close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

FR2517283A1

код для вставкиСкачать
 [loading]
«
Click the Minesoft logo at anytime to completely reset the Document
Explorer.
[1][(4)__Full Text.......]
Discovered items are automatically translated into English so that you
can easily identify them.<br/><br/>If you would like to see them in
the original text, please use this button to switch between the two
options . Discoveries: ([2]Submit) English
Click to view (and print) basic analytics showing the makeup of
discovered items in this publication. [help.png]
[3][_] (17/ 32)
You can use the refine box to refine the discovered items in the
sections below.<br/>Simply type what you are looking for, any items
that do not match will be temporarily hidden. [4]____________________
[5][_]
Gene Or Protein
(4/ 14)
[6][_]
ETRE
(10)
[7][_]
Reti
(2)
[8][_]
DANS
(1)
[9][_]
Est-a
(1)
[10][_]
Physical
(8/ 8)
[11][_]
13 cm
(1)
[12][_]
2,3 mm
(1)
[13][_]
de 1,7 bar
(1)
[14][_]
de 0,95 mm
(1)
[15][_]
de 3,2 cm
(1)
[16][_]
25 microns
(1)
[17][_]
1 bar
(1)
[18][_]
4,5 bars
(1)
[19][_]
Molecule
(3/ 7)
[20][_]
DES
(4)
[21][_]
silicium
(2)
[22][_]
chromium
(1)
[23][_]
Disease
(2/ 3)
[24][_]
Tic
(2)
[25][_]
Depression
(1)
Export to file:
Export Document and discoveries to Excel
Export Document and discoveries to PDF
Images Mosaic View
Publication
_________________________________________________________________
Number FR2517283A1
Family ID 31167092
Probable Assignee Gca Corp
Publication Year 1983
Title
_________________________________________________________________
FR Title APPAREIL DE SUPPORT PNEUMATIQUE POUR LE TRANSPORT D'OBJETS
Abstract
_________________________________________________________________
L'INVENTION CONCERNE LES APPAREILS DE SUPPORT PNEUMATIQUE.
ELLE SE RAPPORTE A UN APPAREIL QUI A UNE PLAQUE 31 DE SUPPORT QUI
FORME UN MATELAS D'AIR PAR SOUFFLAGE D'AIR COMPRIME PAR DES ORIFICES
41, 42. SELON L'INVENTION, UN RAIL LATERAL 55 RECOIT DES JETS D'AIR
PROVENANT D'ORIFICES 61 SI BIEN QUE LE BORD DE L'OBJET TRANSPORTE TEL
QU'UN RETICULE 38 EST ATTIRE VERS LE RAIL MAIS NE PEUT PAS SE
RAPPROCHER JUSQU'A ETRE A SON CONTACT.
APPLICATION AU TRANSPORT DES RETICULES UTILISES DANS LA FABRICATION
DES CIRCUITS INTEGRES.
Description
_________________________________________________________________
La presente invention concerne un appareil de support pneumatique et
plus precisement une construction de guidage placee au bord d'un tel
appareil de support, utile pour le transport des reticules utilises
dans les operations microlithographiques pour la fabrication des
circuits integres.
On a realise des appareils de support pneumati- que de divers types
pour le transport de nombreux types d'objets differents En
particulier, les appareils de sup- port pneumatique sont tres utilises
dans l'industrie des semi-conducteurs pour le transport des plaquettes
de silicium de magasins a des postes de traitement puis a nouveau a
des magasins, ainsi qu'entre des postes de traitement.
En general, ces appareils detransport avec support pneuma- tic
comportent une surface horizontale sensiblement plate ayant un certain
nombre d'orifices destines a l'introduction d'un courant d'air qui
forme un coussin d'air sous les objets a transporter Habituellement,
l'objet transporte est retenu directement ou mecaniquement le long du
trajet voulu, bien que divers dispositifs de centrage automatique
aient ete realises afin que des objets legers tels que des plaquettes
semi-conductrices, suivent la voie de trans- port sans retenue
mecanique directe.
Dans certains appareils dans lesquels il est souhaitable qu'un objet
relativement grand soit retenu sans contact, on a utilise des supports
pneumatiques places le long des parois laterales d'une voie ainsi que
sous celle-ci Dans ces cas, les parois laterales cnten general un
fonctionnement analogue a celui du matelas de l'appareil de support,
c'est-a-dire qu'un coussin d'air est forme entre l'objet et une paroi,
et les jets d'air formant le coussin sont diriges de facon generale
sur l'objet, c'est- a-dire lateralement dans le cas des parois
laterales Dans le cas d'objets relativement minces cependant, par
exemple de reticules ou de plaquettes semi-conductrices, de tels jets
d'air diriges lateralement ne se sont pas reveles particulierement
efficaces.
17283
Il est souhaitable, surtout dans le cas des reti- cules, de regler
avec precision le deplacement et l'empla- cement des reticules
puisque, au poste de travail, le reti- cule doit etre positionne avec
une tres grande precision puis aligne avant exposition d'un dessin
porte par la pla- quette semi-conductrice au cours d'un processus
photolitho- graphique Il est aussi tres souhaitable d'eviter dans la
mesure du possible un contact physique direct avec un reticule puisque
toute abrasion peut provoquer la formation de particules
microscopiques de poussiere qui, si elles aboutissent sur la surface
du reticule, peuvent provoquer des imperfections dans les dispositifs
semi-conducteurs en cours de fabrication et peuvent ainsi reduire
beaucoup le rendement en circuits integres convenables tires de la
plaquette semi-conductrice.
Parmi les-nombreux avantages de l'invention, on peut citer la
realisation d'un appareil de support pneu- matique destine a transport
d'objets sans contact mecanique direct, la realisation d'un appareil
qui permet le transport de reticules utilises dans les operations de
fabrication des circuits integres par microlithographie, la
realisation d'un appareil qui regle avec precision l'emplacement et
l'orientation des objets transportes, la realisation d'un appareil qui
guide un objet a partir d'un cote d'un dispo- sitif pneumatique de
support sur lequel l'objet est en cours de transport, et la
realisation d'un tel appareil qui est tres fiable et dont la
construction est relativement simple et peu couteuse.
L'appareil selon l'invention est essentiellement destine au transport
d'objets ayant au moins une surface peripherique plate, les objets
etant transportes le long d'un plateau de support pneumatique ayant
une surface hori- zontale plate et ayant des orifices permettant la
circula- tion de l'air afin qu'un coussin d'air soit forme sous les
objets a transporter Une structure formant un rail est placee le long
d'un bord de la plaque et delimite une surface plate sensiblement
verticale, adjacente a la plaque de support Une serie de dispositifs
de formation de jets d'air diriges verticalement le long de la surface
plate verticale sont espaces le long de l'interface de la plaque et du
rail Lorsqu'un objet passe le long du dispositif de support, les jets
d'air assurent l'interaction dynamique du rail et de la surface
peripherique plate formee sur l'objet, avec un espacement souhaitable
maintenu entre le rail et l'objet, independamment de forces laterales
qui peuvent etre notables dans un sens ou dans l'autre.
D'autres caracteristiques et avantages de l'in- vention ressortiront
mieux de la description qui va suivre, faite en reference aux dessins
annexes sur lesquels: la figure 1 est un schema representant
l'utilisa- tion d'un appareil de support pneumatique selon l'invention
destine au transport de reticules entre un magasin et un appareil de
formation d'images microlithographiques; la figure 2 est une coupe
suivant la ligne 2-2 de la figure 1, avec des parties arrachees,
representant la construction du support pneumatique et du bord lateral
selon l'invention; la figure 3 est une coupe suivant la ligne 3-3 de
la figure 2; la figure 4 est une coupe suivant la ligne 4-4 de la
figure 2; la figure 5 est une coupe suivant la ligne 5-5 de la figure
2; et la figure 6 est une coupe analogue a la figure 2 mais
representant une variante des dispositifs de formation des jets d'air.
Sur les diverses figures, des references identi- ques designent des
elements correspondants.
La figure 1 represente un ensemble de formation d'images par
microlithographie, du type utilise dans la fabrication des circuits
integres, et portant la reference generale 11 Dans cet appareil, un
dessin forme sur un reticule porte dans un plateau 13, est projete,
par l'inter- mediaire d'un objectif 15 de haute resolution, sur une
plaquette semiconductrice 17 revetue d'une reserve Une source
lumineuse et un condenseur classique sont repre- sentes
schematiquement par les reference 19 et 21 respec- tivement Comme
differents reticules sont necessaires a differents stades de la
fabrication, meme dans le cas d'un seul type de circuit integre, un
magasin 23 est destine a contenir plusieurs reticules formant un
arrangement dans lequel ils sont distants verticalement Le magasin 23
peut etre mis en position reperee en direction verticale a l'aide d'un
dispositif electrique ou pneumatique convenable d'en- trainement, par
exemple repere par la reference 25.
Un reticule choisi peut etre transporte en trans- lation,
alternativement, entre le magasin 23 et le plateau 13 par un appareil
27 de support pneumatique construit selon l'invention Un organe
pneumatique convenable 29 de commande est destine a assurer le
fonctionnement de l'appareil 27 de support pneumatique et du
dispositif 25 de mise en position en direction verticale Bien entendu,
les operations successives sont commandees par un organe de commande
globale a ordinateur associe a l'ensemble de fabrication
microlithographique.
Les reticules utilises dans un tel appareil-peu- vent comporter du
chromium depose sur des plaques de verre qui sont sous une forme
carree d'environ 13 cm de cote et 2,3 mm d'epaisseur.
Comme l'indique la figure 2, la structure de la plaque de support
pneumatique porte la reference generale 31 Celle-ci comporte deux
portees ou voies en saillie 33 et 35 separees par un troncon en
retrait 37 car les reticules transportes -sont legers et ne doivent
etre sup- portes que sur une partie de leur section Le reticule
lui-meme est repere par la reference 38 Deux jeux d'ori- fices 41 et
42 sont perces dans chacune des voies Les jeux d'orifices sont
inclines en sens opposes comme indique sur les figures 3 et 4 afin que
le reticule puisse etre deplace dans les deux sens le long de
l'appareil de support par transmission d'air comprime au jeu
convenable d'orifices.
Une structure 40 d'alimentation, associee a la face infe- rieure de la
structure 31, delimite des chambres separees
43 et 44 d'alimentation des jeux d'orifices 41 et 42.
Une structure 55 formant un rail est placee le long d'un cote de la
plaque de support Le rail a une face plate sensiblement verticale 57
placee le long du dispositif de support pneumatique et adjacente a
celui- ci On peut noter que cette surface plate est disposee dans une
certaine mesure au-dessous de la surface horizontale plate des voies
33, un faible espace etant delimite entre le rail et le cote de la
voie 33.
Plusieurs orifices 61 diriges verticalement et qui communiquent avec
un distributeur supplementaire 45 sont espaces entre la plaque de
support 31 et le rail 55.
Lorsque le distributeur 45 est sous pression, par exemple' de 1,7 bar,
les orifices 61 forment plusieurs jets separes d'air qui remontent le
long de la surface 57 Le bord infe- rieur du rail 35 est chanfreine
comme indique par la refe- rence 59 afin que l'accrochage du jet d'air
a la surface verticale du rail soit facilite Les orifices 61 sont
formes a l'aide d'un chambrage 63 puis par percage des orifices tres
pres du bord de la portee 13 Dans un mode de realisa- tion
particulier, les orifices ont un diametre de 0,95 mm et sont separes
par des intervalles de 3,2 cm le long du rail.
Lors du fonctionnement, les jets d'air projetes le long du rail fixent
un espace d'environ 25 microns entre le reticule 38 et le rail 55,
sans contact reel entre le reticule et le rail Bien que les conditions
dynamiques soient tres complexes, il apparait que le jet a grande
vitesse cree une region en depression qui attire le reticule vers le
rail, mais que, lorsque le reticule se rapproche du rail,
l'etranglement du jet provoque une augmentation de la pression et
empeche un contact reel Pour des debits qui sont determines comme trop
faibles empiriquement, par exemple des debits obtenus avec une
pression inferieure a 1 bar dans le distributeur, il peut apparaitre
une oscil- lation, due apparemment a l'arrachement de tourbillons.
Cependant, lorsqu'on utilise des pressions accrues, on evite une telle
oscillation, apparemment par augmentation de la frequence
d'arrachement des tourbillons au-dela de la frequence de resonance du
systeme forme par la masse du reticule et de la resonance de l'air
dans l'espace com- pris entre le reticule et le rail Comme indique
precedem- ment, les jets d'air assurent le maintien de l'espacement
voulu avec une grande precision, meme lorsque l'appareil de support
est legerement incline vers le rail ou dans l'autre sens Un
fonctionnement a des pressions, dans le distributeur, pouvant
atteindre 4,5 bars s'est revele satis- faisant. Comme represente, le
systeme de guidage selon l'invention fonctionne par cooperation avec
des reticules ayant une surface peripherique plate dont la longueur
est suffisante pour qu'elle recouvre un certain nombre de jets d'air
Bien que ce critere soit facilement obtenu avec les reticules utilises
normalement dans l'industrie et qui ont une forme carree en general,
il apparait aussi que des plaquettes de silicon peuvent etre
transportees par mise en oeuvre de cette technique lorsque le plat
d'orien- tation que possedent normalement de telles plaquettes est mis
initialement au contact du rail, un nombre suffisant d'orifices etant
utilise de maniere de maniere que le plat recouvre un certain nombre
de tels orifices de soufflage.
Le reglage de la distance separant le rail de l'objet transporte est
le meilleur lorsque le cote de l'ob- jet est plat verticalement sur
une partie importante de sa hauteur Bien que les ret Icules-soient
chanfreines en general, comme represente, ceschanfreins ne perturbent
pas le fonctionnement du systeme de guidage selon l'inven- tion
lorsque les chanfreins n'occupent pas la plus grande partie de
l'epaisseur du reticule Cependant, le fonction- nement est ameliore
lorsque la hauteur des chanfreins est reduite au minimum Bien qu'un
reticule ayant des cotes arrondis de haut en bas puisse aussi etre
guide lorsque le dispositif de support est pratiquement plat, la plage
de reglage est bien plus faible que lorsque les bords du reticule ont
des parties rectilignes comme represente.
Il est avantageux que la face verticale 57 du- rail 55 se prolonge
au-dessous de la surface horizontale plate de la plaque de support,
comme represente, avec un faible espacement uniforme entre le rail et
le bord de la voie Cette disposition facilite apparemment la formation
du jet, de meme que le chanfrein du bord inferieur du rail indique par
la reference 59 Il faut aussi noter a cet egard que, lors de
l'utilisation de cet espace uniforme, il n'est pas necessaire que la
direction des jets d'air soit exactement verticale Un arrangement tel
que represente sur la figure 6 donne aussi satisfaction, bien que
l'orien- tation indiquee sur la figure 2 soit preferable pour des
raisons de facilite de fabrication.
Comme le systeme de guidage du bord selon l'inven- tion exerce une
force de rappel s'opposant au deplacement en translation par rapport
au rail, on note qu'il n'est pas necessaire et qu'il est meme
deconseille qu'un rail analogue soit forme de l'autre cote de la voie
Au contraire, des essais d'utilisation de tels rails donnent un
fonction- nement instable, apparemment a cause de la concurrence entre
les deux reglages Cependant, il faut noter qu'un rail peut aussi etre
incorpore, mais sans les dispositifs de projection d'air, ce rail
formant simplement une limite mecanique en direction laterale (voir
figure 6).
Il est bien entendu que l'invention-n'a ete de- crite et representee
qu'a titre d'exemple preferentiel et qu'on pourra apporter toute
equivalence technique dans ses elements constitutifs sans pour autant
sortir de son cadre.
Claims
_________________________________________________________________
REVENDICATIONS
1 Appareil de support pneumatique destine au trans- port d'objets
ayant au moins une surface peripherique pla- te, ledit appareil etant
caracterise en ce qu'il comprend une plaque de support pneumatique
(31) formant une surface horizontale plane comprenant des orifices
(41, 42) d'introduction d'un courant d'air destine a former un coussin
d'air sous les objets a transporter, un rail (55) dispose le long d'un
bord lateral de la plaque de support et formant une surface plate sen-
siblement verticale pres de la plaque de support, et une serie de
dispositifs (61) de formation de jets d'air diriges verticalement le
long de la surface verticale plane, ces dispositifs etant espaces le
long 1 i de l'interface de la plaque de support et du rail.
2 Appareil de support pneumatique destine au trans- port de reticules,
caracterise en ce qu'il comprend: une plaque allongee de support
pneumatique (31) formant une surface horizontale sensiblement plate
ayant des orifices (41, 42) formes le long des cotes de la sur- face
horizontale afin qu'ils introduisent un courant d'air entre un
reticule en cours de transport et la surface hori- zontale avec
formation d'un coussin d'air sous le reticule, un rail (55) place le
long d'un bord lateral de la plaque de support et formant une surface
plate sensi- blement verticale adjacente a la plaque de support, un
espace essentiellement uniforme et etroit etant forme entre la surface
plate et le bord de la plaque de support pneuma- tic, et une serie
d'orifices (61) de formation de jets d'air diriges verticalement,
parallelement a la surface plate verticale, ces orifices etant espaces
le long de l'espace delimite entre la plaque de support et le rail et
au-dessous de la surface horizontale.
3 Appareil selon la revendication 2, caracterise en ce que le rail
(55) comporte, au-dessous de la surface horizontale de la plaque de
support, un chanfrein (59) qui agrandit l'espace a proximite des
orifices (61) de formation de jets d'air.
? ?
Display vertical position markers.<br/><br/>This option will display
the relative positions of currently selected key terms within the full
document length.<br/><br/>You can then click the markers to jump to
general locations within the document, or to specific discoveries if
you know whereabouts in the document they occur. [28][_]
Open a preview window.<br/><br/>This window will provide a preview of
any discovery (or vertical marker) when you mouse over
it.<br/><br/>The preview window is draggable so you may place it
wherever you like on the page. [29][_]
[static.png]
[close.png]
Discovery Preview
(Mouse over discovery items)
[textmine.svg] textmine Discovery
« Previous
Multiple Definitions ()
Next »
Enlarge Image (BUTTON) ChemSpider (BUTTON) PubChem (BUTTON) Close
(BUTTON) X
(BUTTON) Close
(BUTTON) X
TextMine: Publication Composition
FR2517283
(BUTTON) Print/ Download (BUTTON) Close
1. Welcome to TextMine.
The TextMine service has been carefully designed to help you
investigate, understand, assess and make discoveries within patent
publications, quickly, easily and efficiently.
This tour will quickly guide you through the main features.
Please use the "Next" button in each case to move to the next step
of the tour (or you can use [Esc] to quit early if you don't want
to finish the tour).
2. The main menu (on the left) contains features that will help you
delve into the patent and better understand the publication.
The main feature being the list of found items (seperated into
colour coded categories).
3. Click the Minesoft logo at any time to reset TextMine to it's
initial (start) state.
4. You can select which part of the document you'd like to view by
using the pull down menu here.
You can select "Full Text" to view the entire document.
5. For non-latin languages, (in most cases) full text translations
are available, you can toggle them on and off here.
You can also toggle the inline discovery translations between
English and their original language.
6. The pie chart icon will open a basic statistical breakdown of the
publication.
7. The sort icon allows you to sort the listed categories based on
the number of instances found.
Click to toggle between ascending and descending.
8. You can use the refine box to refine the discovered items in the
sections below.
Simply type what you are looking for, any items that do not match
will be temporarily hidden.
9. The publication has been analysed and we have identified items
within it that fit into these categories.
The specific items found are listed within the category headings.
Click the section header to open that section and view all the
identitfied items in that section.
If you click the checkbox all items in that section will be
highlighted in the publication (to the right).
The best thing to do is to experiment by opening the sections and
selecting and unselecting checkboxes.
10. The main output window contains the publication full text (or part
thereof if selected).
11. The Tools section contains tools to help you navigate the
"discovered" (highlighted) items of interest.
The arrows and counter let you move through the highlighted items
in order.
12. Other tools include a "Preview" option [ [preview.png] ] and the
ability to mark the relative locations of highlighted items by
using the "Marker" option [ [marker.png] ].
Try these out to best understand how they work, and to discover if
they are of use to you.
13. Items selected from the menu on the left will be highlighted in
the main publication section (here in the middle of the screen).
Click them for further information and insights (including
chemical structure diagrams where available).
14. Please experiment with TextMine - you cannot make any permanent
changes or break anything and once your session is closed (you've
log out) all your activity is destroyed.
Please contact Minesoft Customer Support if you have any questions
or queries at: support@minesoft.com
[30]____________________
[31]____________________
[32]____________________
[33]____________________
[34]____________________
[35]____________________
[36]____________________
[37]____________________
[38]____________________
[39]____________________
[BUTTON Input] (not implemented)_____ [BUTTON Input] (not
implemented)_____
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
1
Размер файла
25 Кб
Теги
fr2517283a1
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа