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14
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15
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Vў- V
= [13,8(dn)2 + 618dm + 138(dq)2] Ч 10?6,
V
? ??? ST!??????
(3)
Vў- V
= [343dn + 99(dm)2 + 58(dq)2] Ч 10?6.
(4)
V
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???????????? ?????????????? ???? ??? ???????? ????????????!
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??????????, ?. ?. ??????????, ?????????? ????????? ??????? ??
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???????????? ??????????? ??????????????????? ????? (????),
???????????? ??????????? ????? ????????????? ? ?????????!
??? ????????? ? ?????????????? [1]. ??????? ???? ????? ????!
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16
k2 =
2
W 12
,
(5)
W 1W 2
??? W1 , W2, W12 ? ?????????????? ??????? ???????????? ??????!
??? (???????????? ???????), ??????? ????????????? ?????????
(????????????? ???????) ? ??????? ?????????????? ????????????
? ????????????? ????????? (?????????????????? ???????).
??? ??? ??????? ???? ? ??????? ????????? ????? ??????!
???? ?? ????????? ???????:
1V
V 2 V?
32
,
(6)
V
V
??? V ? ??????? ???????? ??? ?? ????????? ???????????; V ? ?
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????? ??????? ? ???????? ??? ?? ? ????? ????????? ?? ???!
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???????? ??? ?????? ? ???????????? ?????? ?????? ??? ????????
????????????? ?????????????. ???????? [4, 11, 12], ??? ??? ????!
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(17)
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1 1,08
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1 0,45
0
YZ!LiTaO 3
1 0,211
0
SiO 2 (0;132 145 ';0 1)
0,378
0
1 0,956
1 1,26
AlPO 4 (90;90;80,4 1)
0,901
0
AlPO 4 (90;90;175,2 1)
0,331
1 9,6
Bi12GeO 20 (001), [100]
1 0,304
0
1 0,9
1 6,9
???????? ? ????
SiO 2 (0;47,7;23 1)
La 3Ga5.5Nb 0.5O 14 (10;150;37 1)
27
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???????? ????, ????? ??????? ????????????? ??????????? ????!
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???????????????? [3].
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?????, ???? ????????? (76,8;90;11,5°), ????? ????????? ?????
77,1°Y [14], (0;176,1;90°) ? (0;6,38;90°) [8].
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28
4.7. ???? ?????????? ?????? ???????
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??? ???? (??????? ????????? ??????? ???????? ????? y0), ?? ???!
?? ????? ?????????? ?????? ??????? ?? ??????????? ??????????!
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1 2 3 14 5 4 1 2 ,
(23)
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????????????? ???????? ????????? ???????? ? ???????? ???????!
?????.
?????????? ???????? ?????????, ? ??????? j = 0, ?????? ?? ????!
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5. ????????????? ?????????????? ??????????
?????????? ??? ???
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(LiNbO3) ? ????????? ????? (LiTaO3).
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?????), ????????? ????? 2,65 ?/??3, ??????????? ????????? ? 1750 °?.
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29
30
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3329
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5,54
5,36
5,54
5,3
4,5
0,19
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0,1
0,11
69
30
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0,77
0,75
0,94
0,75
0,88
2,15
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K??????????
??????????
Основные параметры некоторых материалов, применяемых для подложек АЭУ
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31
LiTaO3
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La3Ga5.5Nb0.5O14
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3148
3254
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77,11?YZ
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(30;90;901)
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0,589 ?40,6
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2376
0,172 ?45,5
2210,6 0,423 64,5*
2740
(0;138,5;26,61)
(0;2;901)
2535
(90;40;?61)
2736,7 0,37 ?0,067
(0;140;241)
115
115
35
49
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1708
1,69
1,36
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0,075
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0,72
(111), [110]
1681
3230
YZ
(001), [100]
3295
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(0;0;901)
(0;0;901)
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0
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2733,1 0,562 ?73,1*
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(0;54,5;01)
(0;0;901)
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(0;110;01)
(90;5;01)
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35
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37
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0,134
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0,38
2340
19,620
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La3Ga5.5Nb0.5O14
0,37
2722
20,089
LGT YX
La3Ga5.5Ta0.5O14
0,39
2220
18,271
CNGS YX
Ca3NbGa3Si2O14
0,26
2905
18,67
CTGS YX
Ca3TaGa3Si2O14
0,32
2777
17,84
SNGS YX
Sr3NbGa3Si2O14
0,64
2840
13,63
STGS YX
Sr3TaGa3Si2O14
0,56
2739
13,13
????????
?????
LGS YX
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38
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39
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2680
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2360
1,9
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5500
4,5
43
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1720
0,54
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6160
0,4
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5840
4,37
???
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1
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10?6/2C
1
40
21
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40
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????? ?????????? ??? ? ??????????????? ???????????? ?????!
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???, ???????????? ?? ???. 13, ? ? ?, ? ????????? ??????????
?????????? ????????????? ????, ? ??????? ???????????? ?????!
???? (???. 13, ?, ?) ???????? ? ????????????? ??????????? ????!
?????????? ????, ? ???? ???????????? ????????? ????????????.
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????????? ???, ??? ????? ?????????????? ??? ????????? ???!
?????? ????????? ????????, ???????? ??? ????? ????????. ???!
?????? ????? ??????????????, ???? ???????? ???????? ??????!
?? ? ?????? ? ???????? ?????????? ????????? ???. ??????????
?????????? ? ??????? ????????? ??? ????????? ???????? ?????
??????? ???????? ??? ? ????????? ????? ????????? ? ????????
???????? ??????????????? ?????????.
??? ??????? ?? ????????? ????????? ? ?????? ?????????? ??!
????????? ???????? ??????? ?????? ??? ????????? ?????????!
???? ???????? ????. ????????, ??? ?????? ?????? ????? ??
???????? ??????? ?????????? <111> ???????? k 2 ???????????
??? ????????????? ??????? ?????? 0,05 l. ?????? ?????? ?????
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??? ???????? ?? ????????? k2 ??? ????????????? ??????? ?????,
? ??? ?????? ?????? ????? ?? ???????? ?? ??????? ????? ?????!
41
????????? ???
????????? ???
ZnO
ZnO
????????
??????????? ????????
ZnO
??????????? ????????
ZnO
???. 13 . ???????? ???????????? ????????, ?????? ??????
? ??????????? ????????? ? ??????????? ?? ???
??? k2 ????????? 8,5 %, ??? ????, ??? ??????????????? ????????
? ????????????? ??????? ?????.
?????????? ?????? ?????? ????????? ?? ?????? ???????? ???!
????? ????? ??????????, ??? ???????? ??? ? ????, ?? ? ????!
???? ?????????????????. ??? ???????? ?? ???? ?????????? ???,
?????????? ????????? ??????? ??????????, ??? ??????? ??????!
??? ??? ????? ??????????????, ??? ????????? ??????????? ???!
????? ???????????, ??? ??????? ??? ????? ???? [23].
? ?????????? «?????????????????? ?????? ? ????????» ????!
?????, ??????????????? ?????????????????, ????? ??????????!
??? ???????? ????? ???????????????? ??????????? ???????? ?
??????. ????????? ? ?????? ??????? (h/l<<1) ????? ???, ????!
??? ? ??? ????????, ? ? ??????????, ??? ??????? ?????? ?????!
?????? ?????? ??????? ???????? (h/l>>1), ??? ????????????
? ??? ??????. ????????? ????? ?? ?????????? ? ??????????????!
?? ?? ????? ?????????????? ?????????????? ????????? ??????!
?? ??????? ??? ????? ????? ????????????? ? ??????????? ??
????? ????????? ??????????, ?????????? ????? ??????? ?????!
?????????????. ???????? [23], ????????? ?????? ???????, ???
????????? ??????????? ?????? (h/l = 0,003) ?? ??????????? ??!
??????????? ????????? (10;150;37°) ????????? ???????? ???
? ?2,4 ?? ?0,4.
42
???????? [25], ??? ???????? ????????????? ??????? ??????,
??? ??????? ??????????? ???????????? ???? ? ??????? ?????!
???????? ???????????, ?? ?????????. ??? ???????????? ??????!
????? ????? ????? ??????????? ?????? ?????????????? ?????!
???????? ???? ????? ?????????????????? ??????? ? ??????!
???, ??? ???? ??????? ?????? ???????? ?? ??????? ?????????
????, ? ??????? ?????????????? ???? ? ?? ??????? ????????
?????????????? ????????????. ??? ???? ?????? ????????? ???!
?????????? ???????????? ???????? ???????? ? ?????????? ?????!
????????? ?????????????? ? ???????? ???????????? ?????? (??!
??????, ?????????????? ???????????).
7. ?????????????????? ????????
? ???????? ???????? ??? ????? ??????????? ?????????????. ???!
?????????? ???????????? ????? ??????????????????? ???????? ?????!
???? ?????????. ??? ??????? ?? ????????? ?????????? ???????!
???????? ????????????. ???? ?????? ????????? ??????????
???????? ?????????????, ??????????? ????????? ???????? ? ???!
????? ??????????? ??????? ????????? ????????????, ? ? ????!
??? ????????? ????????????? ?? ???????? ???????????????????
??????????. ??????????? ?????????? ?????? ????? ???????????
???????? ??????? ????????????? ?????, ??????? ??????? ????!
???????? ???????? ?? ????????????? ???????? ??????????????
??????????????? ???????? ? ???????????.
??????? ???????? ????????? ??? ? ????????????? ??????????
2200?3800 ?/?.
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???????? ????????? ?????????????????? ???????
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K??? k, %
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2100
0,31
1500+300
500
21
???+Pb(Mn1/3Nb2/3)O3
2340
2,3
735
2350
17
???+Jn(Li,W)O3+MnO
2270
0,1
690
?
18
B!16, 17, 18
2200?2400
0,3?0,35
300+800
1750
25
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?????,
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110
43
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(24)
l0Q?
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38, 39
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115
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(0;0;901)
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2330
(0;110;01)
(90;5;01)
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3391
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(90;90;901)
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???. ? ????? ? ???? ??????? ????? ?????? ?????? ??????. ? ????!
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???? YXslb/?20°/?35,5°/20°. ??? ????????????? ???????? ?????!
????? ST!?????. ? ????? ????? ???????? ???? ??????? ????, ???
? ST!?????? (k2 = 0,137 % ?? ????????? ? 0,11 % ??? ST!??????).
??????? ???????? ???????? (V = 3444 ?/?) ???????????????? ???
?????????? ??????????????? ????????? ??? ???????? ?????????
? ??????????? ?????????? ????????????. ????? ????, ???????, ??
????????? ? ST!??????, ???????? ???????????? ????????? ???
?? ??????????? ?????????? ????????? ????????? ??????? ????!
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? ????????? ????? ????? ?????????? ?????????? ????? ?? ???!
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33
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?????? ??????????? 5?50 %) ? ????????? ??????????? ??????? ?
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??? ????????? ? ??????????? ???????????? ? ????????????? ???!
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930 °?. ??????????????? ???????????? ???????? ??????? ??? ??!
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34
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35
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37
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0,134
3133
4,53
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0,38
2340
19,620
LGN (110,145,14??)
La3Ga5.5Nb0.5O14
0,37
2722
20,089
LGT YX
La3Ga5.5Ta0.5O14
0,39
2220
18,271
CNGS YX
Ca3NbGa3Si2O14
0,26
2905
18,67
CTGS YX
Ca3TaGa3Si2O14
0,32
2777
17,84
SNGS YX
Sr3NbGa3Si2O14
0,64
2840
13,63
STGS YX
Sr3TaGa3Si2O14
0,56
2739
13,13
????????
?????
LGS YX
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38
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5500
4,5
43
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1720
0,54
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6160
0,4
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4,37
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10?6/2C
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41
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????????? ??????????? ?????? (h/l = 0,003) ?? ??????????? ??!
??????????? ????????? (10;150;37°) ????????? ???????? ???
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42
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B!16, 17, 18
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0,3?0,35
300+800
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44
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1. ??????? ?. ?????????????????? ?????????? ?? ???????? ? ?????????!
???? ???????????? ??????: ?????????, ??????????, ???????????, ???????!
???: ???. ? ?????. ?.: ???, 1990. 584 ?.
2. ??????? ?? ????????????? ???????????? ?????? (??????, ???????!
??? ? ??????????): ???. ? ????. / ??? ???. ?. ????????. ?.: ????? ? ?????,
1981. 472 ?.
3. ????? ?. ?., ?????????? ?. ?. ??????? ?? ????????????? ?????????!
??? ??????. ?.: ????? ? ?????, 1984. 272 ?.
4. ?????? ?. ?????????? ????????? ???????? ?? ????????????? ??????!
?????? ??????: ???. ? ????. ?.: ????? ? ?????, 1990. 416 ?.
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