close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Презентация

код для вставкиСкачать
26 октября 2005 года
Растровая электронная
микроскопия и элементный
анализ
Батурин А.С.
Процессы на границе раздела
среда-вакуум
Термоэлектронная эмиссия
Автоэлектронная и автоионная эмиссия
Фотоэлектронная эмиссия
Вторичная эмиссии (под действием )
–
–
Вторичные электроны, упруго-отраженные
электроны и оже-электроны
Вторично-ионная эмиссия
Рассеяние частиц
Устройство растрового
микроскопа
JEOL JSM-840
Электронная пушка
И сто ч н и к н акала н и ти
R см
dc 2 f
U см
1
У ско р яю щ ее
н ап р яж ен и е
(– U e )
kT k
eV a
2
i = 100 мкА, f = 5 мм,
Va = 20 кВ, Tk = 2700 К,
4
dc = 2050 мкм
3
Электронно-оптическая система
1
2
D a
3
a b
f1 f 2
ab
f2
1 1
a = 200 мм, b = 300 мм, f1 = 25 мм, f2 = 20 мм
уменьшение D = 88
Диаметр электронного зонда около 0.5 мкм
b
ds 4
5
1
2
C sα
3
Сs — коэффициент сферической аберрации
линзы, обычно равный 2–3 фокусным
расстояниям
Диафрагмирование пучка
Спектр вторичных электронов
Электронная лавина в твердом
теле
Упруго-отраженные электроны
(элементный контраст)
Образец Cu-Cr
Элементный контраст
Упруго-отраженные электроны
(топографический контраст)
Схема детектора упругоотраженных электронов
Истинно вторичные электроны
Cu-Cr
Углеродные нанотрубки
Стереопары
h
X пр
Xл
Способы получения изображения
в РЭМ
Вторичные электроны
Упруго-отраженные электроны
–
–
Элементный контраст
Топографический контраст
Катодолюминесценция
Наведенный ток
Спектр вторичных электронов
Оже-спектроскопия
Характеристический рентген
Способы детектирования характеристического
рентгеновского излучения
Волновой спектрометр
Энерго-дисперсионный спектрометр
Волновой спектрометр
Операционный усилитель
Глаз мухи
Яичная скорлупа и крыло
бабочки
Спасибо за внимание!
Документ
Категория
Презентации
Просмотров
6
Размер файла
3 157 Кб
Теги
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа