close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

?

Диссертация по специальности 05.13.11

код для вставкиСкачать
Туннельный микроскоп как
система технического зрения
для визуализации
нанорельефа поверхности
Карташев Всеволод Владимирович
Карташев Владимир Алексеевич
ИПМ им. М.В. Келдыша РАН
Москва, 2010
Введение
• Сканирование при
постоянной высоте
(величина
туннельного зазора
0,5 нм, т.е. два
диаметра атома)
• Механическая
развертка
• Изображение
сигнала –
суперпозиция
формы зонда и
истинного рельефа
поверхности
Построчное сканирование
слева направо
– Отсутствие
наблюдаемости
– Возможность
появления
артефактов
СТМ «УМКА»
Изображение зонда СТМ в
разных масштабах,
полученное с помощью
электронного микроскопа
2
Взаимодействие зонда СТМ с поверхностью
Рельеф
поверхности
Траектория
зонда
Увеличение выступов
Уменьшение впадин
Зонд
Возможно сканирование
боковой поверхностью
3
Особенности функционирования
зондового микроскопа
• Тестовая поверхность
(слева), результат
ее сканирования
(справа)
• Выпрямление линии
движения зонда
• Гистерезис
• Устранение
искажений,
вызванных крипом
4
Предварительная обработка изображений
Современное ПО зондовых микроскопов позволяет осуществлять обработку с помощью стандартных
графических пакетов. Она сводится к применению функционала к измерению:
Ri=Fi(Ri-1,Pi),
где Ri – данные, которые получаются после выполнения i-й команды, Fi – функция преобразования
данных, Pi – множество параметров преобразования данных на шаге i.
Стандартные графические фильтры:
Фильтр Гаусса
Выделение краев
Медианный фильтр
Сегментация и поиск неоднородностей
5
•
Расширенная обработка
Исх.
Рез-т
• Размеры выступов
уменьшились
• Размеры вогнутостей
увеличились
• Устранены шумы
• Четко видна структура
расположения
нанообъектов
• Структуры имеют
скругленные границы
• Игла не может проникнуть
в острое место
6
Масштабы и результаты обработки
РЭМ-изображение платины
Область интереса
Разность между изображениями
7
Выводы
СТМ как устройство технического зрения
отличается тем, что область видимости
нельзя наблюдать непосредственно.
Заключение о корректности получаемых
результатов можно получать только
основываясь на косвенной информации.
Благодаря учету радиуса закругления зонда,
удается добиться повышения разрешающей
способности и достоверности получаемых
изображений.
7
Проблемы программного
обеспечения СЗМ
Спасибо за внимание.
Документ
Категория
Презентации
Просмотров
38
Размер файла
5 303 Кб
Теги
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа