close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Impurity-doped ZnO as TCO materials

код для вставкиСкачать
Российская Академия наук
Дагестанский научный центр
Институт физики
Функциональные слои
на основе оксида цинка в
тонкопленочных солнечных
преобразователях
2013
Цель проекта
1.Разработка материалов и технологий dc магнетронного формирования
функциональных покрытий для систем отображения информации,
солнечных панелей, энергосберегающих покрытий i-стекла.
2. Создание альтернативных материалов на основе ZnO для замены
дорогостоящих электродов на основе систем ITO (In2O3-SnO2) и
повышения стабильности характеристик материала в условиях ионной
бомбардировки и воздействия водородной плазмы тлеющего разряда.
3.Создание антистатических покрытий элементов космических аппаратов
для замены используемых покрытий на основе слоев систем ITO (In2O3SnO2).
4.
Создание керамических и металло-керамических материалов на
основе ZnO для использования в качестве мишеней для магнетронного
формирования прозрачных электродов и антистатических покрытий.
РЫНОК МИШЕНЕЙ ТСО
http://nanomarkets.net/market_reports/report/transparent_conduct
or_markets_2013
, США ежегодно инвестирует около 15 миллиардов в развитие
альтернативных источников энергии.
Сущность задачи
Dye-sensitized solar cell
Опыт работы коллектива (I)
I. Академиче ские исследования
1. Совместно с ИКАН (С.А. Семилетов) и ДГУ выполнены
исследования
процессов
газофазного
синтеза
гетероэпитакиальных структур ZnO/Al2O3.
2.Проведены комплексные исследования излучательных
характеристик гетероэитаксиальных структур ZnO, CdS,
CdSe, CdS1-xSex в широком диапазоне уровней накачки.
3.Исследованы процессы формирования прозрачных
проводящих слоев на основе оксида цинка методом dc
магнетронного
распыления.
Разработаны
и
запатентованы новые материалы и технологии.
4.Исследованы процессы формирования наноструктур и
тонких слоев в условиях отсутствия катализаторов по
механизму «пар-жидкость – кристалл». Запатентованы
технологии синтеза тонких слоев.
4. Изучены
механизмы
формирования
кластеров,
фрактальных кластеров, тетраподов и иных агрегатов на
основе оксида цинка.
Опыт работы коллектива (II)
Прикладные работы
Коллективом исполнителей разработаны
тонкопленочные компоненты многофункциональных
индикаторов для предприятий НПО
«Платан» (Фрязино), РПКБ (Раменское).
Коллективом авторов выполнена комплексная работа по
исследованию, разработке, выполнению НИОКР, внедрению в
производство на предприятии ОАО «Полема» патентно-чистых
технологий синтеза керамических мишеней, продвижению
продукции в ходе презентаций в R&D ведущих мировых
производителей LCD и Solar Cell (полный цикл
«НИР –
ОКРВнедрение–
Продвижение продукции»).
Коммерциализация результатов НИР
Патентная защита
2102814 09.11.1995
«Способ нанесения пленок».
2114487 30.05.1996
« Способ магнетронного распыления».
2285280 16.03.2001
«Жидкокристаллический экран».
2280015 20.02.2004
«Способ синтеза керамики».
2307713
14.07.2004
WO/2007/ PCT/RU2005
421 16.08.2005
WO/2007/ 21221
PCT/RU 2006/000433
16.06.2006
2382014 29.07.2008
« Способ нанесения оксидных пленок».
2395377 16.12.2008
« Способ крепления терморегулируемой детали».
2425430 31.12.2009
« Способ изготовления микроприбора».
2439454 2010101034
15.01.2010
2011146090 14.11.2011
« Печь для термообработки».
PCT/RU2012/ 000618
«Способ изготовления мишени на основе оксида цинка».
2013109779 2013.03.05
«Способ формирования слоев на основе оксида цинка».
«Ceramic synthesis method».
« Ceramic target, film constituting zinc, gallium and boron oxide and
method of manufactering of the said film».
« Способ синтеза керамики на основе оксида цинка».
«Способ изготовления мишени на основе оксида цинка».
Построение работ по проекту
НИР
--------Приоритетные
исследования с
привлечением
РАН
ОКР
----Разработка
Промышленных
технологий
------------Создание
интеллектуально
й
собственности
Производство
----------------Организация поставок
Керамических мишеней
для формирования
покрытий.
Менеджмент
---------------Продвижение
продукции на
рынке высоких
технологий
Слои ZnO: Al (AZO)
Спекание в парах металла (GZOB-VA)
Многослойные ТСО ITO/GZO/Glass
Growth
Rate
(nm/min)
Thickness
(nm)
Rs
(Om/sq)
ρ
(Om∙cm)
Etching rate,(nm/min)
A-GZO
1,76
165
17,5
2,8910-4
15
ITO
1,67
25
130
3,2510-4
0
-
190
16,2
3,0810-4
0
Layer
A-GZO/ITO
ITO 25nm
Advanced GZO 165 nm
Glass Substrate
Синтез керамических мишеней GZO
Target’s surface.
Nodules formation
A-GZO
Газофазный
синтез
ультрадисперсных
структур
Синтез в системе Zn – O2
Со-распыление ZnO-Zn
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
1. Разработан номенклатурный ряд керамических мишеней
на
основе
доступного
материала
(ZnO)
для
формирования электродов в Solar Cell, low-E покрытий
стекла, создания антистатических покрытий.
2. Разработан новый класс металло - керамических
мишеней для формирования слоев с высоким
структурным совершенством.
3. В сотрудничестве с ЦТТ РАН и РОСНАНО проводятся
мероприятия по развертыванию работ, направленных на
коммерциализацию
созданной
интеллектуальной
собственности.
ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ ПРОДУКЦИИ
Формирование на поверхности оконного стекла низкоэмиссионного покрытия
(low-E), минимизирующего потери тепла зимой и перегрев помещений летом.
Обеспечивает снижение затрат на энергообеспечение зданий примерно на
20%
Прозрачные электроды являются одним из ключевых функциональных
покрытий в составе ЖК дисплея. Разработанные авторами проекта
материалы отвечают требованиям производителей дисплеев
Индустрия светоизлучающих диодов. В
данных устойствах слои ZnO используются в
качестве прозрачных электродов и в качестве
светоизлучающего
материала.
Оксид цинка является базовым материалом для формирования
прозрачных электродов в солнечных преобразователях.
Помимо этого цветосенсибилизированные солнечные
преобразователи построены на основе наноструктур
оксида цинка.
Схема
координации
РКК «Энергия»
ИСС
Координационный
центр межотраслевой
вертикально- интегрированной
структуры по разработке и внедрению
новых патентно-чистых материалов
и технологий
НПО «Квант»
Дубна
ИКАН
Технологический
центр
Nitol Solar
НИИ им. Келдыша
LG, Samsung, GMO, AUO, von
Ardenne, AGC et al.
РПКБ
ОАО «Полема»
Thank you for your attention!
Документ
Категория
Презентации по экономике
Просмотров
8
Размер файла
7 313 Кб
Теги
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа