close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Патент BY 10529

код для вставкиСкачать
BY (11) 10529
(13) C1
(46) 2008.04.30
(19)
(12)
(51)
(2006)
H 01L 21/02
(54)
(21)
(22) 2006.06.30
(43) 2006.12.30
(71)
:
: a 20060659
(73)
"
" (BY)
(56) US 5171708 A, 1992.
RU 2183365 C1, 2002.
RU 2094901 C1, 1997.
US 4857480 A, 1989.
JP 62198119 A, 1987.
JP 7321060 A, 1995.
US 3948695, 1976.
US 5208185 A, 1993.
-
"
" (BY)
(72)
:
:
-
;
;
;
;
(BY)
(57)
-
,
,
-
BY 10529 C1 2008.04.30
,
,
,
,
,
.2
,
BY 10529 C1 2008.04.30
45-55
1,5-2,5
-
,
,
,
15-25
10-25 . %
45-55
-
,
.
,
(
)
),
,
(
.
)
[1],
,
(
)
,
-
,
,
,
.
.
-
,
.
,
,
-
,
,
.
-
,
,
.
-
[2],
,
,
,
2
-
BY 10529 C1 2008.04.30
,
,
-
.
,
,
.
-
,
.
-
,
.
,
,
-
.
[3],
-
,
,
,
,
-
,
.
-
,
.
,
,
.
3
-
BY 10529 C1 2008.04.30
,
-
,
.
,
.
,
-
.
,
,
,
,
,
-
,
,
,
45-
55
1,5-2,5
15-25
10-25
.%
,
,
,
-
45-55
-
,
.
,
,
45-55
1,5-2,5
,
-
,
15-25
25 . %
,
45-55
,
.
4
10-
BY 10529 C1 2008.04.30
.
,
-
,
: 2
2
,
+
3Si
=
4
+ 3SiO2.
3
-
,
.
45-55
1,5-2,5
"
-
"
-
,
.
45
,
,
.
55
.
,
55
-
,
,
.
2,5
,
,
.
1,5
,
-
,
.
,
.
15-25
45-55
10-25
,
.%
-
,
,
.
15
,
.
-
,
.
25
-
,
,
-
.
.
. 1-3,
.1
,
5
.2
-
BY 10529 C1 2008.04.30
,
.3
-
.
,
1181
.
.
(1)
(2)
(3)
-
(3).
(1)
(2)
(4)
(
(5)
) (7)
(3)
(4)
.
-
(2)
-
(6)
(8) (
).
(1)
(9).
(2)
(1)
15-20
(7)
(1)
3/100
(4)
.
(3)
(2)
(4)
.
,
(4)
(3)
(2).
(1)
(7)
(4)
(2)
70
(1)
,
(1)
(4)
(2)
(9).
(3)
-
.
(3)
-
(4)
HF:
2
= 1:3.
4,5
(Rs)
49
.
%
Rw
⋅100 %,
Rs w
Rs
∆ Rs w =
Rw -
, Rs w :
Rw =
Rsmax_w, Rsmin_w ,
Rs max_ w − Rs min_ w
2
.
Rw
Rs w
:
∑ Rs i
i =1
Rs w =
Rs
9
.
%
:
6
,
-
,
Rs
9
Rsi - i-e
:
.
BY 10529 C1 2008.04.30
∆ Rs b =
Rb -
, Rs b -
Rb =
Rb
⋅100 %,
Rs b
Rs
.
:
Rs max_ b − Rs min_ b
,
2
Rs max_ b , Rs min_ b -
.
%
:
∆ Rs bb % =
Rbb . Rbb
R bb
⋅100 %,
Rs bb
, Rs bb -
Rs
50
-
:
R bb =
Rs max_ bb − Rs min_ bb
,
2
Rs max_ bb , Rs min_ bb .
Rs
50
.
*
-
.
,
45-50
1,5
2,5
.
,
7
-
BY 10529 C1 2008.04.30
,
15-25
.
,
1,03-1,04
1,25-1,6
,
- 1,3
.
:
1.
2.
3.
2183365,
7628573.60250.00001.
5171708,
01L 2/385, 2000.
.
01L 2/225, 1992.
.1
.3
.
220034, .
,
.
, 20.
8
Документ
Категория
Без категории
Просмотров
0
Размер файла
225 Кб
Теги
10529, патент
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа