser 11 La piece 3 destinee a recevoir le
faisceau laser 11 est montee
sur une table tournante 166 qui peut tourner autour d,'uh ar-
bre 167 et est placee dans un reservoir 2 L'arbre 167 est
entraine en rotation par un moteur electrique 168 qui fonc-
tionne en reponse a des signaux fournis par l'unite de com-
mande 27 pour faire tourner la table 166 et simultanement au
fonctionnement du moteur electrique 165, pour deplacer pro-
gressivement la zone localisee de la piece 3 sur laquelle
arrive le faisceau laser 11 La piece 3 est reliee electri-
quement par la'table conductrice 166, l'arbre conducteur 167
et un balai conducteur 169, a la borne negative de l'alimen-
tation en energie 8 dont la borne positive est reliee electri-
quement a plusieurs anodes 170 qui plongent partiellement dans la
solution 4 d'electro-deposition contenue dans le reservoir 2
La solution d'electro-depcsition 4 peut, comme mentionne ci-
dessus, etre une solution quelconque connue telle qu'une solu-
tion de copper sulfate, de nickel sulfone, ou de chromium,
et peut comprendre une substance particulaire 171 en suspen-
sion Cette substance peut comprendre de l;alumine, de la ferrite, du
tungsten carbide, du silicon carbide, du
boron carbide, du boron nitride et du diamond En utili-
sant une telle solution, il est possible d'obtenir par
electro-deposition une couche d'un metal comprenant des par-
ticules solides d'une ou plusieurs de ces substances, repar-
ties dans ladite couche sur la surface de la piece 3.
Claims
_________________________________________________________________
Revendications.
1 Procede d'electro-deposition d'un metal sur une piece,
consistant a amener une solution d'electro-deposition conte-
nant le metal en contact avec la piece et avec une electrode, et a
faire passer un courant electrique entre l'electrode et la piece,
caracterise en ce qu'il consiste a diriger sur ladite piece ( 3) un
faisceau lumineux thermique etroit ( 11) qui arrive dans une zone
localisee de la surface de ladite piece, activant ainsi l'interface
entre cette zone et ladite solution ( 4) pour permettre
l'electro-deposition du metal selectivement sur ladite zone, et a
deplacer ledit faisceau lumineux ( 11) et ladite piece ( 3) l'un par
rapport a l'autre pour deplacer ladite zone localisee d'incidence du
faisceau
sur la piece successivement sur une region superficielle vou-
lue de ladite piece, pour 1 'electro-deposition successive ou
sequentielle du metal sur cette region superficielle.
2 Procede selon la revendication 1, caracterise en ce que ledit
faisceau lumineux thermique etroit ( 11) est un faisceau laser. 3
Procede selon la revendication 2, caracterise en ce qu'il
consiste a maintenir l'epaisseur de ladite solution ( 4) tra-
versee par le faisceau laser ( 11) arrivant sur ladite zone
localisee a une valeur qui n'est pas superieure a 5 cm.
4 Procede selon la revendication 3, caracterise en ce que
cette epaisseur ne depasse pas 1 cm.
Procede selon la revendication 3 ou 4, caracterise en ce
que le laser ( 12) est un laser a gaz argon.
6 Procede selon la revendication 3, caracterise en ce que
ladite epaisseur ne depasse pas 5 mm.
7 Procede selon la revendication 6, caracterise en ce que
le laser ( 12) est un laser a carbon dioxide.
8 Procede selon la revendication 7, caracterise en ce que ladite
epaisseur ne depasse pas 1 min. 9 Procede selon la revendication 1,
caracterise en ce que
le faisceau ( 11) est emis par une source ( 12) fixe en posi-
tion et est reflechi par un miroir ( 111) pour arriver sur ladite zone
localisee, le deplacement relatif de ladite piece ( 3) et du faisceau
( 11) etant obtenu au moins en partie par deplacement du miroir ( 111)
o Procede selon la revendication 1, caracterise en ce que
le faisceau lumineux ( 11) passe a travers au moins une len-
tille ( 155), le procede consistant egalement a positionner ladite
lentille de telle sorte que son plan focal pour le faisceau lumineux
coincide avec ladite zone localisee de la
piece ( 3).
11 Appareil d'electro-deposition d'un metal sur une piece,
comprenant des moyens pour amener une solution d'electro-
deposition contenant le metal en contact avec ladite piece
et avec une electrode, et des moyens d'alimentation en ener-
gie pour faire passer un courant electrique entre cette electrode et
la piece, caracterise en ce qu'il comprend des moyens ( 12, 13) pour
diriger un faisceau lumineux thermique etroit sur la piece ( 3), ce
faisceau arrivant sur une zone localisee de la piece pour activer
l'interface entre cette zone et ladite solution ( 4) et permettre
l'electro-deposition
du metal selectivement sur cette zone localisee, et des mo-
yens pour deplacer ledit faisceau ( 11) et ladite piece ( 3)
l'un par rapport a l'autre afin de deplacer ladite zone loca-
lisee d'incidence du faisceau ( 11) successivement sur une re-
gion superficielle voulue de ladite piece ( 3), pour l'electro-
deposition sequentielle du metal sur cette region superfi-
cielle. 12 Appareil selon la revendication 11, caracterise en ce qu'il
comprend un laser ( 12, 13) constituant la source du
faisceau lumineux thermique etroit ( 11).
13 Appareil selon la revendication 12, caracterise en ce
que le laser est un laser a gaz argon.
14 Appareil selon la revendication 11, caracterise en ce
qu'il comprend une source ( 12, 13) emettant le faisceau lumi-
neux thermique etroit ( 11) et des moyens ( 111) formant mi-
roir pour reflechir ce faisceau sur ladite piece, et des moyens ( 114,
116, 117, 118, 119) pour deplacer les moyens
( 111) formant miroir.
15 Appareil selon la revendication 14, caracterise en ce
que ladite source emettant le faisceau ( 11) est fixe en po-
sition. 16 Appareil selon la revendication 11, caracterise en ce
qu'il comprend une source ( 12, 13) emettant le faisceau lu-
mineux thermique etroit ( 11) et des moyens formant lentilles ( 155)
disposes sur le trajet optique du faisceau entre la source ( 12, 13)
et la piece ( 3) pour etablir un plan focal
du faisceau emis par la source, l'appareil comprenant egale-
ment des moyens ( 156, 157, 158, 160, 161) pour deplacer les moyens
formant lentilles ( 155) afin de maintenir le plan focal en
coincidence avec ladite zone localisee sur la piece quand
le faisceau ( 11) et la piece ( 3) sont deplaces l'un par rap-
port a l'autre.
17 Appareil selon la revendication 11, caracterise en ce qu'il
comprend au moins un ensemble unitaire ( 31, 32, 33,) comportant une
source ( 45, 46, 47,) emettant le faisceau lumineux et un guide
optique solide ( 61, 62, 63,) dont
une extremite est reliee a ladite source et dont l'autre ex-
tremite permet la projection du faisceau transmis depuis la-
dite source, l'appareil comprenant encore les moyens pour
maintenir ladite autre extremite du guide optique a proxi-
mite etroite de ladite zone localisee lorsque le faisceau
( 11) et la pieoe ( 3) sont deplaces l'un par rapport a l'autre.
18 Appareil selon la revendication 11, caracterise en ce que ladite
electrode est un element electro-conducteur creux
( 120) dont une extremite ouverte est reliee a la source emet-
tant le faisceau ( 11) et dont l'autre extremite ouverte est destinee
a etre maintenue a proximite de ladite zone localisee
de la piece pour y projeter le faisceau ( 11).
19 Appareil selon la revendication 18, caracterise en ce que ladite
autre extremite ouverte de l'element creux ( 120)
est pourvue d'un element solide ( 122) transparent ou semi-
transparent empechant l'introduction dns l'element ( 120) de
la solution d'electro-deposition ( 4).
Appareil selon la revendication 18 ou 19, caracterise en ce qu'il
comprend egalement des moyens ( 132, 133, 134) pour remplir l'espace
creux dudit element ( 120) par un gaz sous
pression empechant l'introduction dans cet element de la solu-
tion d'electro-deposition ( 4).
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